【技术实现步骤摘要】
一种应用于单晶炉的分体式高频逆变直流电源
本技术涉及电源
,尤其涉及一种应用于单晶炉的分体式高频逆变直流电源。
技术介绍
由于光伏技术和微小型半导体逆变器技术的飞速发展,硅材料市场前景广阔。中国硅单晶的产量、销售收入近几年递增较快,以中小尺寸为主的硅片生产已成为国际公认的事实,为世界和中国集成电路、半导体分立器件和光伏太阳能电池产业的发展做出了较大的贡献。单晶炉是生产硅单晶的主要设备,其主要用于在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,通过加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法等技术生长无错位单晶。单晶炉的供电电源通常为低压大电流的直流电源,其供电特征为电压低、电流大、功率大、供电可靠性要求高。现有技术中,用于单晶炉供电的大功率高频逆变直流电源基本为一体式结构。如图1所示,电源1通过水冷电缆2连接在单晶炉5的加热电极3。由于电源1与单晶炉5之间有一定距离,二者之间通常采用水冷电缆2连接,但水冷电缆造价昂贵,同时大电流长距离的传输将导致水冷电缆本体消耗大量电能等传输损耗过高的问题。
技术实现思路
本技术的目的之一至少在于,针对上述现有技术存在的问题,提供一种应用于单晶炉的分 ...
【技术保护点】
一种应用于单晶炉的分体式高频逆变直流电源,其特征在于,所述分体式高频逆变直流电源包括分别设置在不同位置的直流逆变控制系统和整流装置;其中,所述直流逆变控制系统与所述整流装置之间通过连接电缆相连接,所述整流装置通过载流体与单晶炉的加热电极连接。
【技术特征摘要】
1.一种应用于单晶炉的分体式高频逆变直流电源,其特征在于,所述分体式高频逆变直流电源包括分别设置在不同位置的直流逆变控制系统和整流装置;其中,所述直流逆变控制系统与所述整流装置之间通过连接电缆相连接,所述整流装置通过载流体与单晶炉的加热电极连接。2.根据权利要求1所述的分体式高频逆变直流电源,其特征在于,所述整流装置为一个或者多个。3.根据权利要求1所述的分体式高频逆变直流电源,其特征在于,所述整流装置设置在单晶炉底部。4.根据权利要求1所述的分体式高频逆变直流电源,其特征在于,所述整流装置设置在单晶炉侧面。5.根据权利要求1所述的分体式高频逆变直流...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘少德,黄刚,
申请(专利权)人:四川蔚宇电气有限责任公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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