用于在车床中安装转动基管的转动导通件、CVD车床和使用CVD车床的相应方法技术

一种用于在车床中安装转动基管并向所述管内提供处理气体流的转动导通件，所述转动导通件包括：处理气体供给管路，其用于向所述基管内提供处理气体；可转动的保持件，其被配置成以使所述基管相对于所述处理气体供给管路转动的方式接收和保持所述基管；转动接头，其设置在所述可转动的保持件和所述处理气体供给管路之间，所述转动接头使所述可转动的保持件与所述处理气体供给管路可转动地连接；固定壳体，其连接至所述处理气体供给管路和所述可转动的保持件，从而形成包围所述转动接头的封闭的腔，其中所述固定壳体还包括用于向所述封闭的腔提供辅助气体的辅助气体供给管路。

A corresponding method of rotating guide parts, CVD lathes and CVD lathes used for installing a rotating base tube in a lathe

For lathes in the installation of rotating base tube and to the tube provides gas flow rotation conduction, the rotating conduction device includes: a processing gas supply pipe, which is used for the base tube to provide treatment gas; keep a rotatable, configured to the base tube with respect to the treatment of gas supply pipeline rotation way to receive and retain the base tube; a rotary joint, the set can rotate in the retainer and the treating gas supply pipeline between the retainer and the processing gas supply pipe is rotatably connected with the rotation of the joint rotatable; fixing shell holder connected to the gas supply pipe and the rotary, which surrounds the rotary joint closed cavity, wherein the fixed housing also includes a closed to the The auxiliary gas supply pipeline is provided by the cavity.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在车床中安装转动基管的转动导通件、CVD车床和使用CVD车床的相应方法
本专利技术涉及用于在车床中安装转动基管并向基管内提供处理气体流的转动导通件(rotaryfeed-through)。本专利技术还涉及使用化学气相沉积CVD和包括新的转动导通件的车床制造光纤用预制件的方法。
技术介绍
例如从本申请人的美国专利No.6,260,510已知玻璃层在基管内部的沉积，其中一种或多种反应气体和含氧气体被供应至所述基管。根据从美国专利No.6,260,510已知的方法，将掺杂或未掺杂的二氧化硅层(例如掺锗二氧化硅)涂覆在由例如石英玻璃构成的基管的内表面上。这种沉积反应可以通过如下执行：沿着共振腔的圆柱轴线定位基管，随后利用包括例如氧气、氯化硅和氯化锗的气体混合物冲刷管的内侧。随后，在基管内产生局部化(localized)的等离子体，从而在基管的内表面上产生掺锗二氧化硅的直接沉积。因为该沉积仅发生在局部化的等离子体附近，所以共振腔必须沿着基管的圆柱轴线往复运动(因而等离子体也是)以便沿着基管的整个长度均匀地涂覆基管。当完成层的沉积时，基管以将会收缩成杆的方式进行热处理，该杆也被称为光学预制件。如果光学预制件的端以所述端开始融化的方式被加热，则能够从杆拉出光纤并将光纤缠绕在卷轴上。因此这种光纤具有对应于光学预制件的芯-包层部(core-claddingportion)的芯-包层部。