有源矩阵阵列装置的制造方法和通过该方法制造的有源矩阵阵列装置制造方法及图纸

有源矩阵阵列装置是将具有显示/发光设备、传感器、存储器、致动器等的功能的设备以矩阵阵列状排列而成的装置，期待各种领域/用途中的广泛利用。但是，在作为矩阵元素的显示/发光设备、传感器、存储器、致动器等设备、和在矩阵元素中控制这些设备的电路部间，形成工艺或材料中类似性或相容性较少，它们相互成为制约事项。这成为制造成本的增加或功能的限制因素。以往的有源矩阵阵列装置的制造中，通过在同一基板上反复进行各种工艺工序来制成装置。通过其中的一部分工艺工序还形成包括晶体管的控制电路部。相对于此，特征在于，将有源矩阵阵列装置的控制电路部形成在与其他部分不同的基板上，在矩阵阵列主体的制造工艺工序的中途或最终工序后安装到各矩阵元素上，解决了上述课题。

The manufacturing method of the active matrix array device and the active matrix array device made by this method

The active matrix array device is a device that has functions of display / light emitting device, sensor, memory, actuator and so on, which is arranged in a matrix array. It is expected to be widely used in various fields and uses. However, there is less similarity or compatibility in the process or materials, such as display / light emitting devices, sensors, memories, actuators and other circuit devices which are used to control these devices in matrix elements. They become mutual constraints. This becomes a limiting factor for increased manufacturing costs or functions. In the manufacture of the previous active matrix array devices, the device was made by repeated process processes on the same substrate. A part of the process process also forms the control circuit of the transistor. Compared with this, the control circuit part of the active matrix array device is formed on different substrates, and is installed on the matrix elements after the halfway or final process of the manufacturing process of the matrix array body, so as to solve the above problems.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有源矩阵阵列装置的制造方法和通过该方法制造的有源矩阵阵列装置
本专利技术涉及有源矩阵阵列装置的制造方法，涉及以将设置于各矩阵元素的控制电路形成在与有源矩阵阵列装置不同的基板上、并配置到各矩阵元素的方式安装在有源矩阵阵列装置上的制造方法。
技术介绍
有源矩阵阵列装置是将具有显示/发光设备、传感器、存储器、致动器等的功能的设备以矩阵阵列状排列而成的装置，在各种领域/用途中使用。有源矩阵阵列装置的构造的基本构造包括：以显示设备或传感器等的设备和控制这些设备的电路为一个组的矩阵元素、以及为了向各个矩阵元素传送控制信号等而在矩阵的行方向和列方向上遍布的导体(布线)群。各行布线及列布线在矩阵元素内或其相邻区域中交叉。构成矩阵元素的控制电路从1个晶体管到复杂的电路，根据用途而不同。此外，在矩阵元素的设备是传感器的情况下，对该基本构造追加用来传送传感器的输出信号的布线。作为有源矩阵阵列装置的应用目前最普及的领域是显示器领域。其中液晶显示器最普及。在液晶显示器的情况下，由被电极夹着的液晶层和用来向该液晶层施加电压的薄膜晶体管(TFT)构成的像素相当于矩阵元素，此外，行布线被称作栅极线，列布线被称作数据本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有源矩阵装置的制造方法，其特征在于，该有源矩阵阵列装置具有：多个矩阵元素；以及相互正交的多个行导体和列导体，被设置成能够指定各个矩阵元素；在各矩阵元素内或相邻的区域中具有由至少一个开关构成的控制电路，该控制电路用于控制与这些行导体和列导体中的各一个行导体和列导体连接的各个矩阵元素；在上述有源矩阵阵列装置的制造工序中，在与上述有源矩阵阵列装置整体的基板不同的基板上形成上述多个控制电路，将其在上述有源矩阵装置的制造工序的中途或最终工序中安装到各个上述矩阵元素的规定的位置，在全部工序结束时，形成在上述不同的基板上的控制电路与上述行导体及列导体连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.20 JP 2015-0856441.一种有源矩阵装置的制造方法，其特征在于，该有源矩阵阵列装置具有：多个矩阵元素；以及相互正交的多个行导体和列导体，被设置成能够指定各个矩阵元素；在各矩阵元素内或相邻的区域中具有由至少一个开关构成的控制电路，该控制电路用于控制与这些行导体和列导体中的各一个行导体和列导体连接的各个矩阵元素；在上述有源矩阵阵列装置的制造工序中，在与上述有源矩阵阵列装置整体的基板不同的基板上形成上述多个控制电路，将其在上述有源矩阵装置的制造工序的中途或最终工序中安装到各个上述矩阵元素的规定的位置，在全部工序结束时，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口清一郎，竹谷纯一，伊藤政隆，姓本宪和，上松美奈，
申请(专利权)人：PI克瑞斯托株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP