设施管理系统技术方案

一种设施管理系统FMS(1)以及用于规划和/或控制包括多个组件C的设施(2)(具体是制造设施)的方法，所述设施管理系统FMS(1)包括至少一个装置(3)，该至少一个装置适于从存储在所述设施管理系统(1)的数据库(4)中的数据立方体库DCL加载组件数据对象立方体CDOC，并且将组件数据对象立方体CDOC链接到表示所述设施(2)的组件C的组件数据对象CDO，其中链接到组件数据对象CDO的说加载的组件数据对象立方体CDOC包括各个组件C的参数P，并且可以在所述设施管理系统(1)的数据编辑模式DEM中进行编辑。

Facility management system

A facility management system FMS (1) and for planning and / or including a plurality of components C control facilities (2) (in particular the manufacturing facility) method, the FMS infrastructure management system (1) comprises at least one device (3), the at least one device is adapted from stored in the facilities management system (1) database (4) in the data cube loading component library DCL data object and data cube CDOC, Component Object Cube CDOC link to the said facilities (2) component of the data object CDO component of C, which is linked to the components of the data object CDO said parameter P loaded component the data object cube CDOC includes the components of C, and can be managed in the system (1) data editing in DEM edit mode.

【技术实现步骤摘要】
设施管理系统
本专利技术涉及用于规划和/或控制设施(具体是制造设施(诸如半导体制造设施))的设施管理系统和方法。
技术介绍
具体是诸如半导体制造设施的生产设施的设施是高度复杂的设施，其包括多个组件，具体是可以执行制造过程的制造步骤以制造诸如集成电路等产品的制造机器。半导体制造厂是可以制造集成电路的工厂。半导体制造厂的中心部分例如是洁净室，其包含用于执行例如光刻、清洁或掺杂过程的制造机器以及切割机。半导体制造厂确实包括多个设备项或制造机器。制造机器是可以消费资源以执行用于处理集成半导体电路的制造过程步骤的物理组件。这些资源包括基本气体资源，例如氢气或生产过程所需的其他气体。制造组件所需的其他资源是供给制造机器的电能。此外，还需要其他资源，例如水或其他流体。用于包括机器的制造组件的电力通过电线网分布在生产设施内，并且可以本地存储在电池中，电池也构成工厂的物理组件。流体和/或气体资源通过管道提供给制造组件，所述管道将所需流体传输给半导体生产设施的洁净室中的制造机器。消费制造组件所消费的必要资源由这些分布式组件通过电线和/或管道进行供应，并且可以由资源发生器生成。这种设施的组件可以是基本组件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于规划和/或控制包括多个组件C的设施(2)的设施管理系统FMS(1)，所述设施(2)具体是制造设施，所述设施管理系统FMS(1)包括至少一个装置(3)，所述至少一个装置(3)适于从存储在所述设施管理系统(1)的数据库(4)中的数据立方体库DCL加载组件数据对象立方体CDOC，以及将所述组件数据对象立方体CDOC链接到表示所述设施(2)的组件C的组件数据对象CDO，其中，链接到所述组件数据对象CDO的所加载的组件数据对象立方体CDOC包括：将相应组件C的数据或参数P的存在进行可视化的虚拟实体；‑并且提供接口以便选择、移动或编辑存储在所述设施管理系统(1)的数据存储器中的集中位置或分布位置的...

