一种用于EBSD测试的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于EBSD测试的装置，包括底座、支承柱和载物台，底座的一侧设有与显微镜相配的镶台，底座的另一侧与支承柱的一端连接，支承柱的另一端设有承载面，载物台底面与承载面连接，载物台设有载物槽，载物槽的两侧分别设有夹持装置；使用本实用新型专利技术提供的技术方案，只需将样品放入载物槽内，使用载物槽两侧面的螺栓对样品进行紧固即可，进一步地，载物槽内还设有承接面，使样品固定可靠，避免了样品掉落，克服了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题，也避免了胶布上的粘胶污染样品外表面，使样品可以重复利用，样品固定可靠，减少了EBSD测试所需耗费的时间，提高了EBSD测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于EBSD测试的装置
本技术涉及EBSD测试工艺装备领域，尤其涉及一种用于EBSD测试的装置。
技术介绍
目前，在对钢铁材料的电子显微镜分析与研究中，电子背散射花样晶体微区取向与晶体结构的分析技术，简称为EBSD技术，应用日益广泛，EBSD技术的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射，并给出给出结晶学的数据，根据电子背散射理论，在扫描电镜中进行EBSD测量时，样品法向必须与入射电子束成70度的角度，所以就要求扫描电镜样品台必须进行高度倾斜，同时还要保证样品不会在样品台上产生滑移，这样直接用扫描电镜样品台进行EBSD测量时，样品再样品台上的固定和样品台的倾转造成了EBSD测量前期准备的极大不便。同时，如果样品固定不牢固，还会造成测量时图像的漂移，从而影响测量的精确性，现有技术中，一般将样品通过胶布粘接固定到支承台面上，但是这种方法，样品往往不能粘贴牢固，容易脱落，并且使用样品表面容易被胶布污染而难以清理干净，影响了EBSD测量的精度。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供了一种用于EBSD测试的装置。本技术提供了一种用于EBSD测试的装置，包括底座、支承柱和载物台，所述底座的一侧设有与显微镜相配的镶台，所述底座的另一侧与所述支承柱的一端连接，所述支承柱的另一端设有承载面，所述载物台底面与所述承载面连接，所述载物台设有载物槽，所述载物槽的两侧分别设有夹持装置。所述载物槽的下方还设有承接面。所述夹持装置包括螺钉A和螺钉B，螺钉A和螺钉B分别通过螺纹与所述载物槽的两侧连接。所述螺钉A与所述螺钉B的中心轴线重合。所述载物台的底面设有支承杆，所述承载面上设有通孔，支承杆套合于通孔内。所述支承柱端面设有螺孔A和螺钉C，螺孔A与所述通孔相交，螺钉C旋合在螺孔A内，螺钉C的端面将所述支承杆压紧。所述支承杆上设有承压面。所述承压面与所述支承杆的中心轴线重合。所述支承柱的材质是铜或铜合金。所述底座是圆柱形，所述底座的端面设有若干个螺纹孔B，该螺纹孔B与所述镶台连接，所述支承柱的下端设有螺杆，螺杆旋合在螺纹孔B内。本技术的有益效果在于：采用本技术所提供的用于EBSD测试的装置，包括底座、支承柱和载物台，所述底座的一侧设有与显微镜相配的镶台，所述底座的另一侧与所述支承柱的一端连接，所述支承柱的另一端设有承载面，所述载物台底面与所述承载面连接，所述载物台设有载物槽，所述载物槽的两侧分别设有螺钉A和螺钉B；使用本技术提供的技术方案，只需将样品放入载物槽内，使用载物槽两侧面的螺栓对样品进行紧固即可，进一步地，载物槽内还设有承接面，使样品固定可靠，避免了样品掉落，克服了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题，也避免了胶布上的粘胶污染样品外表面，使样品可以重复利用，样品固定可靠，减少了EBSD测试所需耗费的时间，提高了EBSD测试效率。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的左视图；图3是本技术支承柱的结构示意图；图4是本技术载物台的俯视图；图5是本技术载物台的左视图。图中：1-底座，2-支承柱，3-载物台，4-镶台，5-螺钉A，6-螺钉B，7-螺钉C，11-螺纹孔B，21-承载面，24-通孔，25-螺孔A，26-螺杆，31-载物槽，32-承接面，33-支承杆，34-承压面。具体实施方式以下结合附图对本技术的技术方案作进一步说明，但所要求的保护范围并不局限于所述；本技术提供了一种用于EBSD测试的装置，如图1、图2所示，包括底座1、支承柱2和载物台3，底座1的一侧设有与显微镜相配的镶台4，底座1的另一侧与支承柱2的一端连接，支承柱2的另一端设有承载面21，载物台3底面与承载面21连接，载物台3设有载物槽31，载物槽31的两侧分别设有夹持装置。使用本技术提供的技术方案，只需将样品放入载物槽内，使用载物槽两侧面的夹持装置对样品进行紧固即可，使样品固定可靠，克服了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题，也避免了胶布上的粘胶污染样品外表面，使样品可以重复利用，样品固定可靠，减少了EBSD测试所需耗费的时间，提高了EBSD测试效率。