光学分析装置制造方法及图纸

技术编号:16934212 阅读:48 留言:0更新日期:2018-01-03 04:33
在作为半导体元件用基板而使用的蓝宝石的基体(2)上形成供试样溶液流动的流路(3),通过半导体制造工序,在基体(2)上夹持该流路(3)并对置地形成LED(4)和光电二极管(5)。LED(4)向基体(2)侧辐射光,该光在通过流路(3)中的试样溶液时受到与浓度等相应的吸收。该透过光通过基体(2)到达光电二极管(5),光电二极管(5)输出与入射的光量相应的检测信号。根据该装置,光源、光检测器在流通池即基体(2)上被一体化,因此能够谋求小型轻质化,并且不需要装置组装时的繁琐的光轴调整。

Optical analysis device

A flow path (3) for the flow of sample solution is formed on the substrate (2) of the sapphire used as the substrate of the semiconductor component, and the flow path (3) is fixed on the substrate (2) through the semiconductor manufacturing process, and the LED (4) and the photodiode (5) are placed on the land. LED (4) radiates light to the base (2) side, which is absorbed by the concentration of the sample through the sample solution in the flow path (3). The optical diode (5) is reached through the light through the matrix (2), and the photodiode (5) outputs a detection signal corresponding to the incident light amount. According to the device, the light source and photodetector are integrated on the circulation pool, namely the substrate (2), so that it can seek small lightweight and do not need the complicated optical axis adjustment when the device is assembled.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学分析装置
本专利技术涉及向试样照射光,并对此检测从试样获得的透过光、反射光、散射光、荧光等的光学分析装置。
技术介绍
作为液相色谱仪(LC)的检测器,经常使用紫外可见分光光度计、光电二极管阵列检测器等光学分析装置。近年来,随着发光二极管(LED)技术的进展和急速普及,也逐渐地利用LED作为光学分析装置的光源。LED由于发光光谱中的峰宽比较狭窄,因此不适合如跨越宽波段范围地进行波长扫描这样的用途,但是适于将特定波长的光照射到试样的吸光光度计、荧光光度计等光学分析装置。LED与以往一般使用的各种光源相比除了格外廉价以外,还有寿命长、可靠性高这样的优点。将使用LED作为光源的吸光光度计的概略构成用图7示出(参照例如专利文献1等)。从光源即LED(例如深紫外LED)71射出的测试光照射在流通池72上。测试光在通过流通池72中的试样溶液时,受到与该试样溶液中的成分的种类、量相应的吸收。受到这样的吸收之后的光入射至光检测器73,光检测器73输出与该光的光量相应的检测信号。然后,在未图示的信号处理部中,根据检测信号算出试样的吸光度。在使用这样的吸光光度计作为检测器的LC中,为了谋求分析的高速化本文档来自技高网...
光学分析装置

【技术保护点】
一种光学分析装置,其特征在于,具备:a)基体,其由作为化合物半导体元件用、氧化物半导体元件用、或者有机半导体元件用的基板而被使用的透明或者半透明的材料形成,在其内部形成有供试样溶液流通的流路;b)半导体发光部,其通过半导体制造工序形成在所述基体的表面,并对所述流路中的试样溶液照射光;以及c)半导体受光部,其通过半导体制造工序形成在所述基体的表面的、来自所述流路中的试样溶液的光所到达的位置上,所述流路中的该试样溶液面对所述半导体发光部的照射光。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学分析装置,其特征在于,具备:a)基体,其由作为化合物半导体元件用、氧化物半导体元件用、或者有机半导体元件用的基板而被使用的透明或者半透明的材料形成,在其内部形成有供试样溶液流通的流路;b)半导体发光部,其通过半导体制造工序形成在所述基体的表面,并对所述流路中的试样溶液照射光;以及c)半导体受光部,其通过半导体制造工...

【专利技术属性】
技术研发人员:长井悠佑
申请(专利权)人:株式会社岛津制作所
类型:发明
国别省市:日本,JP

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