成型体制造技术

本发明专利技术涉及其表面具有凹凸结构，且其具有热塑性氟树脂的成型体，该成型体具有2.0GPa～20GPa的弯曲弹性模量。本发明专利技术的成型体手感硬度大，在纳米压印工艺中可以用作具有优异的脱模性的树脂制复制模具。

Forming body

The invention relates to a concave convex structure on its surface and a molding body with a thermoplastic fluorine resin, which has a bending elastic modulus of 2.0GPa to 20GPa. The molding body of the invention has great handle hardness and can be used as a resin making mold with excellent demoulding property in the nano imprinting process.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】成型体
本专利技术提供一种成型体和利用该成型体所获得的压印模具、以及能够使用该成型体制造的防反射膜。
技术介绍
作为用于获得微细结构的图案的技术，已知有纳米压印技术。所谓纳米压印技术，是进行将具有凹凸的微细图案表面的模具(模型)按压在基材上等而向基材转印微细结构的技术。作为用于这样的纳米压印技术的模具，一般而言，可以使用石英制模具，但其非常昂贵。因此，已知有将这样的石英制模具用作原版(也称为“主模”或“母模”)而制作树脂制的复制模具、再将该复制模具用于纳米压印技术的技术。这样的纳米压印技术中使用的模具从固化性树脂脱模时，为了可靠地维持所转印的微细结构，要求脱模性高，但上述那样的树脂制的复制模具存在脱模性低这样的问题。为了解决这样的问题，例如在专利文献1中提案了在树脂模具的表面上形成含有脱模剂并与树脂模具的表面结合的层的模具。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2012/018045号
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，现有的树脂制复制模具为膜状，因柔软而操作困难。另外，特别是在将无机材料用于纳米压印工艺时，现有的树脂制复制模具因过于柔软而难以维持表面的凹凸形状，即使是很少的转印次数、例如转印1次，脱模性也变得不好，进行连续转印是困难的。因此，本专利技术的目的在于：提供一种手感硬度大、不仅在使用有机材料的工艺中、特别是在使用无机材料的纳米压印工艺中具有优异的脱模性的树脂制复制模具。用于解决课题的方法本专利技术的专利技术人对上述课题进行了精心研究，结果发现，通过使具有微细凹凸结构且具有热塑性含氟树脂的成型体的弹性模量成为2.0GPa～20GPa，能够获得具有适度的手感硬度、能够作为可以用于连续纳米压印工艺的复制模具使用的成型体。即，本专利技术在第一要旨中，提供一种成型体，其表面具有凹凸结构，且其具有热塑性氟树脂，该成型体具有2.0GPa～20GPa的弹性模量。本专利技术在第二要旨中，提供一种叠层体，其具有：由树脂材料形成的支撑体；位于支撑体上的粘合剂层；和位于粘合剂层上且表面具有凹凸结构的含氟层，含氟层由热塑性氟树脂形成。本专利技术在第三要旨中，提供一种由无机材料形成的防反射膜，其表面具有多个大致圆柱状凸部，反射率为0.1％以下，波长500nm的透射率为90％以上，凸部的高度10nm处的直径A与距凸部的顶部10nm处的直径B的比(B/A)为0.30以上2.00以下。专利技术效果根据本专利技术，通过使具有微细凹凸结构且具有热塑性含氟树脂的成型体的弹性模量成为2.0GPa～20GPa，能够形成具有适度的手感硬度、可以用于连续纳米压印工艺的复制模具。附图说明图1是实施例3所获得的压印用模具的SEM图像。图2是用于对实施例4的制造工序进行说明的图。图3表示试验例1的脱模耐久性试验的结果。具体实施方式以下，对本专利技术的成型体进行说明。本专利技术的成型体在其表面具有凹凸结构，且其具有热塑性氟树脂，并具有2.0GPa～20GPa的弹性模量。作为上述热塑性氟树脂，例如可以列举乙烯－四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物(FEP)、全氟烷氧基共聚物(PFA)、乙烯－氯三氟乙烯共聚物(ECTFE)、聚氟乙烯(PVF)、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、乙烯－四氟乙烯－六氟丙烯共聚物(FTFP)、偏氟乙烯－六氟丙烯共聚物(VdF－HFP)、偏氟乙烯－四氟乙烯－六氟丙烯共聚物(VdF－TFE－HFP)、其他氟系树脂、含氟橡胶等，除此以外，也可以是它们的混合树脂、聚合物合金。作为上述热塑性氟树脂，优选聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷氧基共聚物(PFA)、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物(FEP)、乙烯－四氟乙烯共聚物(ETFE)、乙烯－四氟乙烯－六氟丙烯共聚物(FTFP)、聚偏氟乙烯(PVDF)或聚氯三氟乙烯(PCTFE)，更优选聚四氟乙烯、全氟烷氧基共聚物或四氟乙烯－六氟丙烯共聚物。在一个方式中，上述热塑性氟树脂具有100℃以上的熔点，例如具有150℃以上、170℃以上、200℃以上、220℃以上、250℃以上、270℃以上、300℃以上或320℃以上的熔点。