一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于抛光技术领域，尤其涉及一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置，包括机架、抛光液桶、打液泵、流液管、旋转轴、抛光盘、压力传感器、传导杆、高精轴承和冷热水机，抛光液桶连接打液泵，打液泵连接流液管，流液管穿过机架最终出口设置在抛光盘上方，抛光盘中心设精密轴承，传导杆底端通过精密轴承固定在抛光盘中心，传导杆顶端的机架上设有压力传感器，机架上还设有冷热水机和旋转轴，冷热水机与抛光盘连接，旋转轴与机架内的电机连接；本实用新型专利技术通过冷热水机对水进行加热或降温来达到控制大盘形状的目的，使其达到一个动态平衡，控制抛光盘在一定范围内轻微起伏变化，提高了产品质量，降低了操作难度，具有市场推广的实际意义。

A LTV control device for polishing sapphire substrate

The utility model belongs to the technical field of polishing, LTV control device and particularly relates to a sapphire substrate polishing, which comprises a frame, barrel, polishing liquid pump, a liquid flow pipe, a rotating shaft, the polishing pad, pressure sensor, transmission rod, high precision bearings and cold water machine, polishing liquid barrel connected play liquid pump a liquid pump is connected with a liquid flow pipe, a liquid flow pipe passing through the frame end outlet is arranged at the polishing disc above the polishing disk is arranged in the center of precision bearings, the conducting rod is fixed on the bottom of the polishing disk center through precision bearings, a conduction rod end is provided with a pressure sensor, the frame is provided with a cold water machine and the rotary shaft, cold and hot water the machine is connected with the polishing disk, a rotating shaft of the motor and the frame connection; the utility model through the cold and hot water machine of water heating or cooling to control the shape of the market, to achieve a dynamic balance To control the change of the discs slightly in a certain range, improve the quality of the product, reduce the difficulty of operation, and have the practical significance of marketing.

