【技术实现步骤摘要】
一种晶硅棒搬运移栽机器人
本技术涉及搬运设备,特别是一种晶硅棒搬运移栽机器人。
技术介绍
目前越来越多的生产加工厂、物流仓库涉及到物料搬运。对于半导体生产厂家来说,由于单晶硅沿着垂直方向生长结晶,结晶完毕后需要将晶硅棒进行搬运移栽,由于晶硅棒的比重大,脆性强,单根硅棒重量都在100公斤以上,在硅棒取出和搬运的过程中不仅劳动强度大,而且风险性大,操作稍不小心就很容易造成硅棒摔倒断裂,需要借助于自动化设备对晶硅棒进行搬运移栽。
技术实现思路
针对以上需求,本技术的晶硅棒搬运移栽机器人,针对晶硅棒搬运的跨度大、负载重、易碎裂等特点,以自动化搬运替代人工搬运,节省了人工,提高了搬运效率。本技术的技术方案为:一种晶硅棒搬运移栽机器人,包括通过立柱架设在空中的三维方向轨道和沿轨道运行的夹具,所述三维方向轨道包括水平方向的X轴轨道、垂直架设在X轴轨道上能沿X轴轨道水平运行的Y轴轨道和垂直架设在Y轴轨道上能沿Y轴轨道水平运行的Z轴轨道,所述夹具设置在Z轴轨道上,能沿Z轴轨道升降运行和开合夹取、放置物料。所述晶硅棒搬运移栽机器人还包括电控箱、电机和减速机,所述电控箱用于接收外部指令,通过电 ...
【技术保护点】
一种晶硅棒搬运移栽机器人,其特征在于,包括通过立柱(11)架设在空中的三维方向轨道和沿轨道运行的夹具(31),所述三维方向轨道包括水平方向的X轴轨道(10)、垂直架设在X轴轨道(10)上能沿X轴轨道(10)水平运行的Y轴轨道(20)和垂直架设在Y轴轨道(20)上能沿Y轴轨道(20)水平运行的Z轴轨道(30),所述夹具(31)设置在Z轴轨道(30)上,能沿Z轴轨道(30)升降运行和开合夹取、放置物料。
【技术特征摘要】
1.一种晶硅棒搬运移栽机器人,其特征在于,包括通过立柱(11)架设在空中的三维方向轨道和沿轨道运行的夹具(31),所述三维方向轨道包括水平方向的X轴轨道(10)、垂直架设在X轴轨道(10)上能沿X轴轨道(10)水平运行的Y轴轨道(20)和垂直架设在Y轴轨道(20)上能沿Y轴轨道(20)水平运行的Z轴轨道(30),所述夹具(31)设置在Z轴轨道(30)上,能沿Z轴轨道(30)升降运行和开合夹取、放置物料。2.根据权利要求1所述的晶硅棒搬运移栽机器人,其特征在于,所述晶硅棒搬运移栽机器人还包括电控箱(40)、电机(41)和减速机(42),所述电控箱(40)用于接收外部指令,通过电机(41)和减速机(42)控制Y轴轨道(20)和Z轴轨道(30)的运行。3.根据权利要求2所述的晶硅棒搬运移栽机器人,其特征在于,所述X轴轨道(10)和Y轴轨道(20)、Y轴轨道(20)和Z轴轨道(30)均采用齿轮齿条方式传动,即,在Y轴轨道(20)上、Z轴轨道(20)上设有滚轮箱(50),所述滚轮箱(50)内部设置有齿轮,在X轴轨道(10)上的与Y轴轨道(20)滚轮箱(50)相接触面、Y轴轨道(20)上的与Z轴轨道(30)滚轮箱(50)相接触面设有导轨板(52)和齿条(53),所述齿轮与齿条(53)相互啮合实现传动。4.根据权利要求2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴跃新,周俊强,
申请(专利权)人:上海博信机器人科技有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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