一种基于太赫兹波的检测系统技术方案

本发明专利技术涉及一种检测设备，其包括：一太赫兹波发射源，一探测器，以及一分别与该太赫兹波发射源和探测器连接的控制电脑；所述太赫兹波发射源包括一太赫兹反射速调管，其中，所述太赫兹反射速调管包括：一电子发射单元、一谐振单元、一输出单元，所述电子发射单元用于发射电子；所述谐振单元包括一谐振腔体，该谐振腔体与所述电子发射单元相通，该电子发射单元发射的电子进入所述谐振腔体，所述谐振腔体与所述电子发射单元相对的腔体壁具有一耦合输出孔，所述输出单元通过所述耦合输出孔与所述谐振单元相通，所述谐振单元中产生的太赫兹波通过所述耦合输出孔传输到所述输出单元。

A detection system based on terahertz wave

The invention relates to a detection device, which comprises a terahertz emission source, a detector, and a computer control respectively with this terahertz emission source and detector connected; the terahertz wave emission source comprises a terahertz reflection klystron, wherein the terahertz reflection klystron comprises an electron emission unit, a resonance unit, an output unit, wherein the electron emission unit for emitting electrons; the resonant unit comprises a resonant cavity, the resonant cavity and the electron emission unit is communicated, the electron electron emission unit emission into the resonant cavity, the resonant cavity and the electron emission cavity wall the unit has a coupled output hole, the output unit through the output coupling holes communicated with the resonant unit, THz wave generated by the resonant unit in The output unit is transmitted through the coupling output hole.

【技术实现步骤摘要】
一种基于太赫兹波的检测系统
本专利技术涉属于检测领域，尤其，涉及及一种基于太赫兹反射速调管的检测系统。
技术介绍
一般而言，太赫兹波是指频率从0.3THz-3THz或者0.1THz-10THz范围的电磁波。太赫兹波的波段处于红外波段与毫米波段之间，在安全检查，反恐，材料检测方面都有可能得到应用。与此同时，由于太赫兹波是一种低能量的光子，具有无害、非电离、不接触等优势，在医疗检测方面有可能得到应用。反射式速调管是产生太赫兹波的一个重要的方式。采用先进的微加工技术，结合当前纳米材料的场发射电子源，有可能制造出具有实用价值的可用于产生太赫兹波波的微型反射式速调管。为了扩大能产生太赫兹波信号的反射速调管的实际应用范围，需要调整这种反射式速调管的结构尺寸。然而，现有的太赫兹反射速调管由于耦合输出孔设置于谐振腔体的腔体侧壁上，故输出单元也设置于腔体侧壁，从而使该太赫兹反射速调管很难达到较小的横向结构尺寸，且难以集成阵列。
技术实现思路
因此，确有必要提供一种横向结构尺寸较小且容易集成阵列的太赫兹反射速调管及应用该太赫兹反射速调管的检测系统。一种检测设备，其包括：一太赫兹波发射源，一探测器，以及一分别本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于太赫兹波的检测设备，其包括：一太赫兹波发射源，一探测器，以及一分别与该太赫兹波发射源和探测器连接的控制电脑；所述太赫兹波发射源包括一太赫兹反射速调管，其特征在于，所述太赫兹反射速调管包括：一电子发射单元、一谐振单元和一输出单元，所述电子发射单元用于发射电子；所述谐振单元包括一谐振腔体，该谐振腔体与所述电子发射单元相通，该电子发射单元发射的电子进入所述谐振腔体，所述谐振腔体与所述电子发射单元相对的腔体壁具有一耦合输出孔，所述输出单元通过所述耦合输出孔与所述谐振单元相通，所述谐振单元中产生的太赫兹波通过所述耦合输出孔传输到所述输出单元。

【技术特征摘要】
1.一种基于太赫兹波的检测设备，其包括：一太赫兹波发射源，一探测器，以及一分别与该太赫兹波发射源和探测器连接的控制电脑；所述太赫兹波发射源包括一太赫兹反射速调管，其特征在于，所述太赫兹反射速调管包括：一电子发射单元、一谐振单元和一输出单元，所述电子发射单元用于发射电子；所述谐振单元包括一谐振腔体，该谐振腔体与所述电子发射单元相通，该电子发射单元发射的电子进入所述谐振腔体，所述谐振腔体与所述电子发射单元相对的腔体壁具有一耦合输出孔，所述输出单元通过所述耦合输出孔与所述谐振单元相通，所述谐振单元中产生的太赫兹波通过所述耦合输出孔传输到所述输出单元。2.如权利要求1所述的基于太赫兹波的检测设备，其特征在于，所述电子发射单元包括一基板、一阴极层、一电子注入层和一引出栅，所述基板具有一表面，所述阴极层设置于所述基板的表面，所述电子注入层设置于所述阴极层远离所述基板的表面，所述电子注入层具有一垂直贯穿上下表面的电子发射孔道，该电子发射孔道内设有电子发射体，所述引出栅设置于所述电子注入层远离所述阴极层的表面，且至少覆盖所述电子发射孔道。3.如权利要求2所述的基于太赫兹波的检测设备，其特征在于，所述电子发射孔道具有预定倾斜度的倾斜侧壁，该电子发射孔道的孔径随着远离阴极层的方向逐渐变窄。4.如权利要求3所述的基于太赫兹波的检测设备，其特征在于，所述电子发射孔道呈现倒漏斗的形状。5.如权利要求2所述的基于太赫兹波的检测设备，其特征在于，所述电子发射孔道的侧壁涂覆有次级电子倍增材料。6.如权利要求2所述的基于太赫兹波的...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳鹏，陈丕瑾，李宗谦，雷有华，张春海，周段亮，范守善，
申请(专利权)人：清华大学，鸿富锦精密工业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11