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本发明提供了一种光配向控制方法及光配向设备，其中光配向控制方法为通过检测运动台相对所述起偏照明装置的偏摆值，以获取所述基板的动态加权偏光轴角度误差，进而来控制带动所述基板旋转的旋转台的旋转角度，从而可有效提高光配向过程中偏光轴角度的控制精度...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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