一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台，包括基座，立柱，解耦虎克铰链，X轴桥式放大机构，X轴压电陶瓷驱动器，X轴预紧螺栓，X轴虎克铰链，Y轴桥式放大机构，Y轴压电陶瓷驱动器，Y轴预紧螺栓，Y轴虎克铰链，工作平台；X、Y轴桥式放大机构安装于基座的两条边的外侧，X、Y轴桥式放大机构距离基座的顶点距离相等，X、Y轴压电陶瓷驱动器通过X、Y轴预紧螺栓安装在X、Y轴桥式放大机构中；X、Y轴桥式放大机构包括位于X、Y轴压电陶瓷驱动器两侧且对称设置的柔性铰链机构和连接桥式柔性铰链机构的横梁，X、Y轴桥式放大机构通过X、Y轴虎克铰链与工作平台连接。本发明专利技术能够实现两自由度解耦的精密微小摆动。

A piezoelectric actuated two degree of freedom decoupling micro swing platform

The invention discloses a piezoelectric two DOF decoupling micro swing platform, which comprises a base, column, Hooke decoupling hinge, X axis bridge amplification mechanism, X axis piezoelectric actuator X axial pre tightening bolt, X axis Y axis Hooke hinge, bridge amplification mechanism, Y piezoelectric ceramic drive shaft for Y, axial pre tightening bolt, Y axis hinge work platform; Hooke, X, Y axis two edges of the lateral bridge amplification mechanism is installed on the base, the vertex distance is equal X, Y axis bridge amplification mechanism from the base, X, Y axis piezoelectric ceramic drive through X, Y axial pre tightening bolt installation in X, Y axis bridge amplification mechanism; X, Y axis bridge amplification mechanism in X and Y axis beam of piezoelectric actuator and symmetrically arranged on both sides of the flexible hinge mechanism and a connecting bridge type flexure hinge mechanism, X, Y axis bridge amplification mechanism by X, Hooke and Y axis hinge Work platform connection. The invention can realize precise micro swing decoupling with two degrees of freedom.

【技术实现步骤摘要】
一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台
本专利技术属于微定位领域，具体涉及一种由压电陶瓷驱动器直接驱动，两自由度解耦微摆动平台。
技术介绍
近年来，随着生物工程、材料科学、微电子技术的发展，微纳操作的物体越来越小，微纳操作的精度越来越高。为了保证精密微纳操作的精度，微小角度调整尤为重要。作为精密微纳操作系统中的重要组成部分，两自由度微摆动平台在微纳操作起到至关重要的作用。两自由度微摆动平台能够实现X轴和Y轴的微小摆动，用于调整微纳操作过程中定位平台的角度，进而以提高操作精度。由于微摆动平台上安装有被加工物体或者加工组件，其性能直接影响到整微纳操作的精度。现有微纳操作系统中的X轴和Y轴摆动多是通过多自由度定位平台实现，多自由度定位平台的驱动方式有音圈电机驱动、直线电机驱动、压电陶瓷驱动等形式。与其他形式驱动器相比，压电陶瓷驱动器具有体积小、刚度高、响应速度快、位移分辨率高等特点，非常适合应用在微纳操作定位系统中作为驱动器。目前一些学者设计了多种能够实现两自由度摆动的微摆动平台，但是这些微摆动平台多是多自由度平台(自由度数大于2)，其X轴和Y轴摆动运动是耦合的，必须借助于运动学解耦才能实现本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台，其特征在于，包括基座，立柱，解耦虎克铰链，X轴桥式放大机构，X轴压电陶瓷驱动器，X轴预紧螺栓，X轴虎克铰链，Y轴桥式放大机构，Y轴压电陶瓷驱动器，Y轴预紧螺栓，Y轴虎克铰链，工作平台；所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构安装于所述基座的两条边的外侧，X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构距离基座的顶点距离相等，所述X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器通过所述X轴预紧螺栓和Y轴预紧螺栓安装在所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构中；所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构包括位于所述X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器两侧且对称设置的柔性铰链机构和连接桥式柔...

【技术特征摘要】
1.一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台，其特征在于，包括基座，立柱，解耦虎克铰链，X轴桥式放大机构，X轴压电陶瓷驱动器，X轴预紧螺栓，X轴虎克铰链，Y轴桥式放大机构，Y轴压电陶瓷驱动器，Y轴预紧螺栓，Y轴虎克铰链，工作平台；所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构安装于所述基座的两条边的外侧，X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构距离基座的顶点距离相等，所述X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器通过所述X轴预紧螺栓和Y轴预紧螺栓安装在所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构中；所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构包括位于所述X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器两侧且对称设置的柔性铰链机构和连接桥式柔性铰链机构的横梁，所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁存满，王福军，田延岭，张大卫，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津,12