载物槽31的下方还设有承接面32。使用本技术提供的技术方案，只需将样品放入载物槽内，由于载物槽下方设置了承接面，使样品的固定更加可靠，避免了样品掉落，克服了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题，也避免了胶布上的粘胶污染样品外表面，使样品可以重复利用，样品固定可靠，减少了EBSD测试所需耗费的时间，提高了EBSD测试效率。夹持装置包括螺钉A5和螺钉B6，螺钉A5和螺钉B6分别通过螺纹与载物槽31的两侧连接。使用本技术提供的技术方案，螺钉A与螺钉B组成了夹持装置，使用时，将样品放入载物台内，分别旋合螺钉A和螺钉B，即可完成对样品的夹持，并可以根据需要对样品所处的位置进行调节，调节时，只需旋合或旋出螺钉A和螺钉B即可，螺钉A和螺钉B之间的间距确定了样品的最大尺寸，因此，本装置可适用于多种样品的EBSD测试，应用范围广，操作方便。螺钉A5与螺钉B6的中心轴线重合。使用本技术提供的技术方案，只需将样品放入载物槽内，使用载物槽两侧面的螺栓对样品进行紧固即可，载物槽两侧的螺钉A与螺钉B的中心轴线重合，有利于进一步固定样品，使样品固定时受力更平衡，提高了样品固定的可靠性，而使用螺钉A和螺钉B固定，不仅结构简单，而且进一步地，载物槽内还设有承接面，使样品固定可靠，避免了样品掉落，克服了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题，也避免了胶布上的粘胶污染样品外表面，使样品可以重复利用，样品固定可靠，减少了EBSD测试所需耗费的时间，提高了EBSD测试效率。承载面21与支承柱2的端面相交，其交角α是70度。使用本技术的技术方案，根据有关标准规定，在扫描电镜中进行EBSD测量时，样品法向必须与入射电子束成70度的角度，而支承柱的倾斜面制造加工方便，因此，该倾斜面的平整度较高，粗糙度较低，有利于提高EBSD测试精度。载物台3的底面设有支承杆33，承载面21上设有通孔24，支承杆33套合于通孔24内。使用本技术的技术方案，载物台的安装十分方便，而无须使用螺栓固定，节约了进行EBSD测试时的前期准备时间，且结构稳定，当支承杆完全套合在通孔24以内时，则载物台与水平面的夹角保持为70度，符合了国家相关规定，提高了测试精度。支承柱2端面设有螺孔A25和螺钉C7，螺孔A25与通孔24相交，螺钉C7旋合在螺孔A25内，螺钉C7的端面将支承杆33压紧。使用本技术的技术方案，样品通过螺孔A25和螺钉C7的夹紧使样品稳定地固定在载物台内，进一步地，螺孔A25和螺钉C7为平面，螺孔A25和螺钉C7的螺纹选用螺距小于1毫米的螺纹，进一步提高了EBSD测试精度，且结构稳定，将少了周围环境对样品造成污染的概率，避免了因震动而使样品脱落的情况。支承杆33上设有承压面34。使用本使用新型的技术方案，进一步地，使螺钉7与支撑杆之间的贴合是依靠面接触的方式贴合，有利于使载物台3可靠地固定在支承杆上。承压面34与支承杆33的中心轴线重合。使用本使用新型的技术方案，进一步地，支承杆的横截面是半圆形，即承压面34本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于EBSD测试的装置，其特征在于：包括底座(1)、支承柱(2)和载物台(3)，所述底座(1)的一侧设有与显微镜相配的镶台(4)，所述底座(1)的另一侧与所述支承柱(2)的一端连接，所述支承柱(2)的另一端设有承载面(21)，所述载物台(3)底面与所述承载面(21)连接，所述载物台(3)设有载物槽(31)，所述载物槽(31)的两侧分别设有夹持装置。

【技术特征摘要】
1.一种用于EBSD测试的装置，其特征在于：包括底座(1)、支承柱(2)和载物台(3)，所述底座(1)的一侧设有与显微镜相配的镶台(4)，所述底座(1)的另一侧与所述支承柱(2)的一端连接，所述支承柱(2)的另一端设有承载面(21)，所述载物台(3)底面与所述承载面(21)连接，所述载物台(3)设有载物槽(31)，所述载物槽(31)的两侧分别设有夹持装置。2.如权利要求1所述的一种用于EBSD测试的装置，其特征在于：所述载物槽(31)的下方还设有承接面(32)。3.如权利要求1所述的一种用于EBSD测试的装置，其特征在于：所述夹持装置包括螺钉A(5)和螺钉B(6)，螺钉A(5)和螺钉B(6)分别通过螺纹与所述载物槽(31)的两侧连接。4.如权利要求3所述的一种用于EBSD测试的装置，其特征在于：所述螺钉A(5)与所述螺钉B(6)的中心轴线重合。5.如权利要求1所述的一种用于EBSD测试的装置，其特征在于：所述载物台(3)的底面设有支承杆(33)，所述承载面...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹存宏，沈明明，聂华伟，吴新淼，史忠震，
申请(专利权)人：贵州交通职业技术学院，
类型：新型
国别省市：贵州,52