光学滤波器器件、光学模块以及电子设备制造技术

本发明专利技术涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。其中，光学滤波器器件具备光干涉滤波器和壳体。光干涉滤波器具备固定基板、与固定基板接合的可动基板、设置在固定基板上的固定反射膜、设置在可动基板上的可动反射膜。壳体具备底部基板和在与底部基板之间形成内部空间的盖。可动基板在俯视观察中在光干涉区域的外侧具有设置在与固定基板的相反侧的面上的保持部，底部基板具备与光通过区域对应的光通过孔，光通过孔的外周边缘与保持部相对，可动基板的与固定基板相反侧的面与底部基板接合。

Optical filter devices, optical modules, and electronic devices

The invention relates to an optical filter device, an optical module, and an electronic device. The optical filter device has an optical interference filter and a shell. The optical interference filter has a fixed substrate, a movable substrate bonded to the fixed substrate, a fixed reflection film on the fixed substrate, and a movable reflecting film arranged on the movable substrate. The shell has a bottom substrate and a cover that forms the inner space between the base plate and the base plate. A movable substrate overlooking the observation in the light interference area outside keep part is arranged on the opposite side of the substrate is fixed on the surface of the base substrate, with light passing through the area corresponding to the through hole, through hole and the peripheral edge of the holding portion relative with the substrate surface, the movable substrate and the opposite side fixed the substrate bonding.

【技术实现步骤摘要】
光学滤波器器件、光学模块以及电子设备
本专利技术涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。
技术介绍
现有技术中，已知有在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙分别相对配置反射膜的波长可变干涉滤波器。并且已知有将这样的波长可变干涉滤波器容纳在壳体内的光学滤波器器件（例如参考专利文献1）。该专利文献1所述的光学滤波器器件具备板状的底座（底部基板）和具有圆筒形盖的封装件（壳体）。该壳体的底部基板的周边部分和盖的圆筒一端部焊接或粘合地连接，在底部基板与盖之间设置容纳波长可变干涉滤波器的空间。另外，盖在与底座部相对的上表面设置有孔，在该孔上设置使光通过的窗口部。然而，如上述专利文献1所示，不仅在壳体上设置光通过孔，而且在底部基板上有时也形成光透过用的孔。但是，存在由于形成光通过孔等而进行的加工，底部基板的平行性恶化的情况。例如，在光通过孔的外周边缘附近形成翘曲或突起等。如果将平行性恶化的底部基板和波长可变干涉滤波器接合，则由于翘曲部分或突起部分与波长可变干涉滤波器的接合面局部地接触，因此存在波长可变干涉滤波器未水平固定，其结果分辨率恶化的问题。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开200本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学滤波器器件，其特征在于，具备：光干涉滤波器，具有：第一基板、与所述第一基板相对的第二基板、设置在所述第一基板上的第一反射膜、及设置在所述第二基板上并与所述第一反射膜相对的第二反射膜；以及壳体，具有底部基板和盖，所述底部基板固定所述光干涉滤波器，所述盖与所述底部基板接合，在所述盖与所述底部基板之间形成能够容纳所述光干涉滤波器的内部空间，在从基板厚度方向观察到的所述第一基板和所述第二基板的俯视观察中，所述第二基板在所述第一反射膜和所述第二反射膜重合的光干涉区域的外侧，具有设置在与所述第一基板相反侧的面上的环形的凹部，所述底部基板具有与光通过区域对应的光通过孔，所述光通过孔的外周边缘与所述环...

【技术特征摘要】
2013.02.05 JP 2013-0201631.一种光学滤波器器件，其特征在于，具备：光干涉滤波器，具有：第一基板、与所述第一基板相对的第二基板、设置在所述第一基板上的第一反射膜、及设置在所述第二基板上并与所述第一反射膜相对的第二反射膜；以及壳体，具有底部基板和盖，所述底部基板固定所述光干涉滤波器，所述盖与所述底部基板接合，在所述盖与所述底部基板之间形成能够容纳所述光干涉滤波器的内部空间，在从基板厚度方向观察到的所述第一基板和所述第二基板的俯视观察中，所述第二基板在所述第一反射膜和所述第二反射膜重合的光干涉区域的外侧，具有设置在与所述第一基板相反侧的面上的环形的凹部，所述底部基板具有与光通过区域对应的光通过孔，所述光通过孔的外周边缘与所述环形的凹部相对，所述第二基板与所述第一基板相反侧的面与所述底部基板接合，所述底部基板的光通过孔在与所述第二基板的相对面侧和与所述第二基板的相反面侧大小不同，所述光通过孔与所述第二基板的相对面侧的外周边缘与所述环形的凹部相对，所述环形的凹部在所述俯视观察中，位于所述光通过孔与所述第二基板的相反面侧的外周边缘的外侧。2.根据权利要求1所述的光学滤波器器件，其特征在于，所述光干涉滤波器具有改变所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸的间隙变更部。3.根据权利要求1所述的光学滤波器器件，其特征在于，所述第二基板与所述底部基板通过粘合层接合。4.根据权利要求1所述的光学滤波器器件，其特征在于，具有设置在所述底部基板与所述第二基板的相反侧的面上、覆盖所述光通过孔的盖玻璃，所述盖玻璃具有设置在与所述底部基板相对的面上的比所述光通过孔大的凹部，所述光通过孔的外周边缘位于所述凹部内。5.根据权利要求4所述的光学滤波器器件，其特征在于，所述盖玻璃间隔着间隔物与所述底部基板接合。6.一种光学模块，其特征在于，具备：光干涉滤波器、壳体以及检测部，所述光干涉滤波器具有第一基板、与所述第一基板相对的第二基板、设置在所述第一基板上的第一反射膜、设置在所述第二基板上并与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及改变所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤大辅，松野靖史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP