带温度测量功能的高温大量程压力传感器及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种带温度测量功能的高温大量程压力传感器及其制造方法，包括引压组件、基座组件、引线组件、调理电路板、外壳、连接组件组成。将溅射薄膜压力传感器弹性体钢杯与引压嘴加工成整体，彻底消除弹性体钢杯与引压嘴焊接泄漏的隐患，同时增加经济实用的温敏电阻用于测量介质温度。另外，引压组件与基座组件分开加工，并且，引压组件加工有应力隔离槽，传感器在与介质压力测量管道连接时，扳手的机械扭矩和变形所产生的较大应力不会传导至压力传感器敏感芯体上，能确保传感器的测量精度和长期稳定性。这样能获得测量精度高、稳定性好、温度范围宽、量程范围大、能同时测量温度的高性能压力传感器产品。

High temperature pressure sensor with temperature measurement and its manufacturing method

The invention discloses a high temperature and large range pressure sensor with temperature measurement function and a manufacturing method thereof, comprising a pressure guiding component, a base assembly, a lead assembly, a conditioning circuit board, a shell and a connecting component. The sputtering film pressure sensor elastomeric steel cup and the pressure nozzle are processed into a whole, and the hidden trouble of welding leakage between elastic steel cup and pressure nozzle is eliminated. At the same time, an economical and practical thermistor is added to measure the medium temperature. In addition, the pressure component and the base component processed separately, and the pressure component machining stress isolation groove is connected with the sensor in the measurement of pipeline medium pressure, the mechanical torque wrench and deformation caused by large stress is not transmitted to the pressure sensor sensitive core, can ensure the accuracy and long-term stability of the sensor. It can obtain high performance pressure sensor products with high measurement precision, good stability, wide range of temperature range, large range of range, and can measure temperature at the same time.

【技术实现步骤摘要】
带温度测量功能的高温大量程压力传感器及其制造方法
本专利技术涉及一种压力传感器及其制造方法，尤其涉及一种带温度测量功能、能耐高温、量程范围大的带温度测量功能的高温大量程压力传感器及其制造方法。
技术介绍
溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有测量精度高、稳定性好、测量温度范围宽、量程范围大等优点，在航空、航天、军工、核工业、石化、交通、冶金、食品、医药、物联网等许多领域得到应用。但普通的溅射薄膜压力传感器不具备温度测量功能，或者具备温度测量功能，但需要在制备压力敏感功能薄膜的基础上增加温度敏感薄膜的制备和光刻工艺，工艺难度高，生产效率低，产品成本高。另外，现有的溅射薄膜压力传感器在测量大量程压力时，弹性体钢杯与引压嘴焊接时往往焊接深度不够(如果增加焊接功率，加大焊接深度，又会产生较大热量影响敏感元件的性能)，在使用过程中存在泄漏的风险。再者，现有的压力传感器引压嘴和基座一体加工，压力传感器在与测量管道连接时，扳手的机械扭矩所产生的应力会迅速传导至压力传感器敏感芯体上，对传感器敏感元件产生较大影响，使传感器测量精度和稳定性大大降低。然而，在现实的压力测量领域中，往往在压力本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带温度测量功能的高温大量程压力传感器，其特征在于：包括引压组件(1)、基座组件(2)、引线组件(3)、调理电路板(4)、外壳(5)、连接组件(6)；所述引压组件(1)下端中心加工有引压孔(101)、下端外部加工有外螺纹(102)、中部加工有支撑台(103)、上端加工有弹性体(104)、中上部加工有应力隔离槽(105)；所述引压组件(1)完成将被测介质引入且将被测介质压力信号转换成电信号的作用；所述基座组件(2)下部内侧加工有与所述引压组件(1)的支撑台(103)吻合的基座下凸台(203)、下部外侧加工有六角头(201)、上部内侧加工有与所述引线组件(3)吻合的基座上凸台(202)、上部外侧...

【技术特征摘要】
1.一种带温度测量功能的高温大量程压力传感器，其特征在于：包括引压组件(1)、基座组件(2)、引线组件(3)、调理电路板(4)、外壳(5)、连接组件(6)；所述引压组件(1)下端中心加工有引压孔(101)、下端外部加工有外螺纹(102)、中部加工有支撑台(103)、上端加工有弹性体(104)、中上部加工有应力隔离槽(105)；所述引压组件(1)完成将被测介质引入且将被测介质压力信号转换成电信号的作用；所述基座组件(2)下部内侧加工有与所述引压组件(1)的支撑台(103)吻合的基座下凸台(203)、下部外侧加工有六角头(201)、上部内侧加工有与所述引线组件(3)吻合的基座上凸台(202)、上部外侧加工有与所述外壳(5)吻合的基座外凸台(205)；所述引线组件(3)包括高温接触电路板(301)、引线支架(302)、引线针(303)、密封板(304)、温敏电阻(307)；所述温敏电阻(307)是通过温敏连接(308)焊接在所述高温接触电路板(301)的引线焊盘(305)上的小型温度敏感电阻；所述温敏电阻(307)直接接触所述弹性体(104)表面，用于测量介质温度；所述引线支架(302)是金属材料制成的圆形支架，边缘加工有多个引线针穿孔(311)，所述引线针穿孔(311)内插入金属引线针(303)，所述金属引线针(303)周围灌注绝缘填充料(306)以便于所述金属引线针(303)与所述引线支架(302)绝缘；所述金属引线针(303)伸出引线针穿孔(311)的上端部分比下端部分长；所述高温接触电路板(301)的焊盘与所述引线支架(302)的金属引线针(303)下端一一对齐并紧密胶合；所述密封板(304)嵌入引线支架(302)的支架上凸台(310)并圆周密封焊接；所述调理电路板(4)外周加工有与所述金属引线针(303)对应的引线针过孔(401)；所述金属引线针(303)穿过对应的引线针过孔(401)并焊接，实现所述高温接触电路板(301)信号与所述调理电路板(4)信号连通。2.如权利要求1所述的带温度测量功能的高温大量程压力传感器，其特征在于：所述弹性体(104)表面通过离子束溅射工艺制造四个薄膜应变电阻形成惠斯通电桥，用于测量介质压力。3.如权利要求1所述的带温度测量功能的高温大量程压力传感器，所述外壳(5)是圆柱形壳体，下端与所述基座组件(2)的基座外凸台(205)吻合并圆周密封焊接。4.如权利要求1所述的带温度测量功能的高温大量程压力传感器，所述连接组件(6)的连接体凸台(603)与所述外壳(5)的外壳凸台(501)吻合并圆周焊接，实现整体密封。5.一种带温度测量功能的高温大量程压力传感器制造方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷念程，
申请(专利权)人：雷念程，
类型：发明
国别省市：北京,11