一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A、底座、样本夹持装置B和样本夹持装置C，所述底座由定位销、柱状部、支撑斜面、调节螺杆和定位孔构成，所述样本夹持装置A由带矩形凹槽样品台、调节螺杆B和定位销构成，所述样本夹持装置B由平面样品台和定位销构成，所述平面样品台安装在样本夹持装置B的上方，且样本夹持装置B的下方安装有定位销，所述样本夹持装置C由带柱形凹槽样品台、调节螺杆C和定位销构成。本实用新型专利技术结构简单，样品适应性强，一次可放置多个样品，大大节约了测试时间和成本。

A sample table for electron backscatter diffraction test of SEM

The utility model discloses a sample stage for scanning electron microscopy and electron backscatter diffraction test, including sample clamping device, A base, sample B and sample clamping device for clamping device of C, the base is a positioning pin and a cylindrical part, supporting inclined plane, an adjusting screw and a positioning hole of the sample holder the device A is composed of a rectangular groove with a sample table, B adjusting screw and a positioning pin, the sample clamping device is composed of a plane B sample table and a positioning pin, wherein the plane sample holding device is arranged in the B above and below the sample, sample holding device B is fixed by a positioning pin the sample holding device C is composed with a cylindrical groove sample stage, adjusting screw and a positioning pin C. The utility model has simple structure, strong adaptability of the sample, and can be placed at once a number of samples, greatly saving the test time and cost.

