与成像装置中失真校正相关的方法、系统和装置制造方法及图纸

本文公开了与失真校正成像相关的装置、系统和方法，该失真校正成像旨在采集衬底的图像相关数据，所述装置、系统和方法包括：一光束发射器，用于将发射指向衬底上预期位置处，以及一信号检测器，用来确定与所述发射相关联的信号强度值；其中所述信号强度值与校正后的衬底位置相关联，所述校正后的衬底位置是从所述预期衬底位置和校正因子中确定的，所述校正因子是所述预期衬底位置的一个函数。

Methods, systems and devices related to distortion correction in an imaging device

This paper discloses and distortion correction system and method of imaging device, the image data of the distortion correction to imaging acquisition substrate, comprising a device, system and method: a light beam transmitter for transmitting the expected position toward the substrate, and a signal detector is used to determine the emission associated with the signal strength value; wherein the signal strength value associated with the position of the substrate after correction, the position of the substrate after correction is determined from the expected position of the substrate and the correction factor, the correction factor is the expectation of a function of substrate position.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】与成像装置中失真校正相关的方法、系统和装置
本专利技术涉及扫描成像系统和装置，尤其涉及与扫描图像的失真校正有关的方法、系统和装置。
技术介绍
扫描成像装置提供了图像失真问题的示例性说明，并且它们涵盖所有可能具有类似问题的广泛系统。这种问题可能导致图像失真，而图像失真是与扫描期间图像捕获的理想位置和实际位置之间的差异相关的误差引起的。许多扫描和非扫描成像装置可能受到影响，且可以包括电子束系统、聚焦离子束系统、激光成像系统、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和光学系统。扫描系统的特征在于，在目标衬底上扫描图像捕获机制，并且在这种扫描期间进行图像数据采集。非扫描系统可能对衬底进行一次或多次的图像数据采集。在任一情况下，图像数据采集的理想位置和实际位置间的差异可能导致所得图像的失真。当采集到一个表明部分待成像衬底，例如衬底的表面或横截面的特征的信号时，在衬底上被分析的实际位置与被分析的理想位置之间通常会出现些许程度的误差。所述衬底上的分析位置至少与当前的相对位置有关，和/或与一种或所有光束发射器、发射的光束、信号检测器和衬底的相对定向有关。分析的实际位置可能通常与用于分析的预本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对衬底进行成像的成像装置，其特征在于，所述装置包含：一光束发射器，用于将发射导向引导衬底，以便在衬底预期位置处产生代表衬底的可检测信号；和一信号检测器，用于检测所述可检测信号的成像特征；其中所述成像装置自动地将所述成像特征与校正的衬底位置相关联，以用于生成失真校正图像，其中所述校正的衬底位置是从所述预期位置和校正因子确定的，其中所述校正因子是所述预期位置的一个函数。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.23 US 62/137,0781.一种用于对衬底进行成像的成像装置，其特征在于，所述装置包含：一光束发射器，用于将发射导向引导衬底，以便在衬底预期位置处产生代表衬底的可检测信号；和一信号检测器，用于检测所述可检测信号的成像特征；其中所述成像装置自动地将所述成像特征与校正的衬底位置相关联，以用于生成失真校正图像，其中所述校正的衬底位置是从所述预期位置和校正因子确定的，其中所述校正因子是所述预期位置的一个函数。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述成像装置的特征包括所述可检测信号的强度。3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述校正因子对于所述成像装置的至少一个操作特征是预先确定的。4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，所述成像装置还包括至少一个光束激励器，用来改变相对于所述衬底位置的所述发射方向，以在一个或多个不同的预期衬底位置处检测所述成像特征。5.根据权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，所述成像装置还包含一个装置激励器，用来将所述信号检测器的相对位置改变到所述衬底处，以检测一个或多个不同预期衬底位置的所述成像特征。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述装置激励器改变所述信号检测器的位置。7.根据权利要求5或6所述的装置，其特征在于，所述装置激励器改变所述衬底的位置。8.根据权利要求1至3任一项所述的装置，其特征在于，所述信号检测器为多个不同的对应的预期衬底位置中的每一个确定相对应的特征，并且其中所述成像装置自动将每个所述相应特征与相应的校正衬底位置关联，以用来生成所述失真校正图像，其中每个所述相应校正衬底位置是从每个所述对应预期位置及校正因子确定的，该校正因子是所述对应预期位置的一个函数。9.根据权利要求1至8任一项所述的装置，其特征在于，其中与给定的预期衬底位置所对应的给定图像像素位置的给定图像像素值是以所述成像特征的相应比例为基础，所述成像特征的相应比例与至少一个或多个所述校正衬底位置中的任一个相关联，而所述校正衬底位置至少部分重叠所述给定图像像素位置。10.根据权利要求1至7任一项所述的装置，其特征在于，所述装置是选自以下组别：光学成像装置，FIB，SEM，TEM，X射线装置，MRI，离子束装置，CT扫描和CAT扫描。11.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，其中至少一个操作特征包含所述装置的一个当前成像分辨率。12.一种在成像装置中校正图像失真的方法，该成像装置包含一光束发射器，用来将发射指向衬底，以在预期位置处生成表示所述衬底的可检测信号，以及一信号检测器，该信号检测器用于确定代表所述可检测信号的成像特征值，该方法包括：使所述发射照射到所述衬底上；测量与所述预期位置相关联的可检测信号的成像特征；确定与用于生成失真校正图像的成像特性相关联的校正衬底位置，从所述预期位置和指定校正因子确定所述校正衬底位置，该指定校正因子被预定为所述预期衬底位置的函数；并且将所述测量的强度与所述校正位置相关联。13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述成像特征包含所述可检测信号的强度。14.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述校正因子为了所述成像装置的一组操作特征而进一步被预定。15.据权利要求12至14任一项所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括为至少一个其他预期衬底位置重复所述测量、确定和关联步骤。16.根据权利要求12至15任一项所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括具有与衬底上预期位置相对应的给定图像像素位置的给定图像像素值，所述给定图像像素值是以所述成像特征的相应比例为基础，所述成像特征与一个或多个所述校正衬底位置相关联，而所述校正衬底位置重叠所述给定图像像素位置的至少一部分。17.一种用于对衬底进行成像的成像的装置，其特征在于，所述装置包含：一光束发射器，用于将发射指向所述衬底，以生成表示所述衬底预期位置的检测信号；一信号检测器，用来为每个所述预期位置检测所述可检测信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯多夫·帕夫洛维奇，亚历山大·索金，弗拉迪米尔·马丁塞维奇，
申请(专利权)人：泰科英赛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：加拿大,CA