因为掺锗的芯具有比例如无掺杂的包层高的折射率，所以纤维能够用作波导，也就是用于传播光学通信信号。然而需要注意的是，冲刷基管内部的气体混合物也可以包含其它组分；可以添加降低掺杂二氧化硅的折射率的含氟化合物。用于通信目的的这种纤维的使用要求纤维实质上没有污染物，因为如果使用很长的纤维，这种污染物能够导致所承载的信号严重衰减。结果，不仅前述的PCVD处理高度均匀是重要的，而且用于沉积的反应气体不包含任何不期望的杂质也是重要的。在前述化学气相沉积期间，氢原子能够在已经沉积于基管的内部的玻璃层中形成-OH键，其中-OH键特别地由于在1250nm和1385nm对透射光谱的强烈吸收而对于从光学预制件拉出的纤维的透射光谱具有强烈的反作用。归因于气体原材料中少量杂质的出现，该吸收损耗在1385nm的波长能够达到10-20dB/km。虽然存在用于防止该-OH基并入光学玻璃纤维的现有技术的方法，例如从美国专利No.4,675,038已知的通过在多孔玻璃结构的情况下在沉积步骤之后执行氯化步骤，或者例如从欧洲专利申请No.0127227已知的通过在化学气相沉积反应期间添加氟，但是两种现有技术的方法均具有如下缺点：将会在最终的玻璃结构中分别发现额外量的氯或氟，这导致由瑞利散射(Rayleighscattering)引起的增大的衰减损耗。光导发生在一小部分光学玻璃纤维(即光芯)以及包围所述芯的小部分包层中。因此重要的是，光学预制件不含杂质特别是不含羟基，其中用于光的传导的光学玻璃纤维从所述光学预制件中拉出。欧洲专利申请No.0401742涉及OVD处理，其中不含羟基离子的二氧化硅沉积于基材，该基材位于与周围大气隔离的空间中。本申请人的欧洲专利申请No.04774996.5公开了防止上述污染物的方法，其中所公开的方法用于制造光纤用预制件，玻璃成形化合物的沉积发生在基管上，该沉积步骤在基材在调节大气(conditionedatmosphere)中出现的环境中执行，该调节大气具有比非调节大气低的含水量。该方法的缺点是整个CVD车床因而必须置于调节大气中，使得没有污染物能够进入基管。这可能是麻烦和激进的流程，因为这可能会牵涉工厂布局的重新设计。因此，本专利技术的一个方面是提供用于在车床中安装转动基管并向管内提供处理气体流的转动导通件，其中没有污染物能够经由转动导通件进入基管。本专利技术的另一方面是提供包括这种转动导通件的化学气相沉积CVD车床。本专利技术的另一方面是提供使用新的化学气相沉积CVD车床制造光纤用预制件的方法，其中玻璃成形化合物的沉积发生在接收的基管上。上述目的通过本专利技术实现。
技术实现思路
本专利技术涉及用于在车床中安装转动基管并向管内提供处理气体流的转动导通件，所述导通件包括：-处理气体供给管路，其用于向所述基管内提供处理气体；-可转动的保持件，其被配置成以使所述基管相对于所述处理气体供给管路转动的方式接收和保持所述基管；-转动接头，其设置在所述可转动的保持件和所述处理气体供给管路之间，所述转动接头使所述可转动的保持件与所述处理气体供给管路可转动地连接；-固定壳体，其连接至所述处理气体供给管路和所述可转动的保持件，从而形成包围所述转动接头的封闭的腔，其中所述固定壳体还包括用于向所述封闭的腔提供辅助气体的辅助气体供给管路；-另一转动接头，其设置在所述可转动的保持件和所述固定壳体之间，所述另一转动接头使所述可转动的保持件与所述固定壳体可转动地连接，以在所述封闭的腔与所述转动导通件的外部环境之间提供密封，从而能够通过所述辅助气体对所述封闭的腔加压。在实施方式中，所述固定壳体经由至少一个滚珠轴承与所述可转动的保持件连接。在另一实施方式中，所述可转动的保持件包括：-接收部，其具有开口，所述接收部被配置成用于接收所述基管使得所述基管的第一端穿入所述接收部；-保持部，其被配置成用于保持所述基管的所述第一端，所述保持部包括用于大致密封所述接收部和所述基管的接收于所述接收部的开口的所述第一端的至少一个密封构件。在另一实施方式中，所述保持部包括两个分离的、位置相邻的密封构件，所述接收部包括在两个所述密封构件之间定向的通孔，使得在所述基管接收于所述接收部时，由两个所述密封构件和所述基管围住的区域与所述腔直接连通。在另一实施方式中，所述密封构件包括O型环。在另一实施方式中，所述转动导通件被配置成用于在化学气相沉积CVD车床中安装转动基管。