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置
本技术属于抛光
，尤其涉及一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置。
技术介绍
目前大部分蓝宝石衬底都需要通过PSS处理以便增强其透光率，而PSS加工所必须的分步曝光对蓝宝石平片局部平整度(LTV)有较高的要求。现有的针对LTV控制的方法大多依赖于CMP设备本身的精度以及加工过程中对温度的控制调节。原理是随着温度的变化CMP设备抛光盘盘面会发生相应的起伏变化，当达到合适的温度时抛光盘盘面正好平坦的时候晶片的TTV/LTV都可以达到最佳状态。但这种控制方法有以下两个重要的缺点：1.抛光盘随温度的变化规律并不是完全相同的，根据抛光盘材质的不同及使用寿命的不同、室温的变化等都会影响其变化规律，因此相同的温度下加工的产品质量并不完全相同。2.我们通常测量的抛光盘温度实际上是抛光盘盘面上所贴的抛光垫的温度，甚至受上面的抛光液的影响，并不能完全反的实际温度，因此造成控制不精确。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足，本技术设计了一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置，抛弃了现有技术中通过测量温度间接控制抛光盘形状以控制LTV的方法，直接通过冷热水机控制大盘的形状来达到目的，克服了现有技术中存在的不足。本技术是通过以下技术方案来实现的：一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置，包括机架、抛光液桶、打液泵、流液管、旋转轴、抛光盘、压力传感器、传导杆、高精轴承和冷热水机，抛光液桶连接打液泵，打液泵连接流液管，流液管穿过机架最终出口设置在抛光盘上方，抛光盘中心设精密轴承，传导杆底端通过精密轴承固定在抛光盘中心，传导杆顶端的机架上设有压力传感器，机架上还设有冷热水机和旋转轴，冷热水机与抛光盘连接，旋转轴与机架内的电机连接。进一步的，所述旋转轴外侧设有保护套，旋转轴底部设有抛光头，抛光头用来压住衬垫，并进行抛光。进一步的，所述传导杆顶端在抛光盘盘面水平时恰好接触到压力传感器。进一步的，所述抛光盘内设有水箱。本技术设计了一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置，摒弃了现有技术中通过测量温度间接控制抛光盘形状以控制LTV的方法，直接通过控制大盘的形状来达到目的；沿着流液管增加一个传导杆，在设备大盘上方安装固定一个压力传感器，传导杆底端通过精密轴承固定在抛光盘中心，顶端在抛光盘平坦时恰好接触压力传感器。当抛光盘中心低于目标高度时，传感器不受压，冷热水机会启动加热程序，使抛光盘受热向上鼓；当抛光盘中心高于目标位置时，冷热水机会启动制冷，使抛光盘向下缩，从而达到一个动态平衡，控制抛光盘在一定范围内轻微起伏变化，提高了产品质量，降低了操作难度，具有市场推广的实际意义。附图说明图1为本技术结构示意图。图中：1、抛光液桶，2、打液泵，3、流液管，4、机架，5、压力传感器，6、旋转轴，7、传导杆，8、抛光盘，9、水箱，10、冷热水机，11、精密轴承。具体实施方式下面结合附图对本技术进一步说明。如图1所示，一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置，包括机架4、抛光液桶1、打液泵2、流液管3、旋转轴6、抛光盘8、压力传感器5、传导杆7、高精轴承和冷热水机10，抛光液桶连接打液泵，打液泵连接流液管，流液管穿过机架最终出口设置在抛光盘上方，抛光盘中心设精密轴承11，传导杆底端通过精密轴承固定在抛光盘中心，传导杆顶端的机架上设有压力传感器，机架上还设有冷热水机和旋转轴，冷热水机与抛光盘连接，旋转轴与机架内的电机连接。进一步的，所述旋转轴外侧设有保护套，旋转轴底部设有抛光头，抛光头固定衬垫，并进行抛光。进一步的，所述传导杆顶端在抛光盘盘面水平时恰好接触到压力传感器。进一步的，所述抛光盘内设有水箱9。具体实施过程为：抛光机进行抛光，旋转轴和抛光盘同时转动，传导杆与压力传感器接触，当抛光盘的盘面中心低于目标高度时，传感器不受压或压力小于盘面水平时的压力，控制系统控制冷热水机启动加热程序，使水箱内的水受热向上鼓，将抛光盘上盘面顶起；当抛光盘中心高于目标位置时，传感器监测到的压力增大，冷热水机启动制冷，水箱内水温降低，抛光盘盘面向下收缩；通过整个闭环控制从而达到一个动态平衡，控制抛光盘盘面的位置在一定范围内轻微起伏变化。本技术中未详细描述的部分均为已公开技术或本领域内普通技术人员常识，还应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本技术的保护范围；本实施方式中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置，其特征在于包括机架(4)、抛光液桶(1)、打液泵(2)、流液管(3)、旋转轴(6)、抛光盘(8)、压力传感器(5)、传导杆(7)、高精轴承和冷热水机(10)，抛光液桶(1)连接打液泵(2)，打液泵(2)连接流液管(3)，流液管(3)穿过机架(4)最终出口设置在抛光盘(8)上方，抛光盘(8)中心设精密轴承(11)，传导杆(7)底端通过精密轴承(11)固定在抛光盘(8)中心，传导杆(7)顶端的机架(4)上设有压力传感器(5)，机架(4)上还设有冷热水机(10)和旋转轴(6)，冷热水机(10)与抛光盘(8)连接，旋转轴(6)与机架(4)内的电机连接。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底抛光的LTV控制装置，其特征在于包括机架(4)、抛光液桶(1)、打液泵(2)、流液管(3)、旋转轴(6)、抛光盘(8)、压力传感器(5)、传导杆(7)、高精轴承和冷热水机(10)，抛光液桶(1)连接打液泵(2)，打液泵(2)连接流液管(3)，流液管(3)穿过机架(4)最终出口设置在抛光盘(8)上方，抛光盘(8)中心设精密轴承(11)，传导杆(7)底端通过精密轴承(11)固定在抛光盘(8)中心，传导杆(7)顶端的机架(4)上设有压力传感器(5)，机架(4)上还设...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓强，
申请(专利权)人：青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37