高精度激光位移测量仪制造技术

本实用新型专利技术公开了基于光束漂移补偿的直线度误差同时测量的高精度激光位移测量仪器用以解决现有导轨直线度高精度同时测量方法测量精度低、测量范围小，抗干扰能力差等问题。包括激光器、角锥棱镜、分束器、聚焦透镜、位置敏感探测器、四象限探测器、信号处理电路、二维角度调节台、二维平移台。采用角锥棱镜为光学敏感器件，通过四象限探测器和位置敏感探测器接收和测量分束后的透射光的信息，实现直线度误差、光漂补偿的测量。利用激光准直测量原理，并且实现了误差分离，增强了抗干扰能力，使用光学器件少，光源功率低，成本低廉；光学结构简单，操作方便，移动部分可不带电缆，便于现场测量；测角分辨率较高。

【技术实现步骤摘要】
高精度激光位移测量仪
本技术属于光电检测
，涉及一种结构简单紧凑、高精度激光位移测量仪器。
技术介绍
机械导轨运动副都包括两个线性误差：垂直于轴向的两个直线度误差。在高精密机械制造、加工、检测等领域，修正几何及运动误差提高直线运动系统精度至关重要，因此，六自由度误差的高精度测量方法与技术研究一直是一个重要课题，而二维直线度是六自由度误差中测量的两个重要参数。目前现有的直线度高精度激光同时测量主要有：1.激光准直测量方法，最典型的是平行双光束法，基于激光准直特性，通过探测两束平行激光准直光束的光斑位置变化，如现有的激光自准直仪，中国专利201610787156.8、201620391543.5、200930101203.X等，此类方法结构简单，易于多参数同时测量集成，但双光束的平行调节困难，以及美国专利号：US6049377[P].2000.]、美国专利号：US5798828.1998.]，该系统测量精度高，系统移动单元带电缆连接，不适于现场的高速和长距离测量，并且造价昂贵，不方便高速数控机床的动态测量。2.衍射测量法，基于平面衍射光栅的五自由度同时测量方法[MillerJM，B本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度激光位移测量仪，其特征在于：包括固定单元(101)和移动单元(102)，移动单元(102)固定在测试平台上；所述移动单元包括二维平移台(10)、靶镜(2)，靶镜固定在二维平移台(10)沿上，然后再固定导轨移动的测量平台上；所述固定单元包括由激光器(1)、分束器(3)、四象限探测器(6)、位置敏感探测器(5)、聚焦透镜(4)、信号处理电路(7)的测量装置主体和二维角度调节台(9)，并且测量装置主体安装在二维角度调节台(9)上；分束器(3)和聚焦透镜(4)依次设置在靶镜(2)的透射光束的光线上，位置敏感探测器(5)设置在聚焦透镜(4)的焦平面上，四象限探测器(6)设置在分束器(3)的垂直...

【技术特征摘要】
1.一种高精度激光位移测量仪，其特征在于：包括固定单元(101)和移动单元(102)，移动单元(102)固定在测试平台上；所述移动单元包括二维平移台(10)、靶镜(2)，靶镜固定在二维平移台(10)沿上，然后再固定导轨移动的测量平台上；所述固定单元包括由激光器(1)、分束器(3)、四象限探测器(6)、位置敏感探测器(5)、聚焦透镜(4)、信号处理电路(7)的测量装置主体和二维角度调节台(9)，并且测量装置主体安装在二维角度调节台(9)上；分束器(3)和聚焦透镜(4)依次设置在靶镜(2)的透射光束的光线上，位置敏感探测器(5)设置在聚焦透镜(4)的焦平面上，四象限探测器(6)设置在分束器(3)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟玉生，蒋留杰，刘佳明，冯飞翔，王启真，李志远，谢泽铧，王新杰，
申请(专利权)人：郑州轻工业学院，
类型：新型
国别省市：河南,41