天线结构及其制备方法、超薄手机及其制备方法技术
Antenna structure and its preparation method, ultrathin mobile phone and preparation method thereof
The present invention provides an antenna structure and a preparation method thereof, ultra-thin mobile phone and a preparation method thereof, the antenna structure includes at least: anti crosstalk isolation layer; in the anti crosstalk isolation layer on a graphene film antenna pattern, for receiving and transmitting different signals; and anti crosstalk isolation layer with protrusions, raised in between the adjacent graphene film antenna pattern, internal cavity closed with micro bulge. The setting of the micro cavity prevents the crosstalk isolation layer from forming multiple shielding lines with a plurality of micro cavities, thereby effectively shielding the crosstalk between the graphene film antenna patterns and shielding the external crosstalk of the graphene film antenna pattern. Moreover, the graphene film antenna pattern has a thin thickness, so that the antenna structure can be film like, which is conducive to the application of devices, device thinning.
【技术实现步骤摘要】
天线结构及其制备方法、超薄手机及其制备方法
本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种天线结构及其制备方法和超薄手机及其制备方法。
技术介绍
石墨烯是目前发现的最薄、强度最大、导电导热性最好的一种新型纳米材料，其抗拉强度约为普通钢的100倍，可以承受大约2吨的重量，并且具有良好的柔韧性。石墨烯的电子迁移率为硅中电子迁移率的140倍，温度稳定性高，面电阻比铜、银更低，是室温下导电最好的材料。石墨烯的比表面积大，热导率是硅的36倍，使得石墨烯在柔性导电薄膜方面具有重要应用。在光学方法，单层石墨烯对可见光及近红外波段光垂直的吸收率仅为2.3％，对所有波段的光无选择性吸收，对从可见光到太赫兹宽波段的光都有吸收等。由于石墨烯的上述特性，石墨烯在移动设备、航空航天、新能源电池等诸多领域具有应用潜力。在移动手机里，天线直接影响了手机的可通讯能力，并且决定这手机的收发性能。手机日趋轻薄化，为了使手机就有更多的功能，来尽可能压缩天线所占的空间，导致天线的性能达不到要求。而为了提高天线的性能，天线需要具有一定的空间，天线满足足够的空间时必然会影响手机整体的体积，不利于轻薄化。专利技术...
【技术保护点】
一种天线结构，其特征在于，至少包括：防串扰隔离层；位于防串扰隔离层上的多个石墨烯薄膜天线图案，用于接收和发射不同的信号；以及防串扰隔离层具有凸起，凸起位于相邻石墨烯薄膜天线图案之间，凸起内部具有封闭的微空腔。
【技术特征摘要】
2017.02.17 CN 20171008565951.一种天线结构，其特征在于，至少包括：防串扰隔离层；位于防串扰隔离层上的多个石墨烯薄膜天线图案，用于接收和发射不同的信号；以及防串扰隔离层具有凸起，凸起位于相邻石墨烯薄膜天线图案之间，凸起内部具有封闭的微空腔。2.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，所述凸起封闭环绕每个石墨烯薄膜天线图案侧壁设置。3.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，所述凸起由凸起主体、位于凸起主体内的微空腔和微空腔顶部的盖帽构成；其中微空腔的顶部与凸起顶部齐平。4.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，所述微空腔的底部低于所述石墨烯薄膜天线图案的底部。5.