真空阀用阀叶制造技术

本发明专利技术的特征在于，包括：开闭板，其以板形状形成，其一侧面与所述移动通路部接触，且在另一侧面分别形成有螺合部，在螺合部的外周分别形成有第一弹性构件安放部，以便第一弹性构件的一侧面安放；轴连接杆，其在开闭板另一侧面配备一个以上，分别形成有接触凸出部，所述接触凸出部形成第二弹性构件安放部，以便所述第一弹性构件的另一侧面安放；第一弹性构件，其分别配置于所述第一弹性构件安放部与第二弹性构件安放部之间，引导开闭板与轴连接杆弹性连接；连接单元，其分别插入于连接部，与开闭板的另一侧面连接。

Valve leaf for vacuum valve

The invention is characterized in that, including: opening and closing plate, which formed the shape of the plate, one side with the mobile channel of contact, and respectively form a screwed in the other side, in the peripheral part of the screw are respectively formed with a first elastic member is mounted, so that one side of a first elastic member placed in the connecting rod shaft; and the other side shutter equipped with more than one, a contacting protrusions were formed, the contact protrusions formed second elastic member is mounted, so that the other side of the first elastic member is placed; a first elastic member which are respectively arranged on the first elastic member is mounted and the second elastic member is placed between the opening and closing of guide plate is connected with the shaft connecting rod elastic connecting units, respectively; inserted in the connecting part, and the opening and closing of another side plate connection.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空阀用阀叶
本专利技术涉及真空阀用阀叶，所述真空阀用阀叶1配备于阀壳10内部的移动空间11，根据驱动构件30是否运转而使移动通路部12开闭，其特征在于，包括：开闭板100，其以板形状形成，其一侧面与所述移动通路部12接触，且在另一侧面分别形成有螺合部110、110`，在所述螺合部110、110`的外周分别形成有第一弹性构件安放部120、120`，以便第一弹性构件300、300`的一侧面安放；轴连接杆200，其在所述开闭板100另一侧面配备一个以上，分别形成有接触凸出部210、210`，所述接触凸出部210、210`形成第二弹性构件安放部211、211`以便所述第一弹性构件400、400`的另一侧面安放；第一弹性构件300、300`，其分别配置于所述第一弹性构件安放部120、120`与第二弹性构件安放部211、211`之间，引导所述开闭板100与轴连接杆200弹性连接；连接单元400、400`，其结合于所述轴连接杆200，且与所述开闭板100的另一侧面连接。
技术介绍
