一种小孔导流正压测量装置及其测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种小孔导流正压测量装置，其特征在于，包括标准室、测量室、稳压室、压差计、压力计、机械泵、气源系统、恒温水浴系统和阀门；稳压室、小孔夹紧装置、测量室和标准室通过管道依次连接，压力计连接在稳压室上，压差计与测量室和标准室连接；稳压室和标准室通过管道连接，机械泵和气源系统分别通过第四阀门和第三阀门，与连接稳压室和标准室的管道相连通；稳压室、测量室和标准室放置于恒温水浴系统中。本发明专利技术解决了传统小孔流导测量过程中的本底压强和环境温度波动影响等问题，可测量粘滞流状态下，小孔流导在特定压差下的流导，测量过程简单，测量结果精确，可测量小孔对各种气体的流导。

A small hole diversion positive pressure measuring device and its measuring method

The invention provides a diversion hole pressure measuring device, which is characterized in that, including the standard room, a measuring chamber, a plenum chamber, differential pressure gauge, pressure gauge, mechanical pump, pneumatic system, constant temperature water bath system and valve; the pressure stabilizing chamber, small clamping device, measuring room and standard room are connected through a pipeline, pressure gauge connected to the plenum chamber, pressure gauge and measuring room and standard room and standard room connection; the pressure stabilizing chamber is connected with a pipeline, the mechanical pump and air supply system respectively by fourth and third valve valve, pipe connected with the pressure stabilizing chamber and connected to the standard room; a plenum chamber, measuring room and standard room is placed in a constant temperature water bath system in. The invention solves the traditional orifice conductance background pressure and ambient temperature fluctuations in the process of measurement and other issues, can measure the viscous flow state, the orifice conductance in specific differential pressure flow, the measurement process is simple, accurate measurement, measurement of various gas flow guide holes.

【技术实现步骤摘要】
一种小孔导流正压测量装置及其测量方法
本专利技术涉及测量
，特别涉及一种小孔导流正压测量装置及其测量方法。
技术介绍
小孔流导的应用非常广泛，如在真空计量装置设计中，小孔流导的设计是个重要的环节；质谱仪校准装置中，可采用小孔流导获得更低的分压力；气体微流量计设计中，可使用小孔提供稳定的气体流量。小孔流导的大小取决于小孔的形状、尺寸、通过小孔的气体、气体流动状态等。对于尺寸较小或不规则的小孔，无法通过理论计算得到，只能通过实验方法测量。目前国内测量小孔流导的方法主要有定容法、恒压法、气体微流量计法等。这些方法主要测量分子流状态下小孔的流导，测量室为真空状态，小孔流导压差为1atm。测量室存在本底压强，周围环境温度有一定的波动性，因此对小孔流导的测量结果有一定的影响。因此，急需设计一种能精确测量在粘滞流状态中，微压差下小孔流导且测量过程简单的方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种小孔导流正压测量装置及其测量方法，以解决现有的测量方法因测量室存在本底压强，周围环境温度具有波动性，对小孔导流的测量结果有一定影响的问题。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：提供一种小孔导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种小孔导流正压测量装置，其特征在于，包括标准室、测量室、稳压室、压差计、压力计、机械泵、气源系统、恒温水浴系统和阀门；所述稳压室、小孔夹紧装置、测量室和标准室通过管道依次连接，所述小孔夹紧装置和测量室之间的管道上安装有第一阀门，测量室和标准室之间的管道上安装有第五阀门；所述压力计连接在稳压室上，所述压差计与测量室和标准室连接；所述稳压室和标准室通过管道连接，在所述管道上靠近稳压室的一端安装有第二阀门，靠近标准室的一端安装有第六阀门；所述机械泵和气源系统分别通过第四阀门和第三阀门，与连接稳压室和标准室的管道相连接；所述稳压室、测量室和标准室放置于所述恒温水浴系统中。

【技术特征摘要】
1.一种小孔导流正压测量装置，其特征在于，包括标准室、测量室、稳压室、压差计、压力计、机械泵、气源系统、恒温水浴系统和阀门；所述稳压室、小孔夹紧装置、测量室和标准室通过管道依次连接，所述小孔夹紧装置和测量室之间的管道上安装有第一阀门，测量室和标准室之间的管道上安装有第五阀门；所述压力计连接在稳压室上，所述压差计与测量室和标准室连接；所述稳压室和标准室通过管道连接，在所述管道上靠近稳压室的一端安装有第二阀门，靠近标准室的一端安装有第六阀门；所述机械泵和气源系统分别通过第四阀门和第三阀门，与连接稳压室和标准室的管道相连接；所述稳压室、测量室和标准室放置于所述恒温水浴系统中。2.如权利要求1所述的小孔导流正压测量装置，其特征在于，所述气源系统和第三阀门之间连接有过滤装置。3.如权利要求1所述的小孔导流正压测量装置，其特征在于，所述标准室和测量室的体积和材料完全相同。4.如权利要求1所述的小孔导流正压测量装置，其特征在于，所述恒温水浴系统的温控精度高...

【专利技术属性】
技术研发人员：董栋，景加荣，张蕊，李卓慧，沈洁，施承天，
申请(专利权)人：上海卫星装备研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31