The utility model relates to a conveying device for glass substrate conveying device, which comprises a frame (7) and arranged on the frame (7) on a glass substrate (6) suspended in the air floatation platform (9), the frame (7) of a plurality of legs through the airbag (8) isolation supported on the ground isolation, the airbag (8) comprises a connecting frame (7) feet on the connecting plate (15), supporting the ground under the connecting plate (11) and is arranged on the upper connecting plate (15) and a lower connecting plate (11) between the air bag used for vibration isolation (19), the air the platform (9) is arranged on one side for conveying the glass substrate (6) of the conveyor (5) and chuck driving the transmission chuck (5) driving mechanism, the conveying chuck (5) adsorbed on the glass substrate and comprises a plurality of suction cups (6) surface edge (10). The transmission device is stable and reliable and avoids scratches.
【技术实现步骤摘要】
一种用于玻璃基板的传送装置
本技术涉及玻璃基板
,特别涉及一种用于玻璃基板的传送装置。
技术介绍
当前,随着技术的发展与市场的需求,平板显示的玻璃基板幅面不断扩大,厚度不断变薄,因此在微观检查机对平板显示玻璃基板进行传送时,要求与玻璃基板接触的每个吸盘吸力大小一致,在传送过程中若有吸盘没有吸附在玻璃上,会导致与吸盘之间产生摩擦,导致玻璃基板上出现划痕,影响产品品质,严重时会导致产品报废。专利文献CN106044225A公开的一种玻璃基板传送装置包括:气浮装置,用于放置所述玻璃基板;定位装置,用于将在传送所述玻璃基板前将所述玻璃基板定位在所述气浮装置上;以及移动装置,用于驱动所述玻璃基板沿所述气浮装置移动。该专利使用气流支撑玻璃基板,避免玻璃基板在运输过程中与支撑装置接触,从而防止造成划伤和污染,但该专利无法避免玻璃基板运输过程中玻璃基板和夹持部件之间的摩擦,导致玻璃基板上出现划痕,影响产品品质,另外,该专利无法避免由于细微地面振动以及不平度导致的摩擦,从而无法避免玻璃基板上出现划痕。专利文献CN205328207U公开的一种玻璃基板的气浮运输装置包括固定台和工作台,所述固定台两端设有若干组滚轮,固定台的中间设有第一凹槽,第一凹槽内安装有工作台,工作台通过U型薄板安装在固定台上,所述U型薄板设有气流进入的通孔,通孔与工作台下方的第二凹槽连通,在工作台上设有若干个压力腔,压力腔通过节流孔与第二凹槽连通,工作台上方设有传送带,传送带上安装有若干个非接触式真空吸盘,非接触式真空吸盘上设有开关阀,在靠近第一凹槽的两个滚轮上设有传感器,传感器与控制器信号连接,控 ...
【技术保护点】
一种用于玻璃基板的传送装置,其包括机架(7)和设在所述机架(7)上将玻璃基板(6)悬浮在空中的气浮平台(9),其特征在于:所述机架(7)的多个支脚均经由隔震气囊(8)支承在地面,所述隔震气囊(8)包括连接机架(7)支脚的上连接板(15)、支承地面的下连接板(11)和设在所述上连接板(15)和下连接板(11)之间的用于隔绝振动的气囊(19),所述气浮平台(9)的一侧设有用于传送所述玻璃基板(6)的传送吸盘(5)和驱动所述传送吸盘(5)的驱动机构,所述传送吸盘(5)包括用于同时吸附在玻璃基板(6)表面边缘处的多个吸盘(10)。
【技术特征摘要】
2017.01.26 CN 20172010195401.一种用于玻璃基板的传送装置,其包括机架(7)和设在所述机架(7)上将玻璃基板(6)悬浮在空中的气浮平台(9),其特征在于:所述机架(7)的多个支脚均经由隔震气囊(8)支承在地面,所述隔震气囊(8)包括连接机架(7)支脚的上连接板(15)、支承地面的下连接板(11)和设在所述上连接板(15)和下连接板(11)之间的用于隔绝振动的气囊(19),所述气浮平台(9)的一侧设有用于传送所述玻璃基板(6)的传送吸盘(5)和驱动所述传送吸盘(5)的驱动机构,所述传送吸盘(5)包括用于同时吸附在玻璃基板(6)表面边缘处的多个吸盘(10)。2.根据权利要求1所述的用于玻璃基板的传送装置,其特征在于:所述隔震气囊(8)包括测量机架(7)水平度的感应头(16)和用于控制气囊进气量的控制器(18)。3.根据权利要求1所述的用于玻璃基板的传送装置,其特征在于:所述隔震气囊(8)包括调整机架水平度的调整螺钉(17)。4.根据权利要求2所述的用于玻璃基板的传送装置,其特征在于:所述气囊(19)经由阀门连接压缩空气源,所述阀门电连接所述控制器(18)。5.根据权利要求1所述的用于玻璃基板的传送装置,其特征在于:所述机架(7)一侧设有大理石制成的梁(2),所述梁(2)的平面度在5微米以内,所述梁(2)上设...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓永松,李青,丁力,李兆廷,刘磊,蔡杰,
申请(专利权)人:江苏东旭亿泰智能装备有限公司,东旭光电科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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