一种光配向控制方法及光配向设备技术

本发明专利技术提供了一种光配向控制方法及光配向设备，其中光配向控制方法为通过检测运动台相对所述起偏照明装置的偏摆值，以获取所述基板的动态加权偏光轴角度误差，进而来控制带动所述基板旋转的旋转台的旋转角度，从而可有效提高光配向过程中偏光轴角度的控制精度，确保配向膜中所形成的配向角的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种光配向控制方法及光配向设备
本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种光配向控制方法及光配向设备。
技术介绍
液晶显示面板(LCD)通常包括两个基板(阵列基板TFT，彩膜基板CF)、两个基板之间的液晶层以及两个基板外侧的偏光板。在液晶显示技术中，通过施加电压使液晶层中产生电场，进而改变液晶分子的扭转角度，并配合上下基板外侧的两个偏光板，从而产生图像显示。然而，为保证图像的显示效果，均需使液晶分子有一个初始取向方向，因此在基板上需设置有配向膜层，其可以使液晶按照一定的方向定向。即，通过对所述配向膜层的表面进行定向以控制液晶分子的排布方向并使其排布方向一致，进而获取均一的显示效果，而避免产生图像显示不均匀(Mura)的问题。目前，对配向膜的取向处理可采用光配向工艺，即将规定波长的偏振光照射在配向膜上，使得与偏振光的偏振轴方向一致或垂直的配向膜发生光致反应，例如光致交联、光致分解或光致异构，进而使配向膜产生各向异性，并利用其所产生的定向锚定能诱导液晶分子按照一定角度统一取向。但是，随着对显示对比度以及像素密度的要求越来越高，对于液晶分子的取向方向的一致性要求也越来越高，相应的，就需本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光配向控制方法，其特征在于，包括：在光配向扫描方向上选取K个离散采样点s.yk,k＝1,2,…,K，于待配向基板的曝光视场上选取m个检测点(Xm,Ym),m＝1,2,…，配向时获取每个所述检测点在每个所述离散采样点处的偏光轴角度误差D(x(Xm,Ym),y(Xm,Ym,s.yk)和对应的偏振光光照强度I(x(Xm,Ym),y(Xm,Ym,s.yk)，并测量运动台相对起偏照明装置在每个所述离散采样点的偏摆值Yaw(s.yk)；利用如下公式计算检测点(Xm,Ym)经过正反向配向扫描后的动态加权偏光轴角度误差WD(Xm,Ym)：WD(Xm,Ym)

【技术特征摘要】
1.一种光配向控制方法，其特征在于，包括：在光配向扫描方向上选取K个离散采样点s.yk,k＝1,2,…,K，于待配向基板的曝光视场上选取m个检测点(Xm,Ym),m＝1,2,…，配向时获取每个所述检测点在每个所述离散采样点处的偏光轴角度误差D(x(Xm,Ym),y(Xm,Ym,s.yk)和对应的偏振光光照强度I(x(Xm,Ym),y(Xm,Ym,s.yk)，并测量运动台相对起偏照明装置在每个所述离散采样点的偏摆值Yaw(s.yk)；利用如下公式计算检测点(Xm,Ym)经过正反向配向扫描后的动态加权偏光轴角度误差WD(Xm,Ym)：WD(Xm,Ym)其中，(x(Xm,Ym),y(Xm,Ym,s.yk))指将基板坐标系下的所述检测点转换到运动台的坐标系下；利用如下公式获取所述基板的动态加权偏光轴角度误差均匀性Mura：根据所述运动台相对所述起偏照明装置的偏摆值以及所述基板的动态加权偏光轴角度误差来控制带动所述基板旋转的旋转台的旋转角度。2.如权利要求1所述的光配向控制方法，其特征在于，所述偏光轴角度误差为所述检测点在光配向过程中接收到的偏振光的实际偏光轴角度与名义偏光轴角度之差。3.如权利要求1所述的光配向控制方法，其特征在于，所述(x(Xm,Ym),y(Xm,Ym,s.yk))为，其中，Rt为带动所述基板旋转的旋转台的旋转量；Mp为所述基板相对位于所述旋转台下方的运功台的倍率；Rp为所述基板相对所述运动台的旋转量；为所述基板相对所述运动台的平移。4.如权利要求3所述的光配向控制方法，其特征在于，所述旋转台的旋转量Rt、基板相对位于所述旋转台下方的运功台的倍率Mp以及基板相对所述运动台的平移Rp通过以下方法获得：在所述基板上设置i个对准标记，所述对准标记的名义位置表示为(Xi,Yi),i＝1,2,…；通过对准系统分别对准i个所述对准标记，得到i个所述对准标记的测试位置(Caxi,Cayi),i＝1,2,…；根据所述对准标记的名义位置(Xi,Yi),i＝1,2,…、测试位置(Caxi,Cayi),i＝1,2,…以及对准时所述运动台相应的位置(s.yi),i＝1,2,…，利用以下基板对准模型计算获得所述Rt、Mp、Rp：5.如权利要求1所述的光配向控制方法，其特征在于，测量运动台相对起偏照明装置在每个所述离散采样点的偏摆值Yaw(s.yk)的方法包括：分别测量所述运动台在每个所述离散采样点的偏摆值Yaw1(s.yk)和测量所述起偏照明装置在每个所述离散采样点的偏摆值Yaw2(s.yk)；当Yaw2(s.yk)＜Yaw1(s.yk)/10时，Yaw(s.yk)＝Yaw1(s.yk)。6.如权利要求5所述的光配向控制方法，其特征在于，测量所述运动台在每个所述离散采样点的偏摆值Yaw1(s.yk)的方法包括：选取所述运动台的一侧面作为测量面，将两路第一干涉仪测量光入射到所述运动台的测量面；获得两路所述第一干涉仪测量光到达所述运动台的测量面的光程差Δy1和两路所述第一干涉仪测量光之间的中心距离s1，根据如下公式计算所述运动台的偏摆值Yaw1(s.yk)，Yaw1(s.yk)＝Δy1/s1。7.如权利要求6所述的光配向控制方法，其特征在于，所述测量面为所述运动台上与所述光配向扫描方向垂直的侧面。8.如权利要求5所述的光配向控制方法，其特征在于，测量所述运动台在每个所述离散采样点的偏摆值Yaw1(s.yk)的方法包括：沿所述光配向扫描方向布置两条平行的光栅尺，将与所述光栅尺一一对应的读头安装在所述运动台上与所述光配向扫描方向垂直的侧面；通过所述读头获得相对应的光栅尺测量值，并根据两个所述光栅尺测量值之间的差值Δy1和两条所述光栅尺之间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：周畅，罗闻，朱树存，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31