【技术实现步骤摘要】
高精度激光位移测量仪
本技术属于光电检测
,涉及一种结构简单紧凑、高精度激光位移测量仪器。
技术介绍
机械导轨运动副都包括两个线性误差:垂直于轴向的两个直线度误差。在高精密机械制造、加工、检测等领域,修正几何及运动误差提高直线运动系统精度至关重要,因此,六自由度误差的高精度测量方法与技术研究一直是一个重要课题,而二维直线度是六自由度误差中测量的两个重要参数。目前现有的直线度高精度激光同时测量主要有:1.激光准直测量方法,最典型的是平行双光束法,基于激光准直特性,通过探测两束平行激光准直光束的光斑位置变化,如现有的激光自准直仪,中国专利201610787156.8、201620391543.5、200930101203.X等,此类方法结构简单,易于多参数同时测量集成,但双光束的平行调节困难,以及美国专利号:US6049377[P].2000.]、美国专利号:US5798828.1998.],该系统测量精度高,系统移动单元带电缆连接,不适于现场的高速和长距离测量,并且造价昂贵,不方便高速数控机床的动态测量。2.衍射测量法,基于平面衍射光栅的五自由度同时测量方法[MillerJM,BartonRO.Multi-axisalignmentapparatus.美国专利号:4804270.1989]该方法测量精度较低,移动固定单元连接电缆,限制了测量的方便性。基于全息透镜的五自由度同时测量法[JBerginMT,BartolottaCS.Multi-axisopticalalignmentsystemincludingAspatialfilter,美国专利号:3 ...
【技术保护点】
一种高精度激光位移测量仪,其特征在于:包括固定单元(101)和移动单元(102),移动单元(102)固定在测试平台上;所述移动单元包括二维平移台(10)、靶镜(2),靶镜固定在二维平移台(10)沿上,然后再固定导轨移动的测量平台上;所述固定单元包括由激光器(1)、分束器(3)、四象限探测器(6)、位置敏感探测器(5)、聚焦透镜(4)、信号处理电路(7)的测量装置主体和二维角度调节台(9),并且测量装置主体安装在二维角度调节台(9)上;分束器(3)和聚焦透镜(4)依次设置在靶镜(2)的透射光束的光线上,位置敏感探测器(5)设置在聚焦透镜(4)的焦平面上,四象限探测器(6)设置在分束器(3)的垂直光路上;所述位置敏感探测器(5)、四象限探测器(6)均与信号处理电路(7)相连接,信号处理电路(7)与处理计算机(8)相连接并处理分析。
【技术特征摘要】
1.一种高精度激光位移测量仪,其特征在于:包括固定单元(101)和移动单元(102),移动单元(102)固定在测试平台上;所述移动单元包括二维平移台(10)、靶镜(2),靶镜固定在二维平移台(10)沿上,然后再固定导轨移动的测量平台上;所述固定单元包括由激光器(1)、分束器(3)、四象限探测器(6)、位置敏感探测器(5)、聚焦透镜(4)、信号处理电路(7)的测量装置主体和二维角度调节台(9),并且测量装置主体安装在二维角度调节台(9)上;分束器(3)和聚焦透镜(4)依次设置在靶镜(2)的透射光束的光线上,位置敏感探测器(5)设置在聚焦透镜(4)的焦平面上,四象限探测器(6)设置在分束器(3)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:翟玉生,蒋留杰,刘佳明,冯飞翔,王启真,李志远,谢泽铧,王新杰,
申请(专利权)人:郑州轻工业学院,
类型:新型
国别省市:河南,41
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。