至少具有第一和第二光学组件的物镜制造技术

本发明专利技术涉及一种物镜(1)，所述物镜具有以下特征：第一光学组件，所述第一光学组件安装在第一物镜壳体(2)中并且包括至少一个第一透镜(4)，其中，所述第一透镜(4)至少具有曲率半径大致相同的第一表面(4A)和第二表面(4B)；以及第二光学组件，所述第二光学组件安装在第二物镜壳体(3)中并且包括至少一个透镜，其中，所述第一物镜壳体和所述第二物镜壳体在连接区域(V)中彼此连接，并且其中，直接邻近于所述连接区域的所述第一物镜壳体中的那个透镜为所述第一透镜(4)。

【技术实现步骤摘要】
至少具有第一和第二光学组件的物镜
本专利技术涉及一种至少具有第一和第二光学组件的物镜。这种类型的物镜具体还包括所谓的F-theta物镜，所述F-theta物镜例如被提供用于对如可以在用于激光材料加工的扫描装置中使用的大功率激光进行聚焦。
技术介绍
激光和材料加工应用要求所使用的光学系统具有比以往更高的光学质量以及较高程度的生产稳定性，也就是说相对于彼此所产生的系统的光学性能上的低偏差。所使用的部件的制造容差通常引起像差以及光学质量的下降。主要在UV和固体石英光学系统领域中，这导致显著更差的质量以及在后加工方面增加的支出。安装技术是核心因素，特别是在F-theta物镜的情况下。利用来自现有技术的标准技术可不再确保关于质量的当前需求。标准的F-theta安装技术由所谓的填充安装来进行区分。填充安装的原理基于透镜和间隔环的自定心概念。当使用例如新月形透镜((在图1中由“M”标识)，所述新月形透镜具有第一表面和至少一个第二表面，所述第一表面和所述至少一个第二表面具有大致相同的曲率半径)时，这可导致多个问题(因为这些新月形透镜不具有定心效应并且由于各自的支撑件而滚动离开)。这可引起在最大程度上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物镜(1)，具有以下特征：第一光学组件，所述第一光学组件安装在第一物镜壳体(2)中并且包括至少一个第一透镜(4)，其中，所述第一透镜(4)至少具有曲率半径大致相同的第一表面(4A)和第二表面(4B)；以及第二光学组件，所述第二光学组件安装在第二物镜壳体(3)中并且包括至少一个透镜(6，7)，其中，所述第一物镜壳体和所述第二物镜壳体在连接区域(V)中彼此连接，并且其中，直接邻近于所述连接区域的所述第一物镜壳体中的那个透镜为所述第一透镜(4)。

【技术特征摘要】
2016.06.30 DE 102016008176.7;2017.06.01 DE 10201721.一种物镜(1)，具有以下特征：第一光学组件，所述第一光学组件安装在第一物镜壳体(2)中并且包括至少一个第一透镜(4)，其中，所述第一透镜(4)至少具有曲率半径大致相同的第一表面(4A)和第二表面(4B)；以及第二光学组件，所述第二光学组件安装在第二物镜壳体(3)中并且包括至少一个透镜(6，7)，其中，所述第一物镜壳体和所述第二物镜壳体在连接区域(V)中彼此连接，并且其中，直接邻近于所述连接区域的所述第一物镜壳体中的那个透镜为所述第一透镜(4)。2.根据权利要求1所述的物镜(1)，其特征在于，所述第一透镜(4)为新月形透镜形式，所述新月形透镜具有作为所述第一表面(4A)的凹形表面以及作为所述第二表面(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒂姆·巴尔德希芬，本德·塞赫，于尔根·魏泽，乔治·文德利希，
申请(专利权)人：业纳光学系统有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE