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光学分析装置制造方法及图纸
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文档序号:16934212
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在作为半导体元件用基板而使用的蓝宝石的基体(2)上形成供试样溶液流动的流路(3),通过半导体制造工序,在基体(2)上夹持该流路(3)并对置地形成LED(4)和光电二极管(5)。LED(4)向基体(2)侧辐射光,该光在通过流路(3)中的试样溶...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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