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，所述微空腔的横截面尺寸的宽度不大于10nm。6.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，所述凸起的顶部拐角呈圆滑的曲线。7.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，在石墨烯薄膜天线图案底部的所述防串扰隔离层内部还设置有一层封闭空腔夹层。8.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，所述防串扰隔离层底部设置沿多个石墨烯薄膜天线图案排列方向的主馈线，每个所述石墨烯薄膜天线图案底部对应的防串扰隔离层中设置有导电接触孔，与每个所述石墨烯薄膜天线图案底部的导电接触孔相对应的主馈线上具有馈线接口，导电接触孔一端与相应的石墨烯薄膜天线图案相接触，导电接触孔的另一端与相应的馈线接口相连接，使得每个所述石墨烯薄膜天线图案通过相应的导电接触孔与主馈线相连接，且每个所述石墨烯薄膜天线图案通过导电接触孔和主馈线来接收和发送信号。9.根据权利要求8所述的天线结构，其特征在于，所述导电接触孔垂直于所述主馈线设置。10.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，多个所述石墨烯薄膜天线图案的尺寸不相同，多个所述石墨烯薄膜天线图案呈阵列排布且其尺寸按照从小到大顺序排布，位于石墨烯薄膜天线图案周围的所述凸起之间的间距也随着相应石墨烯薄膜天线图案的尺寸变大或变小。11.根据权利要求10所述的天线结构，其特征在于，多个所述石墨烯薄膜天线图案分布呈镂空封闭阵列。12.根据权利要求11所述的天线结构，其特征在于，多个所述石墨烯薄膜天线图案按照尺寸顺时针或逆时针从小到大的顺序排布，即“ABCD”型；或者，多个所述石墨烯薄膜天线图案按照尺寸从小到大相间排布，即“ACBD”型。13.根据权利要求1所述的天线结构，其特征在于，所述石墨烯薄膜天线图案呈阿基米德螺旋型、对称蝴蝶型、或多叉指型。14.一种权利要求1所述的天线结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤01：提供第一层隔离层薄膜；步骤02：利用光刻和刻蚀工艺，在第一层隔离层薄膜中刻蚀出多个沟槽，相邻沟槽之间形成凸起；步骤03：利用光刻和刻蚀工艺，在凸起中刻蚀出微空腔；步骤04：在完成步骤03的第一层隔离层薄膜上再沉积第二层隔离层薄膜，第二层隔离层薄膜将微空腔顶部封闭住，从而使构成封闭的微空腔且第二层隔离层薄膜依多个沟槽而形成相应的凹陷区域，凹陷区域用于放置石墨烯薄膜天线图案；所述第一层隔离层薄膜和所述第二层隔离层薄膜共同构成防串扰隔离层；步骤05：在第二隔离层薄膜表面覆盖一层石墨烯薄膜；步骤06：采用刻蚀工艺，对石墨烯薄膜进行图案化处理，从而在凹陷区域形成石墨烯薄膜天线图案，并且去除凹陷区域之外的石墨烯薄膜。15.根据权利要求14所述的天线结构的制备方法，其特征在于，步骤04中，在沉积另一层隔离层薄膜之后还包括：采用光刻和刻蚀工艺，保留微空腔顶部的第二隔离层薄膜且去除微空腔顶部所在平面上非微空腔顶部的第二隔离层薄膜，从而在微空腔顶部形成盖帽。16.根据权利要求14或15所述的天线结构的制备方法，其特征在于，所述步骤04之后还包括：对凸起的顶部拐角进行圆化处理，使得凸起的顶部拐角呈圆滑的曲线。17.根据权利要求14所述的天线结构的制备方法，其特征在于，所述步骤01中具体包括：提供一牺牲衬底；在牺牲衬底上嵌入固定有沿多个石墨烯薄膜天线图案排列方向的主馈线；主馈线上制备多个馈线接口，用于与后续的多个导电接触孔相对应；然后在牺牲衬底上形成第一层隔离层薄膜；第一层隔离层薄膜将主馈线覆盖住；所述步骤04之后且在所述步骤05之前，还包括：首先，在凹陷区域对应于主馈线的各个接口上方的第二层隔离层薄膜和第一层隔离层薄膜中刻蚀出相应的接触孔；接触孔穿透第二层隔离层薄膜和第一层隔离层薄膜，并且与主馈线的馈线接口相对应；然后，在接触孔中填充满导电材料，以形成导电接触孔，使得各个导电接触孔的底部与主馈线上相应的馈线接口相连接；所述步骤05中，在第二隔离层薄膜表面覆盖一层石墨烯薄膜后，向石墨烯薄膜施加高压，同时加热第一隔离层薄膜、第二隔离层薄膜和各个接触孔，使得石墨烯薄膜与各个导电接触孔中的导电材料相键合。18.一种超薄手机，具有储能电池、机身、机身背面壳体、主机电路和天线电路；储能电池、主机电路和天线电路都设置于机身内部；主机电路和天线电路相电连，用于向主机电路和天线电路提供电路；其特征在于，手机机身背面壳体由权利要求1～13任意一项所述的天线结构和在所述天线结构表面覆盖的非金属性的薄膜壳构成，所述天线结构与所述天线电路相电连；所...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪际军，
申请(专利权)人：全普光电科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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