【技术实现步骤摘要】
一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法
本专利技术涉及一种物理法炼硅设备中电子束提纯设备的控制方法,特别涉及一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法。
技术介绍
目前,在太阳能电池板的硅原料制备中,通常采用的方法是化学法掺杂的方式制备太阳能电池板的硅料,而这种方法是将电子级的硅料(9个9的纯度)掺杂到太阳能级的硅料(6个9),属于多次制备的方式。近年来,为了解决对太阳能级硅料的需求,发展了一种通过物理法制备太阳能级硅料的制备方法,其中最后一个环节就是通过电子束提纯设备,对其中的磷杂质进行去除。这个步骤的成败,决定了整个产品制备的品质高低。因此,如何对电子束提纯设备进行控制,以改良产品品质和保证产品质量是我们研究的重点。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本专利技术提供了一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法,通过分布式的自动控制算法来控制各个电子束提纯设备进行自主动作,以达到改良产品品质和保证产品产量的目的。为达到上述目的,本专利技术的技术方案如下:一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法,包括如下步骤:(1)分布式部署:根据设备的情况,进行分布式网络部署,每台电子束提纯 ...
【技术保护点】
一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)分布式部署:根据设备的情况,进行分布式网络部署,每台电子束提纯设备使用一台控制机作为终端控制机,终端控制机和电子束提纯设备上的PLC工控系统对接,同时所有的终端控制机都通过高速以太网络连接到中央控制中心;(2)基本参数拾取:根据电子束提纯设备的特点,采取硅料的含磷比例为基本输入指标,所有的环控参数为基本辅助参数,电子束路径为核心参数;(3)电子束路径规划:电子束按照横向、纵向、螺旋线、环形扫描的方式,在电子束提纯设备中进行扫描,同时建立扫描模型和基本参数的闭环关系,并存储下来;(4)分布式算法控制:所有 ...
【技术特征摘要】
1.一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)分布式部署:根据设备的情况,进行分布式网络部署,每台电子束提纯设备使用一台控制机作为终端控制机,终端控制机和电子束提纯设备上的PLC工控系统对接,同时所有的终端控制机都通过高速以太网络连接到中央控制中心;(2)基本参数拾取:根据电子束提纯设备的特点,采取硅料的含磷比例为基本输入指标,所有的环控参数为基本辅助参数,电子束路径为核心参数;(3)电子束路径规划:电子束按照横向、纵向、螺旋线、环形扫描的方式,在电子束提纯设备中进行扫描,同时建立扫描模型和基本参数的闭环关系,并存储下来;(4)分布式算法控制:所有的电子束提纯设备向中央控制中心发...
【专利技术属性】
技术研发人员:张林,杨守斌,于登昌,娄杰,王耀辉,
申请(专利权)人:青岛萨纳斯新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:山东,37
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