【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种清洗装置，适用于清洗检测器的检测电极，包括： 支撑单元，支撑该检测电极，使该检测电极置于该支撑单元内部； 清洗单元，包括多个喷洒构件，所述喷洒构件设置于该支撑单元中；以及 升降单元，连接该检测电极，其中该升降单元升起该检测电极之后，从所述喷洒构件喷出清洗液以清洗该检测电极。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈志松，李俨辉，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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