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本实用新型公开一种可拆卸的组合式抛光盘，其包括抛光盘主体，该抛光盘主体包括安装在抛光设备上的内盘体及以可拆卸的方式嵌合套接于内盘体外围的外盘体，内盘体外围设有若干等间距分布的限位部，该外盘体底面向上开设有容置内盘体的容置槽，并于容置槽中设置...
该专利属于东莞市天域半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市天域半导体科技有限公司授权不得商用。

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