【技术特征摘要】
2016.06.10 EP 16173984.21.一种用于规划和/或控制包括多个组件C的设施(2)的设施管理系统FMS(1)，所述设施(2)具体是制造设施，所述设施管理系统FMS(1)包括至少一个装置(3)，所述至少一个装置(3)适于从存储在所述设施管理系统(1)的数据库(4)中的数据立方体库DCL加载组件数据对象立方体CDOC，以及将所述组件数据对象立方体CDOC链接到表示所述设施(2)的组件C的组件数据对象CDO，其中，链接到所述组件数据对象CDO的所加载的组件数据对象立方体CDOC包括：将相应组件C的数据或参数P的存在进行可视化的虚拟实体；-并且提供接口以便选择、移动或编辑存储在所述设施管理系统(1)的数据存储器中的集中位置或分布位置的组件数据集。2.根据权利要求1所述的设施管理系统，其中，所述装置(3)包括处理单元(3A)，所述处理单元(3A)适于从与所述处理单元(3A)连接的所述数据库(4)中存储的所述数据立方体数据库DCL中加载至少一个可编辑组件数据对象立方体CDOC，并且适于将所加载的组件数据对象立方体CDOC链接到表示所述设施(2)的至少一个组件C的组件数据对象CDO，所述装置(3)还包括命令输入单元(3B)和/或手势检测单元(3C)，所述命令输入单元(3B)具体是计算机鼠标，适于由用户输入命令；所述手势检测单元(3C)适于从由用户做出并由所述手势检测单元(3C)检测到的手势导出命令。3.根据权利要求1或2所述的设施管理系统FMS，其中，所述设施(2)的组件C的操作由所述设施管理系统FMS(1)通过处理所述设施(2)的所生成的设施数据模型FDM进行控制或模拟，所述设施数据模型FDM包括组件数据对象CDO，所述组件数据对象CDO表示所述设施(2)的组件C，并且具有与所述设施(2)的组件C的组件数据对象CDO链接的相关联的组件数据对象立方体CDOC。4.根据权利要求3所述的设施管理系统，其中，所述设施(2)的组件C适于执行由所述设施管理系统(1)控制和/或模拟的操作，其中，所述组件C包括：资源提供组件，资源消费组件，传感器组件SC，适于感测所述设施(2)的其他组件C对资源R的提供和/或消费，并生成对应的传感器参数；以及致动器组件AC，适于控制所述设施(2)的其它组件C对资源R的提供和/或消费。5.根据前述权利要求1至4中任一项所述的设施管理系统，其中，所述设施(2)包括生产设施，具体是半导体制造设施，所述生产设施包括生产组件，所述生产组件包括：机器，或者包括建筑组件BC的建筑设施和/或包括车辆组件VC的车辆。6.根据前述权利要求1至5中任一项所述的设施管理系统，其中，表示所述设施(2)的组件C的组件数据对象CDO包括：嵌入式设施组件数据对象立方体FCDOC，其包括消费者组件数据对象立方体CCDOC和源组件数据对象立方体SCDOC；和/或嵌入式成本组件数据对象立方体COST-CDOC，其包括相应组件C的成本参数，和/或嵌入式调度组件数据对象立方体SCH-CDOC，其包括相应组件C的调度参数；和/或嵌入式组织组件数据对象立方体ORG-CDOC，其包括相应组件C的组织参数。7.根据前述权利要求1至6中任一项所述的设施管理系统，其中，所述设施(2)的组件C包括至少一个接口组件，所述至少一个接口组件适于接收由所述设施的控制器(2)提供的控制信号CRTL，所述控制信号由所述控制器基于所述设施(2)的设施数据模型FDM并基于由所述设施(2)的至少一个传感器组件SC提供的传感器参数(2)生成，所述设施数据模型FDM存储在存储器(5)中并且包括组件数据对象CDO，所述组件数据对象CDO表示所述设施(2)的组件C，并具有与表示所述设施(2)的组件C的组件数据对象CDO链接的相关联的组件数据对象立方体CDOC，其中，所述控制信号CRTL是由所述控制器通过响应于传感器参数处理所述设施数据模型FDM而实时地生成的，所述传感器参数从所述设施(2)的至少一个传感器组件SC接收并提供给所述设施(2)的动作组件AC，其中，所述控制信号CRTL是由所述设施(2)的电气资源携带的电气控制信号，或由流体资源携带的液压控制信号，和/或由气体资源携带的气动控制信号，其中所述设施(2)的所述至少一个传感器组件SC适于感测所述设施(2)的其它组件C对资源R的提供和/或消费。8.根据权利要求7所述的设施管理系统，其中，所述控制器适于响应于用户通过所述命令输入单元(3B)输入的命令和/或响应于用户做出并由连接到所述设施(2)的所述控制器的手势检测单元(3C)检测到的手势来处理所述设施(2)的设施数据模型FDM，其中，所述命令输入单元(3B)具体是计算机鼠标。9.根据前述权利要求1至8中任一项所述的设施管理系统，其中，所述组件数据对象立方体CDOC使所述设施(2)的组件C的参数P的数量可视化，通过所述组件数据对象立方体的颜色、纹理、形状或大小对所述数量进行可视化。10.根据前述权利要求1至9中任一项所述的设施管理系统，其中，通过用户佩戴的虚拟现实VR护目镜或增强现实AR护目镜向用户显示所述设施(2)的设施数据模型FDM。11.根据权利要求10所述的设施管理系统，其中，通过用户的手势或其他用户输入来选择在用户佩戴的护目镜上显示的组件数据对象CDO的组件数据对象立方体CDOC，以自动地将对存储在分布式或集中式数据存储器中的数据集的引用传送给具有用户接口的计算机设备，以允许编辑在所述用户接口的屏幕上显示给用户的所加载的数据集。12.根据前述权利要求1至11中任一项所述的设施管理系统，所述设施管理系统FMS(1)具有包括以下各项的至少一个装置(3)：-数据存储器(4)，包含设施(2)的物理组件C的几何形状的表示，以及包含链接到所述设施的物理组件C的数据；-处理单元(3A)，适于加载、编辑和处理所存储的数据；-用户输入接口(3B，3C)，使用户能够指定所述设施的虚拟表示内的位置；-以及显示屏幕，示出所存储的设施组件C的几何形状，并且将链接到设施组件C的数据可视化为虚拟几何对象，所述虚拟几何对象构成嵌入或放置在相应设施组件C的几何形状表示处的数据可视化对象，其中，通过用户输入选择或根据程序自动选择所述数据可视化对象CDOC，以便对相应数据可视化对象CDOC的子集执行动作。13.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：塞巴斯蒂安·库玛，
申请(专利权)人：塞巴斯蒂安·库玛，
类型：发明
国别省市：德国,DE