一种可伐封装外壳的分段式除氢工艺方法技术

本发明专利技术公开一种可伐封装外壳的分段式除氢工艺方法，主要针对封装外壳封帽后的内部氢含量进行控制，包括镀前烘烤和镀后烘烤两个工艺段；加热时，设备以相对于外界为正压的纯氮气为气氛，压力范围控制在97‑103MPa之间，通过频繁充放气带走部分析出氢；充氮加热前通过洗炉排除空气影响，具体为抽炉腔真空至10Pa以下，然后充纯氮至50MPa以上，再复抽至10Pa以下，循环两次。本发明专利技术方法可以实现将各类可伐合金壳体的氢含量控制在500ppm以下，且除氢后管壳可焊性不受大的影响，焊料在镀层上润湿良好。

【技术实现步骤摘要】
一种可伐封装外壳的分段式除氢工艺方法
本专利技术是一种可伐封装外壳的分段式除氢工艺方法，主要应用于对可伐封装外壳中氢含量的控制上，属于电子封装外壳材料处理技术。
技术介绍
可伐合金，也称铁镍钴合金，是电力电子领域、尤其是电子封装外壳领域使用极其广泛的材料，具有加工性能好、线膨胀系数与一些常规封装材料匹配以及一定温度下组织具有良好的稳定性等诸多优点。氢含量是对封装外壳质量要求中的一项重要指标。氢存在的潜在危害包括：逐渐生成水汽造成水汽含过多加速电子元器件腐蚀失效、生成低温脆性组织造成低温破坏、使得某系敏感材料氢化而失去原有性能以及造成GaAs等半导体芯片和器件的功能退化。因此，需要严格控制封装外壳中的氢含量。但是，在封装外壳制造过程中，可伐合金在管壳成型后一般需要施镀一定厚度的Ni层和Au层，电镀等过程从物理化学角度难以避免引入氢。且在管壳冶金、退火等过程中，也可能采用氢气保护气氛等，这些也会引入氢，需要采用一定的除氢工艺去除管壳残留氢。目前常规的方法是有在电镀后125℃烘烤168h乃至更长、250℃烘烤48h乃至更长等。但是，镀金后壳体长期高温烘烤，一方面影响效率和增加设备成本，如1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可伐封装外壳的分段式除氢工艺方法，其特征是包括镀前烘烤和镀后烘烤两个工艺段；加热时，设备以相对于外界为正压的纯氮气为气氛，压力范围控制在97‑103MPa之间，通过频繁充放气带走部分析出氢；充氮加热前通过洗炉排除空气影响，具体为抽炉腔真空至10Pa以下，然后充纯氮至50MPa以上，再复抽至10Pa以下，循环两次。

【技术特征摘要】
1.一种可伐封装外壳的分段式除氢工艺方法，其特征是包括镀前烘烤和镀后烘烤两个工艺段；加热时，设备以相对于外界为正压的纯氮气为气氛，压力范围控制在97-103MPa之间，通过频繁充放气带走部分析出氢；充氮加热前通过洗炉排除空气影响，具体为抽炉腔真空至10Pa以下，然后充纯氮至50MPa以上，再复抽至10Pa以下，循环两次。2.根据权利要求1所述的一种可伐封装外壳的分段式除氢工艺方法，其特征是所属的镀前烘烤工艺，镀前指在装架等完成后，电镀开始前的阶段；在真空钎焊炉中进行，升温速率为10℃/min，升至250℃保温10min后，再用5℃/min的升温速率升至300℃后，保温48h。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：申忠科，刘思栋，董一鸣，夏庆水，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十五研究所，
类型：发明
国别省市：江苏,32