一种电离效果稳定的射频离子源中和器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电离效果稳定的射频离子源中和器，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、外罩体、射频线圈、绝缘电离腔体及正离子收集极；射频电源通过射频感抗匹配网络与射频线圈连接；射频线圈螺旋设于绝缘电离腔体的外侧壁，外罩体套设于射频线圈的外侧；绝缘电离腔体罩设于正离子收集极且与正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体开设有发射孔，起辉维持极开设有与发射孔对应的第一通孔；正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通进气通道和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔。本实用新型专利技术的射频线圈不随工作时长而变形，保证中和器电离效果的稳定性，且射频线圈的氧化效果得到有效抑制，提高射频线圈使用寿命的同时保证电离效果。

A radiofrequency ion source neutralizer with stable ionization effect

The utility model relates to a RF ion source ionization effect and stable neutralizer, including RF power, RF impedance matching network, starting to maintain the pole, an outer cover body, RF coil, insulation ionization cavity and positive ion collector; RF power network connected to the RF coil through the RF impedance matching; RF coil insulation is arranged on the lateral wall the ionization chamber, the outer cover body is sheathed on the RF coil insulation; ionization cavity covers on positive ion collector and positive ion collector formed ionization ionization chamber insulation; insulating cavity is provided with a first through hole hole emission, starting with emission and maintenance of the polar hole corresponding to the positive ion collector is arranged; for the inlet channel pass into the inert gas, and communicated with the air inlet passage and an insulating inert gas supply hole between the ionization chamber. The RF coil of the utility does not deform with the working time, ensures the ionization effect of the neutralizer, and effectively reduces the oxidation effect of the RF coil, improves the service life of the RF coil and ensures the ionization effect at the same time.

【技术实现步骤摘要】
一种电离效果稳定的射频离子源中和器
本技术涉及射频离子源中和器
，更具体地，涉及一种电离效果稳定的射频离子源中和器。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备不可缺少的部件。离子源中和器是向离子源引出的离子束发射电子，使束电流和束电荷得到中和的离子发射部件。传统的中和器靠加热灯丝产生自由电子，由于灯丝寿命短，一般只有不到10小时的连续工作时间，而基于射频技术驱动的离子源中和器，其寿命可以大大延长到1000小时以上，极高地提高了工作效率。但是现有的射频离子源中和器的射频线圈长时间工作后温度能达到数百度，温度的改变使得射频线圈产生变形，这将导致中和器的电离效果不稳定；另外，现有的射频线圈裸露在空气中，氧化效果严重，影响使用寿命的同时也影响电离效果。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其射频线圈不会随工作时间的延长而变形，保证了中和器电离效果的稳定性，且射频线圈的氧化效果得到有效抑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极(110)、外罩体(170)、射频线圈(130)、绝缘电离腔体(140)及正离子收集极(150)；射频电源通过射频感抗匹配网络与射频线圈(130)连接；射频线圈(130)螺旋设于绝缘电离腔体(140)的外侧壁，外罩体(170)套设于射频线圈(130)的外侧，外罩体(170)无顶部及底部；绝缘电离腔体(140)罩设于正离子收集极(150)且与正离子收集极(150)围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体(140)开设有发射孔(180)，起辉维持极(110)开设有与发射孔(180)对应的第一通孔(190)；正离子收...

【技术特征摘要】
1.一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极(110)、外罩体(170)、射频线圈(130)、绝缘电离腔体(140)及正离子收集极(150)；射频电源通过射频感抗匹配网络与射频线圈(130)连接；射频线圈(130)螺旋设于绝缘电离腔体(140)的外侧壁，外罩体(170)套设于射频线圈(130)的外侧，外罩体(170)无顶部及底部；绝缘电离腔体(140)罩设于正离子收集极(150)且与正离子收集极(150)围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体(140)开设有发射孔(180)，起辉维持极(110)开设有与发射孔(180)对应的第一通孔(190)；正离子收集极(150)开设有用于通入惰性气体的进气通道(200)，以及连通进气通道(200)和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔(160)；起辉维持极(110)用于维持中和器内部的电离状态。2.根据权利要求1所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，绝缘电离腔体(140)的外侧壁设有螺旋线槽(141)，射频线圈(130)螺旋设于螺旋线槽(141)内。3.根据权利要求1所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，所述离子源中和器还包括罩射于外罩体(170)外的屏蔽外壳(120)，屏蔽外壳(120)开设有与发射孔(180...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟基，冀鸣，陈蓓丽，
申请(专利权)人：中山市博顿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44