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台
本技术涉及扫描电镜实验设备
，具体为一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台。
技术介绍
目前，电子背散射衍射仪（ElectronBackscatteredDiffraction,EBSD）是装配在分析型场发射扫描电镜上的一个重要附件，近20多年来已经取得了较大发展，广泛用于金属材料、陶瓷复合材料、薄膜和岩石材料的微观结构和微区取向分析。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。目前，EBSD技术已经能够实现全自动采集微区取向信息，数据采集速度快(能达到约1000点/秒，甚至更快)，分辨率高(空间分辨率能达到0.1μm)，可进行织构和取向差分析、晶粒尺寸及形状分布分析、相分布、相鉴定、晶界、亚晶界及孪晶界性质分析、应变和再结晶的分析等，为快速定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础，已成为材料研究中一种有效的分析手段。由于扫描电子束的能量较低，产生的背散射电子（BackscatteredElectron,BSE）信号也较弱，在EBSD进行测量时，为了得到较强信号，相对于入射电子束，样品需要倾斜70°。传统扫描电镜样品台带动样品倾斜会增加与电子枪或EBSD探头碰撞的危险，且操作十分麻烦，费时。同时如果样品固定不牢固，还会造成测量时图像的漂移，影响测量的准确性。中国专利CN206020310U公布了一种EBSD用无图像漂移试样座，通过调节螺钉固定样品，将柱状镶嵌样品固定在杯状试样座中，也可以将未镶嵌薄片样品直接用导电胶黏贴在支承斜面上，但一次只能有效固定一个镶嵌样品或几个未镶嵌薄片样品。中国专利CN204575570U公布了一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，一倾斜侧面上的柱状凹槽可以有效固定镶嵌柱状样品，另一倾斜侧面上的矩形凹槽可以有效固定为镶嵌块状样品，一次仅能有效固定两个不同形状的样品。中国专利CN202351191U公布一种扫描电镜电子背散射衍射用样品台，一次能安装一个未镶嵌块状大样品或多个未镶嵌块状小样品，但对于柱状镶嵌样品无法有效固定。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，所具有的有益效果是：该装置结构简单，样品适应性强，一次可放置多个样品，大大节约了测试时间和成本。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A、底座、样本夹持装置B和样本夹持装置C，所述底座由定位销、柱状部、支撑斜面、调节螺杆和定位孔构成，所述底座上设置有柱状部，且柱状部上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面，所述支撑斜面的中间位置上设置有定位孔，所述柱状部两侧对称设置有调节螺杆A，所述调节螺杆A与支撑斜面不在同一圆柱表面上，所述柱状部的下方位置上安装有定位销，所述样本夹持装置A、样本夹持装置B和样本夹持装置C皆与支撑斜面上的定位孔之间通过定位销可拆式连接，所述样本夹持装置A由带矩形凹槽样品台、调节螺杆B和定位销构成，所述样本夹持装置A的中间位置上设置有带矩形凹槽样品台，且带矩形凹槽样品台的表面均匀设置有若干个调节螺杆B，所述样本夹持装置A下方安装有定位销，所述样本夹持装置B由平面样品台和定位销构成，所述平面样品台安装在样本夹持装置B的上方，且样本夹持装置B的下方安装有定位销，所述样本夹持装置C由带柱形凹槽样品台、调节螺杆C和定位销构成，所述样本夹持装置C的中间位置上设置带柱形凹槽样品台，且带柱形凹槽样品台的表面安装有调节螺杆C，所述样本夹持装置C的下方设置有定位销。优选的，所述支撑斜面与柱状部在水平方向的夹角为70度。优选的，所述平面样品台与样品之间通过导电胶固。优选的，所述节螺杆B可穿过带矩形凹槽样品台上的样品放置腔，矩形凹槽样品台的矩形尺寸为5mm×50mm，深度为8mm。优选的，所述调节螺杆C可穿过带柱形凹槽样品台上的样品放置腔，带柱形凹槽样品台柱形直径35mm，深度为20mm。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该设备，能解决多个不同形状样品有效夹持问题，避免测试时图像漂移，保证了测试精确度，提高了工作效率，样品夹持装置B用于夹持未镶嵌的薄片状样品，样品夹持装置A用于夹持未镶嵌的块状样品，样品夹持装置C用于夹持镶嵌的柱状样品,本技术结构简单，样品适应性强，一次可有效夹持多个样品，大大节约了测试时间和成本，将不同形状的样品固定在相应样品夹持装置上，再将样品夹持装置固定在底座支撑斜面上，实验时样品台无需倾斜70°，轻的薄片样品用导电胶固定，较重的块状或柱状样品由调节螺钉固定，测试过程中样品不会发生滑移，保证了测试精确度，提高了工作效率。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术带柱形凹槽样品台装配图；图3为本技术平面样品台结构示意图；图4为本技术带矩形凹槽样品台结构示意图；图5为本技术带柱形凹槽样品台结构示意图；图6为本技术底座内部结构示意图；图7为本技术底座主视图；图8为本技术底座外观图。图中：1-样本夹持装置A；2-底座；3-样本夹持装置B；4-调节螺杆A；5-柱状部；6-定位销；7-样本夹持装置C；8-支撑斜面；9-平面样品台；10-带矩形凹槽样品台；11-调节螺杆B；12-带柱形凹槽样品台；13-调节螺杆C；14-定位孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例一请参阅图3和图6-8，本技术提供的一种实施例：一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括底座2和样本夹持装置B3，底座2由定位销6、柱状部5、支撑斜面8、调节螺杆A4和定位孔14构成，底座2上设置有柱状部5，且柱状部5上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面8，支撑斜面8的中间位置上设置有定位孔14，柱状部5两侧对称设置有调节螺杆A4，调节螺杆A4与支撑斜面8不在同一圆柱表面上，柱状部5的下方位置上安装有定位销6，样本夹持装置B3与支撑斜面8上的定位孔14之间通过定位销6可拆式连接，样本夹持装置B3由平面样品台9和定位销6构成，平面样品台9安装在样本夹持装置B3的上方，且样本夹持装置B3的下方安装有定位销6，支撑斜面8与柱状部5在水平方向的夹角为70度，平面样品台9的平面尺寸为12mm×50mm，用导电胶将未镶嵌的薄片状样品整齐的黏贴在平面样品台9平面上，最多可固定测试表面积小于10mm×10mm的未镶嵌薄片状样品4个，样本夹持装置B3的定位销6直径为3mm，工作时样本夹持装置B3的定位销6插入底座2上的定位孔14中贴合，调节螺杆A4固定。工作原理:使用时，需要测量测量薄片状样品时，用导电胶将未镶嵌的薄片状样品整齐的黏贴在平面样品台9平面上，最多可固定测试表面积小于10mm×10mm的未镶嵌薄片状样品4个，样本夹持装置B3的定位销6直径为3mm，工作时样本夹持装置B3的定位销6插入底座2上的定位孔14中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A（1）、底座（2）、样本夹持装置B（3）和样本夹持装置C（7），其特征在于：所述底座（2）由定位销（6）、柱状部（5）、支撑斜面（8）、调节螺杆和定位孔（14）构成，所述底座（2）上设置有柱状部（5），且柱状部（5）上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面（8），所述支撑斜面（8）的中间位置上设置有定位孔（14），所述柱状部（5）两侧对称设置有调节螺杆A（4），所述调节螺杆A（4）与支撑斜面（8）不在同一圆柱表面上，所述柱状部（5）的下方位置上安装有定位销（6），所述样本夹持装置A（1）、样本夹持装置B（3）和样本夹持装置C（7）皆与支撑斜面（8）上的定位孔（14）之间通过定位销（6）可拆式连接，所述样本夹持装置A（1）由带矩形凹槽样品台（10）、调节螺杆B（11）和定位销（6）构成，所述样本夹持装置A（1）的中间位置上设置有带矩形凹槽样品台（10），且带矩形凹槽样品台（10）的表面均匀设置有若干个调节螺杆B（11），所述样本夹持装置A（1）下方安装有定位销（6），所述样本夹持装置B（3）由平面样品台（9）和定位销（6）构成，所述平面样品台（9）安装在样本夹持装置B（3）的上方，且样本夹持装置B（3）的下方安装有定位销（6），所述样本夹持装置C（7）由带柱形凹槽样品台（12）、调节螺杆C和定位销（6）构成，所述样本夹持装置C（7）的中间位置上设置带柱形凹槽样品台（12），且带柱形凹槽样品台（12）的表面安装有调节螺杆C（13），所述样本夹持装置C（7）的下方设置有定位销（6）。...