在一个方式中，上述热塑性氟树脂的氟含量可以为20质量％，优选为30质量％以上，例如为40质量％以上、50质量％以上、60质量％以上、70质量％以上或80质量％以上。在优选方式中，上述热塑性氟树脂具有100℃以上的熔点，并且含有20质量％以上的氟。优选上述氟树脂的熔点和氟含量分别为100℃以上且30质量％以上、150℃以上且20质量％以上、或150℃以上且30质量％以上。在优选方式中，将上述热塑性氟树脂进行交联。例如，可以通过向加热熔融的热塑性氟树脂照射电离放射线而发生交联反应，原样固化而形成交联结构。本专利技术的成型体具有1.0GPa～20GPa的弯曲弹性模量，具有优选2.0GPa～15GPa、更优选2.0GPa～10GPa的弯曲弹性模量。通过具有这样的弯曲弹性模量，在将成型体用作压印模具时，能够获得适度的手感硬度的压印模具，能够提高脱模耐久性。本专利技术的成型体的表面的凹凸结构具有与下述的叠层体的含氟层的凹凸结构相同的结构。上述本专利技术的成型体可以用作压印模具，优选用作纳米压印模具。另外，在本说明书中，所谓模具，是指将自身的表面所具有的纳米级的微细图案转印给树脂、膜等的模板。转印可以利用光(例如紫外线)或热等进行。在一个要旨中，本专利技术提供一种叠层体，其具有：由树脂材料形成的支撑体；位于支撑体上的粘合剂层；和位于粘合剂层上且表面具有凹凸结构的含氟层。形成支撑体的树脂材料没有特别限定，可以使用各种热塑性树脂或热固性树脂。具体而言，作为上述树脂，可以列举聚乙烯、聚丙烯、乙烯－丙烯共聚物、乙烯－乙酸乙烯酯共聚物(EVA)等聚烯烃、环状聚烯烃、改性聚烯烃、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚碳酸酯、聚－(4－甲基戊烯－1)、离聚物、丙烯酸系树脂、聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸－苯乙烯共聚物(AS树脂)、丁二烯－苯乙烯共聚物、乙烯－乙烯醇共聚物(EVOH)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)、聚环己烷对苯二甲酸酯(PCT)等聚酯、聚醚、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亚胺、聚缩醛(POM)、聚苯醚、改性聚苯醚、聚芳酯、芳香族聚酯(液晶聚合物)、聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、其他氟系树脂、苯乙烯系、聚烯烃系、聚氯乙烯系、聚氨酯系、含氟橡胶系、氯代聚乙烯系等各种热塑性弹性体、环氧树脂、酚醛树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂、不饱和聚酯、有机硅树脂、聚氨酯等、或以它们为主的共聚物、掺合体、聚合物合金等。从支撑体的透明性和柔软性的观点考虑，上述树脂材料优选为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、环烯烃树脂(COP)、丙烯酸树脂(PMMA)、乙烯－四氟乙烯共聚物(ETFE)，特别而言，更优选为聚对苯二甲酸乙二醇酯或环烯烃树脂，进一步优选为聚对苯二甲酸乙二醇酯。上述支撑体具有优选1.0GPa～20GPa、更优选2.0GPa～15GPa、进一步优选2.0GPa～10GPa的弯曲弹性模量。通过支撑体具有上述那样的弯曲弹性模量，能够向本专利技术的叠层体赋予相同的弯曲弹性模量，能够获得适度的手感硬度的叠层体。通过使支撑体的弯曲弹性模量成为1.0G本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成型体，特征在于：其表面具有凹凸结构，且其具有热塑性氟树脂，该成型体具有2.0GPa～20GPa的弯曲弹性模量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.08 JP 2015-0794391.一种成型体，特征在于：其表面具有凹凸结构，且其具有热塑性氟树脂，该成型体具有2.0GPa～20GPa的弯曲弹性模量。2.如权利要求1所述的成型体，其特征在于：热塑性树脂具有100℃以上的熔点，并含有20质量％以上的氟。3.如权利要求1或2所述的成型体，其特征在于：热塑性氟树脂由选自乙烯－四氟乙烯共聚物、聚四氟乙烯、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物、全氟烷氧基共聚物、乙烯－氯三氟乙烯共聚物、聚氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚氯三氟乙烯、偏氟乙烯－六氟丙烯共聚物和偏氟乙烯－四氟乙烯－六氟丙烯共聚物中的1种或2种以上的混合物形成。4.如权利要求1～3中任一项所述的成型体，其特征在于：其为压印模具。5.一种叠层体，其特征在于，具有：由树脂材料形成的支撑体；位于支撑体上的粘合剂层；和位于粘合剂层上且表面具有凹凸结构的含氟层，含氟层由热塑性氟树脂形成。6.如权利要求5所述的叠层体，其特征在于：热塑性氟树脂具有100℃以上的熔点，并含有20质量％以上的氟。7.如权利要求5或6所述的叠层体，其特征在于：其具有2.0GPa～20GPa的弯曲弹性模量。8.如权利要求5～7中任一项所述的叠层体，其特征在于：热塑性树脂为选自乙烯－四氟乙烯共聚物、聚四氟乙烯、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物、全氟烷氧基共聚物、...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤数行，矶贝智弘，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP