一种可拆卸的组合式抛光盘制造技术

本实用新型专利技术公开一种可拆卸的组合式抛光盘，其包括抛光盘主体，该抛光盘主体包括安装在抛光设备上的内盘体及以可拆卸的方式嵌合套接于内盘体外围的外盘体，内盘体外围设有若干等间距分布的限位部，该外盘体底面向上开设有容置内盘体的容置槽，并于容置槽中设置若干等间距分布的嵌位部，内盘体嵌合于外盘体的容置槽中后，限位部和嵌位部相互嵌合定位，令内盘体和外盘体固定在一起，且外盘体上端具有平面以粘贴固定抛光垫。本实用新型专利技术将传统抛光盘一分为二，分为外盘体和内盘体，并可自由拆卸与轻便安装。拆装时，在不拆卸内盘体的情况下，仅将外盘体拆卸出来进行清洗、更换即可，由于外盘体重量相对抛光盘主体而言较轻，以致拆装起来更加方便。

A detachable combined CD-ROM

The utility model discloses a combined type detachable polishing disc, comprising a polishing body, the polishing body comprises a disk body installed in the polishing device and detachably fitted sheathed in the internal body of the periphery of the outer disc body, a limit part within the periphery is provided with a plurality of spaced distribution. The disk body is arranged on the bottom of the tank volume containing the internal body, and in the containing slot is provided with a plurality of equally spaced clamping part, the internal body is embedded in the outer body accommodating groove, a limiting part and a clamping part are fitted to the body position, and the outer disk body is fixed together, and the upper part of the outer disc body has a plane to paste the fixed pad. The utility model has the advantages of the traditional polishing One divides into two. divided into the outer disc body, and the body, and can be freely disassembled and convenient installation. The disassembly, without dismantling the internal body case, only the outer body can be detached from the cleaning and replacement, because the outer disc body weight relative to the polishing disk body is lighter, more convenient to assemble.

【技术实现步骤摘要】
一种可拆卸的组合式抛光盘
：本技术涉及化学机械抛光
，特指一种可拆卸的组合式抛光盘。
技术介绍
：化学机械抛光技术，简称CMP技术，广泛应用于半导体晶片的生产和集成电路制造工艺，可以在抛光面获得低粗糙度、低缺陷密度的优良平整表面。CMP技术的典型方法是：在抛光设备的抛光盘上粘贴特定的抛光垫，抛光垫上方持续供给特定的抛光液，保持抛光盘匀速旋转；抛光盘上方放置一个或多个抛光夹具，被抛光材料固定于夹具下方，被抛光材料的待抛光表面与抛光垫直接接触，在夹具施加的抛光压力下完成相应的抛光步骤。实际的CMP应用过程中，通常涉及多种或多个步骤的CMP抛光工艺，每个步骤都需要有特定的抛光垫和抛光液来搭配完成相应的功能，然而，每个抛光盘上仅粘贴一种抛光垫，即使同类抛光垫也可能因为用于不同的抛光液而无法通用，此外，每种抛光液都会对抛光盘造成污染。因此，在CMP过程中，抛光盘需要频繁更换或者是清理维护，是CMP效果保障和效率保障的关键部件。传统的抛光盘是一个不可分割的整体，由于其体积大、重量大，以致使工作人员在对抛光盘清理维护和更换抛光盘的过程中，抛光盘的拆卸与安装均十分不便，且容易因操作失误而导致机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可拆卸的组合式抛光盘，其包括抛光盘主体(100)，其特征在于：所述抛光盘主体(100)包括有安装在抛光设备上的内盘体(1)以及以可拆卸的方式嵌合套接于内盘体(1)外围的外盘体(2)，该内盘体(1)外围设置有若干等间距分布的限位部(11)，且该外盘体(2)底面向上开设有容置所述内盘体(1)的容置槽(21)，并于容置槽(21)中设置若干等间距分布的嵌位部(22)，该内盘体(1)嵌合于外盘体(2)的容置槽(21)中后，该限位部(11)和嵌位部(22)相互嵌合定位，令内盘体(1)和外盘体(2)固定在一起，且外盘体(2)上端具有平面以粘贴固定抛光垫。

【技术特征摘要】
1.一种可拆卸的组合式抛光盘，其包括抛光盘主体(100)，其特征在于：所述抛光盘主体(100)包括有安装在抛光设备上的内盘体(1)以及以可拆卸的方式嵌合套接于内盘体(1)外围的外盘体(2)，该内盘体(1)外围设置有若干等间距分布的限位部(11)，且该外盘体(2)底面向上开设有容置所述内盘体(1)的容置槽(21)，并于容置槽(21)中设置若干等间距分布的嵌位部(22)，该内盘体(1)嵌合于外盘体(2)的容置槽(21)中后，该限位部(11)和嵌位部(22)相互嵌合定位，令内盘体(1)和外盘体(2)固定在一起，且外盘体(2)上端具有平面以粘贴固定抛光垫。2.根据权利要求1所述的一种可拆卸的组合式抛光盘，其特征在于：所述内盘体(1)外围设置有作为所述限位部(11)的限位槽，所述容置槽(21)中设置有作为所述嵌位部(22)的定位销，该限位槽的宽度比定位销宽度大。3.根据权利要求2所述的一种可拆卸的组合式抛光盘，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：卓俊辉，孔令沂，孙国胜，韩景瑞，张新河，刘丹，李锡光，萧黎鑫，
申请(专利权)人：东莞市天域半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44