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜电子背散射衍射测试用样品台，包括样本夹持装置A（1）、底座（2）、样本夹持装置B（3）和样本夹持装置C（7），其特征在于：所述底座（2）由定位销（6）、柱状部（5）、支撑斜面（8）、调节螺杆和定位孔（14）构成，所述底座（2）上设置有柱状部（5），且柱状部（5）上端两侧对称设置有固定样品夹持装置的支撑斜面（8），所述支撑斜面（8）的中间位置上设置有定位孔（14），所述柱状部（5）两侧对称设置有调节螺杆A（4），所述调节螺杆A（4）与支撑斜面（8）不在同一圆柱表面上，所述柱状部（5）的下方位置上安装有定位销（6），所述样本夹持装置A（1）、样本夹持装置B（3）和样本夹持装置C（7）皆与支撑斜面（8）上的定位孔（14）之间通过定位销（6）可拆式连接，所述样本夹持装置A（1）由带矩形凹槽样品台（10）、调节螺杆B（11）和定位销（6）构成，所述样本夹持装置A（1）的中间位置上设置有带矩形凹槽样品台（10），且带矩形凹槽样品台（10）的表面均匀设置有若干个调节螺杆B（11），所述样本夹持装置A（1）下方安装有定位销（6），所述样本夹持装置B（3）由平面样品台（9）和定位销（6）构成，所述平面样...

【专利技术属性】
技术研发人员：文浩，魏承炀，谢达明，
申请(专利权)人：广东省肇庆市质量计量监督检测所，
类型：新型
国别省市：广东,44