一种基于三角反射器的空间光调制器耦合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术具体涉及一种基于三角反射器的空间光调制器耦合装置，解决了目前在反射式空间光场调控系统中普遍存在的元器件离散、系统不稳定的问题。耦合装置包括密封盒、设置在密封盒内的等腰三角反射器和空间光调制器；密封盒两侧设置有入射光和出射光通过的通光孔；等腰三角反射器设置在空间光调制器的入射光路和出射光路上，用于耦合入射光和出射光，等腰三角反射器的两个等腰面表面镀有高反射膜。本实用新型专利技术在高效率耦合输入和输出激光束的前提下，大大压缩了空间光场调控光路的占用空间，使得整个空间光场调控装置小型化和紧凑化，大大降低整机的体积重量，非常有利于系统的模块化和仪器化。

A coupling device for spatial light modulator based on triangle reflector

The utility model specifically relates to a spatial light modulator coupling device based on a triangular reflector, which solves the problem of discrete components and unstable systems commonly existing in the reflective space optical field control system. The coupling device comprises a sealing box, is arranged in the sealed space light modulator reflector and the isosceles triangle box; sealing box are arranged at both sides of the incident light and emitting light through the light through hole; the isosceles triangle reflector is provided in the incident optical spatial light modulator and emergent light path, for coupling the incident light and emitting light. Two isosceles isosceles triangle surface reflector coated with high reflection film. The utility model has the advantages of high efficiency in the premise of coupling the input and output of the laser beam, greatly reducing the space occupied by the space light field control light path, make whole space light field control device miniaturization and compact, greatly reduce the volume and weight of the machine, modular and instrumentation is very conducive to the system.

