探针台固定组件制造技术

本实用新型专利技术提供一种探针台固定组件，包括固定架，固定架内设有中空部，固定架上设有“L”固定板，固定板的第一端设置在固定架上，固定板的第二端贯穿中空部，固定架上设置有固定件，固定件包括底座，底座上铰接第一连接杆的第一端，第一连接杆的第二端连接固定杆，固定杆的固定头朝向并邻接固定板的第一端；第一连接杆连接操作杆，固定板连接弹簧的第一端，弹簧的第二端连接操作杆，采用以上结构，在保证探针卡固定的稳固性的同时能够快速进行探针卡更换，有效提高工作效率。

Probe platform fixer

The utility model provides a probe fixing assembly comprises a fixed frame, a fixing frame is provided with a hollow part, the fixed frame is provided with a \L\ plate, the end of the fixed plate is arranged on the fixed frame and the fixed plate second end through the hollow part, the fixed frame is provided with a fixing part, the fixing part comprises a base in the end, the first connecting rod is hinged on the base, the first connecting rod is connected to the second end of the fixing rod, fixed head fixing rod toward the first end and adjacent to the fixed plate; the first connecting rod is connected with an operating rod, the end of the fixed plate is connected with a spring, the spring second is connected with the operating rod, using the above structure, in which probe card fixing stability and can quickly replace the probe card, effectively improve the work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
探针台固定组件
本技术涉及半导体
，尤其是涉及一种探针台固定组件。
技术介绍
晶圆是指硅半导体芯片的基本材料，可以将晶圆理解成芯片的集中体。在进行晶圆测试的过程中，需要利用细长的探针与芯片上的接点接触，测试芯片的电气特性，不合格的芯片会被标上记好，在后续的晶圆切割过程，就带有不合格标记的芯片淘汰，尽可能降低制造成本。其中探针固定在探针卡上，在晶圆测试过程中，需要固定好探针卡，并与晶圆准确对位，保证测试的准确性。目前，市面上的探针测试台具有夹持探针卡的固定组件，在探针台上设有开孔，开孔的两侧均设有侧板，两侧的侧板之间设有用于安装探针卡的中空部，侧板靠近中空部的一侧设置有移动固定件，通过旋转螺丝带动固定件移动，两侧的固定件的移动将中空部的宽度变窄，从而起到固定探针卡的效果。以上的探针卡固定方式固定效果显著，但是每一次固定探针卡都需要进行螺丝的手动旋转，操作过程麻烦并且缓慢，影响工作效率。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种实现固定探针卡作用并可提高工作效率的探针台固定组件。为实现上述的主要目的，本技术提供的探针台固定组件包括固定架，固定架内设有中空部；固定板，固定板呈“L”形，固本文档来自技高网...

【技术保护点】
探针台固定组件，其特征在于，包括：固定架，所述固定架内设有中空部；固定板，所述固定板呈“L”形，所述固定板设置在所述固定架上，所述固定板的第一端设置在所述固定架上，所述固定板的第二端贯穿所述中空部；固定件，所述固定件设置在所述固定架上，所述固定件包括底座，所述底座上铰接第一连接杆的第一端，所述第一连接杆的第二端连接固定杆，所述固定杆的自由端设置有固定头，所述固定头朝向并邻接所述固定板的第一端；所述第一连接杆连接操作杆；弹簧，所述弹簧的第一端连接所述固定板，所述弹簧的第二端连接所述操作杆。

【技术特征摘要】
1.探针台固定组件，其特征在于，包括：固定架，所述固定架内设有中空部；固定板，所述固定板呈“L”形，所述固定板设置在所述固定架上，所述固定板的第一端设置在所述固定架上，所述固定板的第二端贯穿所述中空部；固定件，所述固定件设置在所述固定架上，所述固定件包括底座，所述底座上铰接第一连接杆的第一端，所述第一连接杆的第二端连接固定杆，所述固定杆的自由端设置有固定头，所述固定头朝向并邻接所述固定板的第一端；所述第一连接杆连接操作杆；弹簧，所述弹簧的第一端连接所述固定板，所述弹簧的第二端连接所述操作杆。2.根据权利要求1所述的探针台固定组件，其特征在于：所述固定板上设置有开孔，所述开孔内设有旋紧件。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：吴俊，熊强，袁志伟，
申请(专利权)人：珠海市中芯集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44