一种电磁铁辅助的微零件连续冲裁的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电磁铁辅助的微零件连续冲裁的方法和装置。由高功率密度、纳秒级的短脉冲的激光辐照在吸收层诱导的激光冲击波，不仅作为冲裁工具，同时作为压边力作用于金属薄膜，实现了微零件的零间隙高精度冲裁；弹簧处于完全展开状态时，顶块的下端面与压块的上端面之间存在距离t，顶块的凹槽面与推拉式电磁铁的上端面之间存在间隙t3，金属薄膜厚度为t2，带料的厚度为t1，设定t2<t<t1且t<t3，可以保证在冲裁结束之后微零件已经与金属薄膜分离，但是受到激光冲击波作用部分的吸收层仍然未与带料分离，从而使微零件在冲裁结束后继续粘结在带料上，在传送机构的作用下，可实现微零件的连续冲裁。

A method and device for continuous blanking of micro parts assisted by electromagnet

The present invention provides a method and device for continuous blanking of micro parts aided by electromagnet. The high power density, the nanosecond short pulse laser irradiation in laser induced shock wave absorption layer, not only as a blanking tool, at the same time as the edge pressing force on the metal film, realized the high precision blanking zero clearance micro parts; spring in a fully unfolded state, there is a distance t between the top block the lower end of the upper end of the pressing block, T3 gap exists between the groove top block and a push-pull electromagnet on the surface, the metal film thickness is T2, set the t2< of the strip thickness is T1, T1 and t< t< T3;, can guarantee that after the end of the micro blanking parts have been separated and metal the film, but by the absorption layer of laser shock wave is still not part with material separation, so that the micro parts continue to bond on the strip in the blanking after the end of the conveying mechanism under the action of continuous punching can realize micro parts.

【技术实现步骤摘要】
一种电磁铁辅助的微零件连续冲裁的方法和装置
本专利技术涉及微制造领域，具体地是指一种电磁铁辅助的微零件连续冲裁的方法和装置。
技术介绍
微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)，是在微电子技术基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。其中微零件是MEMS的核心，为了确保MEMS系统的高可靠性和高精度，需要组成系统的各种微零件具有力学性能好、形状和尺寸精度高等特点并且在工业应用中，微零件需要实现大批量连续生产。中国专利ZL201010505882.9提出了一种利用激光冲击波加载飞片之后间接冲击工件材料的方法。激光冲击后飞片获得能量向下运动，在型腔内运动一段时间与工件发生碰撞，此时获得最大速度，当碰撞压力超过材料的动态屈服强度时放于模具上的工件发生微变形。但是该方法只能造成零件的微变形并不能实现生产中常需要的冲断，并且较难实现微零件的连续加工过程。中国专利ZL201510048737.5提出来一种基于激光冲击波的微冲裁装置，金属薄膜上依次放置吸收层，掩膜和水膜，掩膜孔与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电磁铁辅助的微零件连续冲裁的装置，其特征在于：所述装置包括激光束、水膜、吸收层、胶水、金属薄膜、顶块、弹簧、垫片、压块、凹模、推拉式电磁铁、传送机构和压轮；吸收层覆盖在金属薄膜上，吸收层和金属薄膜之间用胶水粘接；由吸收层、胶水和金属薄膜组成的带料覆盖在凹模上，金属薄膜的下表面与凹模的上表面接触；水膜覆盖在吸收层的上表面；激光束透过水膜辐照在吸收层的上表面；顶块通过圆柱形配合面与凹模的圆柱形配合面安装在凹模内，顶块处于上极限位置时，顶块的上表面与凹模的上表面对齐；弹簧安装在顶块的凹槽面与推拉式电磁铁之间；压块的外圆柱面通过外螺纹与凹模的下内圆柱面的内螺纹配合安装在凹模内；推拉式电磁铁包括推杆...

【技术特征摘要】
1.一种电磁铁辅助的微零件连续冲裁的装置，其特征在于：所述装置包括激光束、水膜、吸收层、胶水、金属薄膜、顶块、弹簧、垫片、压块、凹模、推拉式电磁铁、传送机构和压轮；吸收层覆盖在金属薄膜上，吸收层和金属薄膜之间用胶水粘接；由吸收层、胶水和金属薄膜组成的带料覆盖在凹模上，金属薄膜的下表面与凹模的上表面接触；水膜覆盖在吸收层的上表面；激光束透过水膜辐照在吸收层的上表面；顶块通过圆柱形配合面与凹模的圆柱形配合面安装在凹模内，顶块处于上极限位置时，顶块的上表面与凹模的上表面对齐；弹簧安装在顶块的凹槽面与推拉式电磁铁之间；压块的外圆柱面通过外螺纹与凹模的下内圆柱面的内螺纹配合安装在凹模内；推拉式电磁铁包括推杆、衔铁、螺线管、轭铁，推杆从弹簧中间穿过，衔铁由永磁铁构成，衔铁上端与推杆固定连接，下端与螺线管内部活动配合，螺线管固定在轭铁内；推拉式电磁铁的下端面通过螺栓联接固定于凹模的下端面；弹簧处于完全展开状态时，顶块下端面与压块的上端面之间存在距离t，顶块的凹槽面与推拉式电磁铁的上表面之间存在间隙t3，金属薄膜厚度为t2，带料的厚度为t1，设定t2&lt;t&lt;t1且t&lt;t3，垫片安装在压块的调节面与凹模的调节面之间；激光束正对凹模的刃口；压轮装置的一对压轮将由吸收层、胶水和金属薄膜组成的带料压紧在凹模上表面；由吸收层、胶水和金属薄膜组成的带料安装在送料机构上。2.如权利要求1所述的一种电磁铁辅助的微零件连续冲裁的装置，其特征在于：激光束的直径d大于凹模刃口最大径向尺寸d1的3倍，即d&gt;3*d1。3.如权利要求1所述的一种电磁铁辅助的微零件连续冲裁的装置，其特征在于：所述的激光束为聚焦后的脉冲激光束，其光源为钕玻璃-YAG激光器，脉宽为10-100...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴峰泽，张紫东，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32