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一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台制造技术
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文档序号:16622114
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本发明公开了一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台,包括基座,立柱,解耦虎克铰链,X轴桥式放大机构,X轴压电陶瓷驱动器,X轴预紧螺栓,X轴虎克铰链,Y轴桥式放大机构,Y轴压电陶瓷驱动器,Y轴预紧螺栓,Y轴虎克铰链,工作平台;X、Y轴桥式放大机...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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