硅外延设备用喷淋装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅外延设备用喷淋装置，属于半导体外延材料制备领域，包括石英钟罩、钟罩上盖和喷淋器，所述钟罩上盖位于所述喷淋器的上方，所述石英钟罩位于所述喷淋器的下方，穿过所述钟罩上盖的连接杆的下端与固定于所述喷淋器上表面的固定螺母螺纹连接，在所述连接杆上并位于所述喷淋器与所述钟罩上盖之间套装有套管，所述钟罩上盖支撑于所述套管上，所述喷淋器向下的一面设有若干喷淋口，其相对的另一面的中间设有导向螺柱，所述导向螺柱向上穿过所述钟罩上盖上的通孔并用紧固螺母与所述钟罩上盖固定连接。本实用新型专利技术是通过对原有外延设备的改进，能够避免原有设备上喷淋器与石英钟罩接触造成石英钟罩开裂的问题。

Spray device for silicon epitaxial equipment

The utility model discloses a spraying device for epitaxial silicon epitaxial semiconductor device, belonging to the field of material preparation, including quartz bell, bell cover and sprinkler, the bell cover is positioned on the top of the spray, the quartz bell jar is located on the bottom of sprinkler is connected with the lower end. The rod passes through the upper cover of the bell jar is connected with the fixed screw nut is fixed on the upper surface of the sprinkler, the connecting rod is positioned in the shower and the bell cover cover is sleeved between the casing, the bell cover is supported on the casing, the shower down one side is provided with a plurality of spray mouth, on the opposite side of the middle is provided with a guide screw, the guide stud upward through the bell hole on the cover and the fastening nut and the upper cover is fixedly connected with the bell. Through the improvement of the original epitaxial device, the utility model can avoid the problem of the cracking of the quartz bell cover caused by the contact between the sprinkler and the quartz bell cover on the original equipment.

