一种可弯曲磁场测量装置及其制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可弯曲磁场测量装置及其制备方法，属于磁传感器领域，该装置包括自下而上依次层叠设置的柔性基底层、金属缓冲层、磁致伸缩层、压电薄膜层和保护层，压电薄膜层面对保护层的对应侧上设有嵌于保护层内的换能器层，换能器层由叉指换能器和反射栅构成单端或双端谐振型结构。本装置由于柔性基底材料的应用，相比于传统的刚性衬底材料制备的传感器而言，柔性磁传感器中将会产生除了常用的瑞利波、勒夫波等声表面波模式之外，还会出现新的波模式——兰姆波，使得本装置具有可弯曲、高磁场灵敏性、可集成化加工、成本低廉等优点，符合传感器发展的微型化、智能化等趋势，可用于磁场测量、智能穿戴等领域。

【技术实现步骤摘要】
一种可弯曲磁场测量装置及其制备方法
本专利技术属于磁传感器
，涉及一种可弯曲磁场测量装置及其制备方法。
技术介绍
传感器技术作为信息技术的三大支柱之一，可以将生活中各种待测量转换为便于监测和控制的物理量。而磁场分布在世界的各个角落，通过对磁场的测量，可实现多种功能。针对快速发展的电子皮肤、智能穿戴、地磁导航等应用背景，近年来，有关柔性磁传感器的研究引起了广大科研人员的注意。公开号CN204575096U的专利公开了一种基于柔性压电材料PVDF和永磁体的柔性磁扭型磁电传感器，但其传感器摆放方式必须是垂吊式摆放，这限制了传感器的工作环境；公开号CN106018569A的专利公开了一种采用柔性磁铁和柔性弧形折回线圈的柔性磁传感器，该传感器根据洛伦兹力原理以及涡流损耗来实现无损检测；公开号CN102841132A的专利公开了一种基于柔性印刷线圈的柔性磁传感器，同样采用涡流效应来实现检测，该传感器主要用于高压电线缺陷检测，上述传感器大多数用于无损检测领域，适用领域比较局限。因此，本专利技术提出一种新的柔性磁传感器，这将为传感器的智能化提供一种新的方向。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术公开本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可弯曲磁场测量装置，其特征在于，包括自下而上依次层叠设置的柔性基底层(1)、金属缓冲层(2)、磁致伸缩层(3)、压电薄膜层(4)和保护层(7)，所述压电薄膜层面对该保护层的对应侧上设有嵌于该保护层内的换能器层，所述换能器层由叉指换能器(5)和反射栅(6)构成谐振型结构。

【技术特征摘要】
1.一种可弯曲磁场测量装置，其特征在于，包括自下而上依次层叠设置的柔性基底层(1)、金属缓冲层(2)、磁致伸缩层(3)、压电薄膜层(4)和保护层(7)，所述压电薄膜层面对该保护层的对应侧上设有嵌于该保护层内的换能器层，所述换能器层由叉指换能器(5)和反射栅(6)构成谐振型结构。2.根据权利要求1所述的可弯曲磁场测量装置，其特征在于，所述换能器层的谐振型结构采用单端对结构，包括一叉指换能器和位于该叉指换能器两侧的反射栅。3.根据权利要求1所述的可弯曲磁场测量装置，其特征在于，所述换能器层的谐振型结构采用双端对结构，包括呈间隔分布的两叉指换能器和位于该两叉指换能器两侧或中间的反射栅。4.根据权利要求1-3任一项所述的可弯曲磁场测量装置，其特征在于，所述柔性基底层的厚度大于2倍的所述叉指换能器的全波波长；所述金属缓冲层的厚度为30～60nm；所述磁致伸缩层的厚度为0.5～1.5μm；所述压电薄膜的厚度为0.4～1μm；所述保护层的厚度为200～500nm。5.根据权利要求4所述的可弯曲磁场测量装置，其特征在于，所述柔性基底层的材料为聚脂、聚酰亚胺、液晶聚合物、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚甲醛、聚丙烯、聚氯乙烯、聚甲基...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱景，昌琦杰，胡振文，何星躲，龙奕兵，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：发明
国别省市：重庆,50