本专利技术还涉及化学气相沉积CVD车床，其被配置成在制造光纤用预制件期间保持和转动基管，其中玻璃成形化合物的沉积发生在所述基管上，所述CVD车床包括新的转动导通件，所述CVD车床还包括：-处理气体部件，其用于以处理气体压力向所述处理气体供给管路提供所述处理气体；-辅助气体部件，其用于经由所述辅助气体供给管路向所述腔提供所述辅助气体，以在所述封闭的腔内建立辅助气体压力。在实施方式中，所述所述辅助气体压力低于所述处理气体压力。在另一实施方式中，所述CVD车床被配置成在周围环境压力中运行，所述辅助气体压力高于所述周围环境压力。在另一实施方式中，所述辅助气体含有少于10ppm的杂质，优选地，所述辅助气体是氧气、氮气、氩气和氦气中的一个。在另一实施方式中，所述CVD车床还包括接收的所述基管。本专利技术还涉及使用新的化学气相沉积CVD车床制造光纤用预制件的方法，其中玻璃成形化合物的沉积发生在接收的基管上，所述方法的特征在于如下步骤：-在所述沉积步骤期间使用所述辅助气体部件以所述辅助气体压力对所述封闭的腔加压。在实施方式中，所述加压步骤包括：-在所述沉积步骤期间使用所述辅助气体部件以所述辅助气体压力对所述封闭的腔加压，所述辅助气体压力低于所述处理气体压力，或者高于所述周围环境压力。在另一实施方式中，所述方法还包括如下步骤：-在所述沉积步骤之后使所述基管收缩成块状的预制件(massi本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在车床中安装转动基管并向所述管内提供处理气体流的转动导通件，所述转动导通件包括：‑处理气体供给管路，其用于向所述基管内提供处理气体；‑可转动的保持件，其被配置成以使所述基管相对于所述处理气体供给管路转动的方式接收和保持所述基管；‑转动接头，其设置在所述可转动的保持件和所述处理气体供给管路之间，所述转动接头使所述可转动的保持件与所述处理气体供给管路可转动地连接；‑固定壳体，其连接至所述处理气体供给管路和所述可转动的保持件，从而形成包围所述转动接头的封闭的腔，其中所述固定壳体还包括用于向所述封闭的腔提供辅助气体的辅助气体供给管路；‑另一转动接头，其设置在所述可转动的保持件和所述固定壳体之间，所述另一转动接头使所述可转动的保持件与所述固定壳体可转动地连接，以在所述封闭的腔与所述转动导通件的外部环境之间提供密封，从而能够通过所述辅助气体对所述封闭的腔加压。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.25 NL 20145191.一种用于在车床中安装转动基管并向所述管内提供处理气体流的转动导通件，所述转动导通件包括：-处理气体供给管路，其用于向所述基管内提供处理气体；-可转动的保持件，其被配置成以使所述基管相对于所述处理气体供给管路转动的方式接收和保持所述基管；-转动接头，其设置在所述可转动的保持件和所述处理气体供给管路之间，所述转动接头使所述可转动的保持件与所述处理气体供给管路可转动地连接；-固定壳体，其连接至所述处理气体供给管路和所述可转动的保持件，从而形成包围所述转动接头的封闭的腔，其中所述固定壳体还包括用于向所述封闭的腔提供辅助气体的辅助气体供给管路；-另一转动接头，其设置在所述可转动的保持件和所述固定壳体之间，所述另一转动接头使所述可转动的保持件与所述固定壳体可转动地连接，以在所述封闭的腔与所述转动导通件的外部环境之间提供密封，从而能够通过所述辅助气体对所述封闭的腔加压。2.根据权利要求1所述的转动导通件，其特征在于，所述另一转动接头包括至少一个滚珠轴承。3.根据前述权利要求中任一项所述的转动导通件，其特征在于，所述可转动的保持件包括：-接收部，其具有开口，所述接收部被配置成用于接收所述基管使得所述基管的第一端穿入所述接收部；-保持部，其被配置成用于保持所述基管的所述第一端，所述保持部包括用于大致密封所述接收部和所述基管的接收于所述接收部的开口的所述第一端的至少一个密封构件。4.根据权利要求3所述的转动导通件，其特征在于，所述保持部包括两个分离的、位置相邻的密封构件，所述接收部包括在两个所述密封构件之间定向的通孔，使得在所述基管接收于所述接收部时，由两个所述密封构件和所述基管围住的区域与所述腔直接连通。5.根据权利要求4所述的转动导通件，其特征在于，所述密封构件包括O型环。6.根据前述权利要求中任一项所述的转动导通件，其特征在于，所述转动导通件被配置成用于在化学气相沉积CVD车床中安装转动基管。7.一种化...

【专利技术属性】
技术研发人员：I·米莉瑟维克，R·汉斯，J·A·哈特苏克，G·克拉比希斯，M·J·N·范·斯特劳伦，
申请(专利权)人：德拉克通信科技公司，
类型：发明
国别省市：荷兰,NL