【技术实现步骤摘要】
硅外延设备用喷淋装置
本技术属于半导体外延材料制备领域，尤其涉及一种LPE306ID及NMC-630A硅外延设备用喷淋装置。
技术介绍
LPE306ID设备是意大利LPE公司生产的全自动外延设备，主要用于VDMOS和IGBT产品外延片的生产，适合6-8英寸厚层参数。LPE306ID设备上的喷淋器，原来的结构设计为，活动式连接，连接杆穿过钟罩上盖，与喷淋器通过螺母固定(见图6)，连接杆与钟罩上盖是不固定的。在钟罩上盖升起后，喷淋器通过连接杆吊在钟罩上盖下方。而在钟罩上盖下降到位后，喷淋器通过接触PIN与钟罩上表面接触。通过四个PIN与石英钟罩接触。PIN的结构为：一是与石英钟罩接触部位带有锥度，接触面积小；二是材质为软质合金铝。喷淋器的固定方式为：循环水喷淋器与钟罩上盖通过活动连接杆吊装在一起，上下有约20-30mm活动量。钟罩上盖下降到规定高度时，喷淋器上的四个PIN与石英钟罩上壁接触，喷淋器与石英钟罩间距保持一个PIN的高度(约10mm)。合金铝材质的PIN易氧化生成氧化铝，氧化铝的硬度强于石英，经常接触，会使石英钟罩在接触点处产生应力。石英钟罩长期使用，接触点应力增大到一定程度，会使石英钟罩在工艺生长中，沿着接触点释放应力，造成石英钟罩开裂，缩短了钟罩的使用寿命。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种硅外延设备用喷淋装置，能够避免原有设备上喷淋器与石英钟罩接触造成石英钟罩开裂的问题。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是：一种硅外延设备用喷淋装置，包括石英钟罩、钟罩上盖和喷淋器，所述钟罩上盖位于所述喷淋器的上方，所述石英钟罩位于所述喷淋器的下方，穿过所述钟罩上盖的连接杆的下端与固定于所述喷淋器上表面的固定螺母螺纹连接，在所述连接杆上并位于所述喷淋器与所述钟罩上盖之间套装有套管，所述钟罩上盖支撑于所述套管上，所述喷淋器向下的一面设有若干喷淋口，其相对的另一面的中间设有导向螺柱，所述导向螺柱向上穿过所述钟罩上盖上的通孔并用紧固螺母与所述钟罩上盖固定连接。进一步地，在所述套管和所述固定螺母之间还设有与所述连接杆螺纹配合的调整螺母。进一步地，在所述钟罩上盖的上表面还设有垫圈。进一步地，所述套管为四氟聚乙烯制成。进一步地，在所述钟罩上盖的上表面还设有垫圈。进一步地，所述喷淋器的下表面与石英钟罩的顶部之间的间距在10-15mm之间。采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本技术通过对原有LPE3061D设备循环水喷淋器结构及固定方式的改造，即去掉喷淋器上的四个接触PIN，并将喷淋器与石英钟罩保持一定的距离连接，避免了因喷淋器与石英钟罩的接触而产生应力，延长了石英钟罩的使用寿命。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例一提供的硅外延设备喷淋装置的结构示意图；图2是本技术实施例二提供的硅外延设备喷淋装置的结构示意图；图3是本技术实施例提供的硅外延设备喷淋装置中喷淋器的主视结构示意图；图4是图3的后视图；图5是图3的主视图；图6是改造前的硅外延设备喷淋装置的结构示意图；图中：1、连接杆；2、喷淋器；3、套管；4、固定螺母；5、钟罩上盖；6、PIN；7、导向螺柱；8、喷淋口；9、调整螺母；10、垫圈。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，在本技术描述中，需要理解的是，若有术语“上、下、左、右”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位，也即，附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。参见图1、图3至图5，现对本技术提供的一种硅外延设备用喷淋装置做详细说明，包括石英钟罩、钟罩上盖5和喷淋器2，所述钟罩上盖5位于所述喷淋器2的上方，所述石英钟罩位于所述喷淋器2的下方，穿过所述钟罩上盖5的连接杆1的下端与固定于所述喷淋器2上表面的固定螺母4螺纹连接，在所述连接杆1上并位于所述喷淋器2与所述钟罩上盖5之间套装有套管3，所述钟罩上盖5支撑于所述套管3上，所述喷淋器2向下的一面设有若干喷淋口8，其相对的另一面的中间设有导向螺柱7，所述导向螺柱7向上穿过所述钟罩上盖5上的通孔并用紧固螺母与所述钟罩上盖5固定连接。本技术通过对原有LPE3061D设备循环水喷淋器2结构及固定方式的改造，即去掉喷淋器2上的四个接触PIN6，并将喷淋器2与石英钟罩保持一定的距离连接，避免了因喷淋器2与石英钟罩的接触而产生应力，延长了石英钟罩的使用寿命。固定式连接，连接杆1穿过钟罩上盖5及套管3，再与喷淋器2通过螺母固定，由于在钟罩上盖5与喷淋器2之间增加了套管3，喷淋器2被固定在钟罩上盖5下方，钟罩上盖5被套管3支撑住，其中，可以通过调整套管3的长度以调整。进一步地，参见图2至图5，作为本技术实施例提供的硅外延设备用喷淋装置的实施例二，在所述套管3和所述固定螺母4之间还设有与所述连接杆1螺纹配合的调整螺母9。使用时，调整螺母9向下旋转，可以使套管3随之向下移动，喷淋器2与钟罩上盖5之间的间距变小，当调整螺母9向上旋转时，可以使套管3随之向上移动，喷淋器2与钟罩上盖5之间的间距变大。进一步地，参见图1至图5，作为本技术实施例提供的硅外延设备用喷淋装置，在所述钟罩上盖5的上表面还设有与所述连接杆1垫圈10。进一步地，参见图1至图5，作为本技术实施例提供的硅外延设备用喷淋装置，所述套管3为四氟聚乙烯制成。进一步地，参见图1至图5，作为本技术实施例提供的硅外延设备用喷淋装置，所述喷淋器2的下表面与石英钟罩的上表面之间的间距在10-15mm之间。其中，所述钟罩上盖5设置的是连接杆1穿过的通孔，可方便调整钟罩上盖与喷淋器之间的间距，进而更好的调整喷淋器与石英钟罩之间的间距。由于本技术是对原有LPE3061D及NMC-630A外延设备中喷淋器部位的改进，其他的结构及部件在此不再叙述。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅外延设备用喷淋装置，包括石英钟罩、钟罩上盖和喷淋器，所述钟罩上盖位于所述喷淋器的上方，所述石英钟罩位于所述喷淋器的下方，其特征在于，穿过所述钟罩上盖的连接杆的下端与固定于所述喷淋器上表面的固定螺母螺纹连接，在所述连接杆上并位于所述喷淋器与所述钟罩上盖之间套装有套管，所述钟罩上盖支撑于所述套管上，所述喷淋器向下的一面设有若干喷淋口，其相对的另一面的中间设有导向螺柱，所述导向螺柱向上穿过所述钟罩上盖上的通孔并用紧固螺母与所述钟罩上盖固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种硅外延设备用喷淋装置，包括石英钟罩、钟罩上盖和喷淋器，所述钟罩上盖位于所述喷淋器的上方，所述石英钟罩位于所述喷淋器的下方，其特征在于，穿过所述钟罩上盖的连接杆的下端与固定于所述喷淋器上表面的固定螺母螺纹连接，在所述连接杆上并位于所述喷淋器与所述钟罩上盖之间套装有套管，所述钟罩上盖支撑于所述套管上，所述喷淋器向下的一面设有若干喷淋口，其相对的另一面的中间设有导向螺柱，所述导向螺柱向上穿过所述钟罩上盖上的通孔并用紧固螺母与所述钟罩上盖固定连接。2.根据权利要求1所述的硅外延设备用喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，陈秉克，赵丽霞，袁肇耿，王刚，张志勤，
申请(专利权)人：河北普兴电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13