一种激光振镜校正系统以及激光振镜校正方法技术方案

本发明专利技术提供的一种激光振镜校正系统以及激光振镜校正方法，涉及激光振镜技术领域，激光检测单元和校正单元，激光检测单元与校正单元电连接；激光检测单元包括振镜控制机构和激光采集机构；振镜控制机构包括用于固定振镜和激光器的激光器支架；激光采集机构包括位移组件和激光位置采集模块，位移组件与激光位置采集模块连接；校正单元包括校正模块，校正模块与所述激光位置采集模块电连接，用于根据所述激光位置采集模块采集的激光位置信息生成校正位置信息。在上述技术方案中，利用激光位置采集模块自动的感应激光器所发出来的激光光路，可以自动的检测激光光斑的位置信息，还能够根据检测的结果自动的进行位置的校正。

A Laser Galvanometer correction system and Laser Galvanometer correction method

The invention provides a system and a method for correcting Laser Galvanometer calibration of Laser Galvanometer, relates to the technical field of Laser Galvanometer and laser detection unit and a correcting unit, laser detection unit is connected with the correction unit; laser detection unit includes a galvanometer control mechanism and laser acquisition mechanism; vibration control mechanism includes a laser mirror bracket galvanometer and laser; laser acquisition mechanism comprises a displacement component and laser position acquisition module, the displacement components and the position of the laser acquisition module is connected; a correction unit includes a correction module, the correction module is connected with the laser position acquisition module for generating electricity, according to the position information correction of laser position information of the laser position acquisition module acquisition. In the above technical scheme, the laser light path is automatically induced by the laser position acquisition module, and the position information of the laser spot can be detected automatically, and the position correction can be automatically carried out according to the detected result.

【技术实现步骤摘要】
一种激光振镜校正系统以及激光振镜校正方法
本专利技术涉及激光振镜
，尤其是涉及一种激光振镜校正系统以及激光振镜校正方法。
技术介绍
目前，扫描振镜因其优良的性能已经成为激光标刻领域的主流技术。随着加工密度的提高，加工幅面的增大，对整机的精度也提出了更高的要求。通常，振镜系统的引入带来的各种非线性误差比较难消除，随着标刻区域的扩大，各种几何畸变更加突出，严重影响激光标刻的加工精度。而现有技术中常用的标定方法是让振镜标刻出矩阵标靶，然后采集标靶上点的坐标，基于特定数学模型进行校正，而在此过程中数据采集对校正过程的执行效率有着极大的影响。现有常规的数据采集方式是手工对位测量，或基于移动平台的CCD图像采集方法逐点进行扫描测量。这两种测量方式，前者精度依赖于标定人员的经验和技巧，具有较大的主观性误差，标定精度不高，而且对于大幅面标定，标定板和标定尺过大时，加工成本会较高，还不能很好地保证标定尺寸和位置精度，效率也较低。后者虽然标定精度及效率都相较于前者有很大的提高，但是针对动态聚焦振镜等大幅面扫描的应用领域仍有不足，在对不同焦距及其相对平面进行尺寸校正时，对焦距测量也同样存在由于标定人本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光振镜校正系统，其特征在于，激光检测单元和校正单元，所述激光检测单元与所述校正单元电连接；所述激光检测单元包括振镜控制机构和激光采集机构；所述振镜控制机构包括用于固定振镜(11)和激光器(12)的激光器支架(13)；所述激光采集机构包括位移组件和激光位置采集模块(21)，所述位移组件与所述激光位置采集模块(21)连接，用于控制所述激光位置采集模块(21)移动；所述校正单元包括校正模块(31)，所述校正模块(31)与所述激光位置采集模块(21)电连接，用于根据所述激光位置采集模块(21)采集的激光位置信息生成校正位置信息。

【技术特征摘要】
1.一种激光振镜校正系统，其特征在于，激光检测单元和校正单元，所述激光检测单元与所述校正单元电连接；所述激光检测单元包括振镜控制机构和激光采集机构；所述振镜控制机构包括用于固定振镜(11)和激光器(12)的激光器支架(13)；所述激光采集机构包括位移组件和激光位置采集模块(21)，所述位移组件与所述激光位置采集模块(21)连接，用于控制所述激光位置采集模块(21)移动；所述校正单元包括校正模块(31)，所述校正模块(31)与所述激光位置采集模块(21)电连接，用于根据所述激光位置采集模块(21)采集的激光位置信息生成校正位置信息。2.根据权利要求1所述的激光振镜校正系统，其特征在于，所述位移组件包括X轴移动模块(22)、Y轴移动模块(23)；所述X轴移动模块(22)，用于沿着X轴的方向调整所述激光位置采集模块(21)的位置；所述Y轴移动模块(23)，用于沿着Y轴的方向调整所述激光位置采集模块(21)的位置。3.根据权利要求2所述的激光振镜校正系统，其特征在于，所述位移组件还包括Z轴移动模块(24)，用于沿着Z轴的方向调整所述激光位置采集模块(21)的位置。4.根据权利要求3所述的激光振镜校正系统，其特征在于，所述振镜控制机构还包括自动调焦模块(14)，所述自动调焦模块(14)设置在所述激光器支架(13)上；所述自动调焦模块(14)与所述Z轴移动模块(24)电连接。5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈双燕，
申请(专利权)人：镇江金海创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32