一般而言，半导体制造工序作为要求高精密度的工序，要求高清洁度和特殊的制造技术。出于如上所述的理由，半导体元件在完美地切断空气中包含的异物质接触的状态下，即，在真空状态下制造。因此，半导体制造装置的真空作业区域与大气的密闭技术也对半导体制品的品质产生很大影响。为了这种半导体制造工序，安装有实现半导体元件的集成工序的工序腔、吸入工序腔内的空气的真空泵及安装于工序腔与真空泵之间并调节真空泵的吸入力向工序腔传递的真空阀。在这种真空阀的构成中，与驱动构件连接并借助于驱动构件的驱动力而对移动通路进行开闭的阀叶，起到根据驱动构件是否运转而垂直及水平移动，对移动通路进行开闭的作用，从而对保持工序腔内的清洁度并提高作业效率性起到极其重要的作用。因此，优选阀叶设计得在封闭移动通路时，提高与移动通路的密闭力。在这种阀叶中，下述专利文献1的“阀板在阀杆上的安装(大韩民国公开专利公报第10-2011-0102328号)”涉及的阀板在阀杆上的安装，利用了相对于阀杆横穿展开的横梁构件，所述横梁构件在中央连接地点与阀杆连接，而且，在位于中央连接地点两侧的至少2个的侧面连接地点，与阀板连接，而且，所述横梁构件包括在中央连接地点及两侧，折叠于所述中央连接地点的横梁构件部分，在中央部分，与阀板具有间隔，针对阀板在阀杆上的安装，通过横梁构件的扭转，阀板可以沿着相对于阀杆成直角的旋转轴外周，相对于阀杆进行回旋，从而当阀板封闭阀开口部时，阀板以均等的力对阀开口部加压，具有能够保持紧密的密闭状态的优点。但是，所述专利文献1的“阀板在阀杆上的安装”存在的问题是，由于反复运转，阀杆磨损或阀板及纵轴等的连接松动，因而当阀板封闭阀开口部时，阀板无法准确地封闭阀开口部，从而工序腔内的清洁度下降，异物质等流入阀壳内部而发生颗粒。另外，所述专利文献1的“阀板在阀杆上的安装”作为面与面接触的阀开口部和阀板的结构，根据使汽缸运转的压缩空气的量、活塞的上升功率、施加于阀板的旋转力、各构成要素的连接地点等的细微差异，为了阀开口部的开闭而沿水平方向移动的阀板相对于阀开口部并非水平状态移送，即，一侧错位移动，从而在阀板与阀开口部相遇的面发生隔开现象，因此，存在的问题是密闭力低下、丧失作为在工序腔内使用的阀门的功能。
技术实现思路
要解决的技术问题本专利技术正是为了解决所述问题而研发的，本专利技术的目的提供一种真空阀用阀叶，在开闭板与轴连接杆之间分别插入弹性材质的第一弹性构件，体现开闭板与轴连接杆弹性连接的结构，从而第一弹性构件可变地应对因发生机械隔开误差或进行运转的力不均衡而导致的开闭板位置变更，当开闭板封闭移动通路部时，开闭板可以精巧地贴紧移动通路部，始终保持紧密的密闭状态。解决问题的手段为了解决如上所述的问题，本专利技术的真空阀用阀叶涉及配备于阀壳10内部的移动空间11并根据驱动构件30是否运转而使移动通路部12开闭的真空阀用阀叶1，其特征在于，包括：开闭板100，其以板形状形成，其一侧面与所述移动通路部12接触，且在另一侧面分别形成有螺合部110、110`，在所述螺合部110、110`的外周分别形成有第一弹性构件安放部120、120`，以便第一弹性构件300、300`的一侧面安放；轴连接杆200，其在所述开闭板100另一侧面配备一个以上，分别形成有接触凸出部210、210`，所述接触凸出部210、210`形成第二弹性构件安放部211、211`以便所述第一弹性构件400、400`的另一侧面安放；第一弹性构件300、300`，其分别配置于所述第一弹性构件安放部120、120`与第二弹性构件安放部211、211`之间，引导所述开闭板100与轴连接杆200弹性连接；连接单元400、400`，其结合于所述轴连接杆200，且与所述开闭板100的另一侧面连接。另外，其特征在于，所述连接单元400、400`形成有螺钉头形状的头部410、410`、在所述头部410、410`一侧形成并与所述开闭板100的另一侧面接触的连接凸起部420、420`；在所述头部410、410`与连接凸起部420、420`内侧形成有结合部430、430`，以便结合螺栓440、440`插入，；配备有结合螺栓440、440`，所述结合螺栓440、440`在插入于所述结合部430、430`的状态下，结合于所述螺合部110、110`，使所述开闭板100与轴连接杆200连接；在所述连接部220、220`的内侧面形成有错层部221、221`，以便在所述连接单元400、400`插入于所述连接部220、220`的状态下，支撑所述头部410、410`；在所述错层部221、221`的内侧形成有连接插入孔222、222`，以便所述连接凸起部420、420`插入。另外，其特征在于，所述连接插入孔222、222`的直径D1形成得大于所述连接凸起部420、420`的直径d1。