【技术实现步骤摘要】
一种基于三角反射器的空间光调制器耦合装置
本技术涉及空间光场调控领域，具体涉及一种利用三角反射器耦合输入和输出激光束的空间光调制器耦合装置。
技术介绍
1960年激光器的专利技术极大地促进了自然科学研究的发展，涌现了大量以激光为基础的科学研究，如激光生命科学、光信息处理、光学微纳加工等。但是，大多数激光器只能输出基模高斯光束，这种单一模式难以满足现代科学的研究和应用，因此需要对基模高斯光束的振幅、相位和偏振态进行调控。空间光场调控技术可以将基模高斯光束转换为任意新颖的空间结构光场，目前已被广泛应用于光信息存储、光学微纳加工、光通信、光学显微和光学微操纵等领域。空间光场调控的核心器件是空间光调制器。通过计算机编程可以控制空间光调制器对入射光的振幅和相位进行调制，从而产生任意模式的光场输出，具有极高的灵活性。其工作原理是根据特定的物理效应(例如声光效应、磁光效应、电光效应等)，通过光学或电学寻址控制空间光调制器上每个调制单元的物理特性，使入射光场的相位和振幅经调制单元后发生改变，最终得到预期的光场分布。常见的空间光调制器主要有数字微镜器件(DigitalMicromirrorDevice,DMD)、变形镜(DeformableMirror,DM)和液晶空间光调制器(SpatialLightModulator,SLM)。DMD是强度型调制器件，具有刷新速度快、光能量利用率高和损伤阈值高的优点，但不能对入射光场的相位进行调制。DM是相位调制器件，但是其像元数目比较少(几十到几百个)，而且单个像元尺寸较大，空间分辨率比较低。液晶空间光调制器则采用LCoS芯片来调制激光波前，可以进行相位和振幅的调制，此外液晶面板具有比DMD和DM更高的空间分辨率和更大的相位调制深度，是目前空间光场调控系统中使用最广泛的调制器，其中又以具有高光能利用率的反射型液晶空间光场调制最为常用。液晶分子是一种单轴晶体，具有双折射特性。这种光学各向异性的特点使得液晶对光场的相位调制深度不仅与液晶分子的光轴取向相关，还与入射光的偏振态有关。因此，液晶空间光调制器是一种偏振选择器件，需要入射光是线偏振的平面波。反射式液晶空间光调制器在光学系统中的使用方式有正入射和小角度入射两种，分别如图1和图2所示。对于正入射方式，若使用偏振分光棱镜对入射光和出射光进行分离，则只能实现振幅调制而无法实现相位调制，所以在正入射方式中若要实现光场的相位调制，需要采用非偏振分光棱镜(如图1中的NPBS)。然而，由于激光束两次经过非偏振分光棱镜，系统的光能量利用率要低于25％。在很多应用中，这样低的光能量利用率是研究人员所不希望的。因此，基于反射型液晶空间光调制器的空间光场调控系统通常采用小角度入射的方式，而且为了保证光场调控的准确度，入射光角度需要比较小。不同的商用空间光调制器要求不一样，例如德国HoloEYE公司要求是不大于6°，而日本Hamamatsu公司要求是不大于10°。在这样小的一个角度内要使得入射光和出射光完全分开，同时考虑到用于准直和分离两束光束的光学元件的尺寸，激光束需要传播较长的一段距离，如图2中的dmin。这样就很容易导致系统光路松散、杂乱，从而导致整个系统的体积和重量大大增加。离散的光路系统一方面不利于系统的仪器化，另一方面，由于物体的共振频率与其质量负相关，质量越大共振频率越低，而一般的商用光学隔振平台只能抑制几十赫兹以上的共振频率。空间光场调控系统是非常精密的光学系统，过大的质量会使得整个系统的共振频率只有几赫兹，从而难以被光学隔振平台抑制，造成系统的不稳定。
技术实现思路
为解决目前在反射式空间光场调控系统中普遍存在的元器件离散、系统不稳定的问题，本技术提出了一种基于三角反射器实现激光束小角度入射的空间光调制器耦合装置，实现了空间光场调控装置模块化和紧凑化，可使整个空间光场调控系统装置非常紧凑，而且易于与其它系统结合。本技术的技术方案是：一种基于三角反射器的空间光调制器耦合装置，包括密封盒、设置在密封盒内的等腰三角反射器和空间光调制器；密封盒两侧设置有入射光和出射光通过的通光孔，所述通光孔同心设置；等腰三角反射器的两腰面设置在空间光调制器的入射光路和出射光路上，用于耦合入射光和出射光，所述等腰三角反射器的两个等腰面表面镀有高反射膜；等腰三角反射器与空间光调制器的位置关系满足：d2≥d1，其中：d1是入射光和出射光的交汇点到空间光调制器的垂直距离；d2是等腰三角反射器的顶点到空间光调制器的垂直距离；激光束入射到空间光调制器上的角度β与等腰三角反射器的顶角α满足关系式β＝α-90°。进一步地，等腰三角反射器放置于入射光和出射光的交汇点，即d2＝d1。将等腰三角反射器放置于入射光和出射光刚好分开的地方，极大限度地减小激光束的传播距离，压缩装置所占的空间。进一步地，等腰三角反射器的两个等腰面为镀银反射面。进一步地，密封盒上还设置有螺纹孔，所述螺纹孔以通光孔的光轴为中心沿圆周方向均布，螺纹孔的设置可以方便地与其他光学元器件对接。进一步地，等腰三角反射器的顶角α为96°～100°。本技术的优点为：1.本技术利用等腰三角反射器可以引导并在最小的距离内分离入射光和出射光，在高效率耦合输入和输出激光束的前提下，大大压缩了空间光场调控光路的占用空间，使得整个空间光场调控装置小型化和紧凑化，大大降低整机的体积重量，非常有利于系统的模块化和仪器化。2.基于等腰三角反射器耦合光束的反射式空间光场调控模块具有高光能利用率和宽波段适用性，适用对于可见光波段到中红外波长范围内的光源，极大地扩展了空间光场调控模块的适用范围。3.本技术入射光和出射光平行，非常有利于系统光路的调节和继续拓展功能。4.本技术可以广泛应用于所有使用反射式空间光调制器的空间光场调控系统中，例如光镊系统、结构照明显微系统、光信息处理与存储系统等。5.本技术中密封盒可以遮挡激光束被SLM调制后产生的各个级次的衍射光。另外，密封的密封盒有助于隔绝灰尘，避免SLM因吸附过多的灰尘而导致损伤阈值的降低，从而有效地保护SLM。6.本技术可以设置不同的等腰三角反射器的顶角α，满足了激光束小角度入射要求，保证了光场调控的准确度。附图说明图1为空间光调制器SLM在光学系统中正入射方式的示意图；图2为空间光调制器SLM在光学系统中小角度入射方式的示意图；图3为本技术原理示意图：图4是将多个空间光调制器串联使用的结构示意图；图5是本技术具体实施例的结构示意图。附图标记：1-空间光调制器，2-等腰三角反射器，3-密封盒，21-镀银反射面，22-镀银反射面，31-入光孔，32-出光孔。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术的内容作进一步的详细描述：如图3所示，基于三角反射器的空间光调制器耦合装置包括密封盒3、设置在密封盒3内的等腰三角反射器2和空间光调制器1；等腰三角反射器2的两个等腰面表面镀有高反射膜，密封盒3靠近等腰三角反射器2等腰面的两侧分别设置有通光孔作为整个空间光场的输入端和输出端，即密封盒3的入光孔31和出光孔32，入光孔31和出光孔32同心设置；等腰三角反射器2和空间光调制器1调整好位置和距离固定在密封盒3内，具体的位置设置为等腰三角反射器2的两腰本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于三角反射器的空间光调制器耦合装置，其特征在于：包括密封盒、设置在密封盒内的等腰三角反射器和空间光调制器；密封盒两侧设置有入射光和出射光通过的通光孔，所述通光孔同心设置；等腰三角反射器的两腰面设置在空间光调制器的入射光路和出射光路上，所述等腰三角反射器的两个等腰面表面镀有高反射膜；等腰三角反射器与空间光调制器的位置关系满足：d2≥d1，其中：d1是入射光和出射光的交汇点到空间光调制器的垂直距离；d2是等腰三角反射器的顶点到空间光调制器的垂直距离；激光束入射到空间光调制器上的角度β与等腰三角反射器的顶角α满足关系式β＝α‑90°。

【技术特征摘要】
1.一种基于三角反射器的空间光调制器耦合装置，其特征在于：包括密封盒、设置在密封盒内的等腰三角反射器和空间光调制器；密封盒两侧设置有入射光和出射光通过的通光孔，所述通光孔同心设置；等腰三角反射器的两腰面设置在空间光调制器的入射光路和出射光路上，所述等腰三角反射器的两个等腰面表面镀有高反射膜；等腰三角反射器与空间光调制器的位置关系满足：d2≥d1，其中：d1是入射光和出射光的交汇点到空间光调制器的垂直距离；d2是等腰三角反射器的顶点到空间光调制器的垂直距离；激光束入射到空间光调制器上的角度β与等腰三角反射器的顶角α满足关系式...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁言生，雷铭，姚保利，严绍辉，但旦，杨延龙，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：陕西,61