另外，其特征在于，在所述错层部221、221`形成有第三弹性构件安放部221a、221a`，以便第二弹性构件500、500`的一侧面安放，在所述第三弹性构件安放部221a、221a`与所述头部410、410`的一侧之间配备有第二弹性构件500、500`，以便所述轴连接杆200与连接单元400、400`弹性连接。专利技术的效果综上所述，根据本专利技术，体现在开闭板与轴连接杆之间分别插入弹性材质的第一弹性构件，开闭板与轴连接杆弹性连接的结构，从而具有的优点是，第一弹性构件可变地应对因发生机械隔开误差或进行运转的力不均衡导致的开闭板位置变更，开闭板可以精巧地贴紧移动通路部，始终保持紧密的密闭状态。附图说明图1是显示包括本专利技术优选实施例的真空阀用阀叶的真空阀的整体形态的立体图。图2是显示本专利技术优选实施例的真空阀用阀叶的整体形态的立体图。图3是显示本专利技术优选实施例的真空阀用阀叶的分解形态的分解立体图。图4是显示本专利技术优选实施例的真空阀用阀叶的另一侧形态的主视图。图5是显示图4的A-A剖面的剖面图。图6是显示本专利技术优选实施例的真空阀用阀叶封闭移动通路部的形态的实施例图。具体实施方式下面参照附图，详细说明本专利技术一个实施例的真空阀用阀叶1。首先需要注意的是，附图中相同的构成要素或部件尽可能以相同的附图标记代表。在说明本专利技术方面，为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空阀用阀叶(1)，所述真空阀用阀叶(1)配备于阀壳(10)内部的移动空间(11)，根据驱动构件(30)是否运转而使移动通路部(12)开闭，其特征在于，包括：开闭板(100)，其以板形状形成，其一侧面与所述移动通路部(12)接触，且在另一侧面分别形成有螺合部(110、110`)，在所述螺合部(110、110`)的外周分别形成有第一弹性构件安放部(120、120`)，以便第一弹性构件(300、300`)的一侧面安放；轴连接杆(200)，其在所述开闭板(100)另一侧面配备一个以上，分别形成有接触凸出部(210、210`)，所述接触凸出部(210、210`)形成第二弹性构件安放部(211、211`)，以便所述第一弹性构件(400、400`)的另一侧面安放；第一弹性构件(300、300`)，其分别配置于所述第一弹性构件安放部(120、120`)与第二弹性构件安放部(211、211`)之间，引导所述开闭板(100)与轴连接杆(200)弹性连接；连接单元(400、400`)，其结合于所述轴连接杆(200)，且与所述开闭板(100)的另一侧面连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.04 KR 10-2015-00624751.一种真空阀用阀叶(1)，所述真空阀用阀叶(1)配备于阀壳(10)内部的移动空间(11)，根据驱动构件(30)是否运转而使移动通路部(12)开闭，其特征在于，包括：开闭板(100)，其以板形状形成，其一侧面与所述移动通路部(12)接触，且在另一侧面分别形成有螺合部(110、110`)，在所述螺合部(110、110`)的外周分别形成有第一弹性构件安放部(120、120`)，以便第一弹性构件(300、300`)的一侧面安放；轴连接杆(200)，其在所述开闭板(100)另一侧面配备一个以上，分别形成有接触凸出部(210、210`)，所述接触凸出部(210、210`)形成第二弹性构件安放部(211、211`)，以便所述第一弹性构件(400、400`)的另一侧面安放；第一弹性构件(300、300`)，其分别配置于所述第一弹性构件安放部(120、120`)与第二弹性构件安放部(211、211`)之间，引导所述开闭板(100)与轴连接杆(200)弹性连接；连接单元(400、400`)，其结合于所述轴连接杆(200)，且与所述开闭板(100)的另一侧面连接。2.根据权利要求1所述的真空阀用阀叶(1)，其特征在于，所述连接单元(400、400`)形成有螺钉头形状的头部(410、410`)、在所述头部(410、410`)一侧形成并与所述开闭...

【专利技术属性】
技术研发人员：金培镇，崔基善，金潒錉，金冈贤，
申请(专利权)人：普利西斯株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR