检查装置、检查系统和物品制造方法制造方法及图纸

提供了一种检查装置、检查系统和物品制造方法。一种用于执行物体的检查的检查装置，该装置包括：被配置为对物体进行照明的照明设备，被配置为对由照明设备照明的物体进行成像的成像设备，以及被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理的处理器。处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行处理。

Inspection device, inspection system and article manufacturing method

An inspection device, an inspection system, and an article manufacturing method are provided. An inspection apparatus for performing object inspection, the device is configured to include: lighting equipment for lighting objects, configured for imaging equipment of lighting lighting by the object to be imaged, and is configured to image obtained by the imaging devices performed for inspection processing based on processor. The processor is configured as a second image obtained by the imaging equipment for the first image obtained by the imaging equipment in lighting equipment with light having a first wavelength under dark field illumination and lighting equipment in having a second wavelength different from the first wavelength of light illumination processing based on the implementation of.

【技术实现步骤摘要】
检查装置、检查系统和物品制造方法
本专利技术涉及用于执行物体的检查的检查装置、检查系统以及物品制造方法。
技术介绍
对于针对例如外观(appearance)而对物体(例如工件(work))的检查，已经越来越多地使用基于通过对用光照明的物体进行成像而获得的图像对物体进行检查的检查装置来代替视觉检查装置。这些检查装置包括用于针对颜色缺陷以及物体表面的高度不均匀性(凹和凸)而对物体进行检查的检查装置(日本专利No.5470708)。在日本专利No.5470708中公开的检查装置基于从物体规则反射的光(镜面反射光)检测物体的高度不均匀性并且基于从物体漫反射的光检测与颜色不规则性相关联的缺陷。虽然在日本专利No.5470708中公开的检查装置基于从物体漫反射的光检测颜色不规则性，但是没有充分考虑照明光的波长以用于关于物体的颜色而检查该物体。
技术实现思路
本专利技术提供例如在关于物体的颜色而检查物体的方面有利的检查装置。本专利技术的一方面提供用于执行物体的检查的检查装置。该装置包括：被配置为对物体进行照明的照明设备、被配置为对由照明设备照明的物体进行成像的成像设备、以及被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理的处理器。该处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行处理。从以下参考附图对示例性实施例的描述，本专利技术的另外的特征将变得清楚。附图说明图1是示出根据第一实施例的检查装置的示例性配置的图。图2是示出照明设备的示例性配置的图。图3是示出照明设备的示例性配置的图。图4是示出颜色缺陷的阈值的图。图5是示出根据第二实施例的检查装置的照明设备的示例性配置的图。图6是示出根据第三实施例的检查装置的示例性配置的图。具体实施方式将参考附图描述本专利技术的实施例。在示出实施例的图中，原则上(除非另有注释)，相同的部件由相同的附图标记来指定，并且避免冗余描述。第一实施例图1是示出根据第一实施例的检查装置的示例性配置的图。在图1中，检查装置1检查目标(物体)(诸如工件10)的外观。工件10的示例包括用于工业产品中的金属构件和树脂构件。工件10的表面可能具有缺陷(诸如损伤(flaw)、不规则性(例如颜色不规则性)或高度不均匀性)。检查装置1基于通过对工件10进行成像而获得的图像来检测缺陷并且将该工件分类(归类)为例如无缺陷的或者有缺陷的。检查装置1包括照明设备11、包括照相机12和光学系统14的成像设备、控制器18、处理器15、显示单元16和输入单元17。检查装置1可以进一步包括用于保持工件10的保持器13。工件10被运送单元(未示出)(诸如图6中的传送器1012)携载到相对于检查装置1的预定的位置。在检查之后，工件10由运送单元携载远离预定的位置。照明设备11对工件10进行照明。成像设备(包括照相机12和光学系统14)对由照明设备11照明的工件10进行成像以获得图像。由成像设备获得的工件10的图像被传递到处理器15。处理器15可以包括信息处理装置，该信息处理装置包括中央处理单元(CPU)15a、随机存取存储器(RAM)15b和硬盘驱动器(HDD)15c。处理器15可以获得关于所获得(传递)的目标图像的评估值并且执行基于该评估值和阈值(允许的范围)将工件分类为无缺陷或有缺陷的处理(分类处理)。例如，CPU15a执行用于分类处理的程序并且RAM15b和HDD15c存储程序和数据。显示单元16包括TV监视器并且显示由处理器15执行的处理的结果。输入单元17包括键盘17a和鼠标17b并且响应于例如用户操作允许数据或指令输入到控制器18或处理器15。控制器18和处理器15可以被配置为公共信息处理单元。现在将详细描述照明设备11。照明设备11包括多个光发射器(光源)。使用这种配置，照明设备11可以从各个方向(每个方向被定义为仰角和方位角的组合)选择性地对工件10进行照明。将参考图2和图3描述照明设备11中的光发射器的定位。图2和图3各自示出照明设备11的示例性配置。图2示出在图1中的y方向上观看照明设备11时光发射器的定位。图3示出在图1中的z方向上观看照明设备11时光发射器的定位。图2示出了关于照明光的方向的仰角的光发射器的定位。在本实施例中，光发射器就仰角而言被分成三组。具体地，光发射器被分成在相对低的仰角(低角度)处的组L、在相对高的仰角(高角度)处的组H以及在相对高和低仰角之间的中间仰角(中间角度)处的组M。图3示出了就照明光的方向的方位角而言的光发射器的定位。在本实施例中，组L的光发射器L1至L8被布置在八个方位角处。此外，组M的光发射器M1至M8被类似地布置在八个方位角处。另外，组H的光发射器H1至H4被布置在四个方位角处。如图2和图3中所示，照明设备11的光发射器是以穹顶(dome)的形式布置的。光发射器对工件10进行照明，该工件10如图2中所示定位在穹顶的下面，使得该工件10如图3中所示被定位在穹顶的中心处。光发射器的照明的仰角和方位角的种类、由光发射器发射的光的颜色(波长)的种类以及照明和成像模式的种类不限于以上和后面描述的那些，并且可以适当地改变。如图3中所示，多个光发射器包括发射具有与蓝色对应的波长的光的光发射器和发射具有与红色对应的波长的光的光发射器。在图3中，由B指示的光发射器发射蓝色光，并且由R指示的光发射器发射红色光。在这种情况下，每个光发射器可以是例如光发射设备(诸如发光二极管(LED))。具有与蓝色对应的波长的光例如是具有近似450nm的中心波长的光。具有与红色对应的波长的光例如是具有近似650nm的中心波长的光。光发射器L1至L8被布置使得在相对的方位角处的光发射器发射相同颜色的光。这种布置意图在使光发射器L1、L3、L5和L7的全部发射光的照明条件和使光发射器L2、L4、L6和L8的全部发射光的照明条件两者下尽可能均一地提供在使用相同颜色的光照明的工件上的照明分布。这种均一性在将在后面描述的检测整个工件的颜色缺陷方面是有效的。此外，光发射器M1至M8与光发射器L1至L8在方位角处的蓝颜色和红颜色的布置方面不同。这种布置意图在使全部仰角处的全部蓝色发光器发射光时从不同的方位角对工件进行照明，因而减小了由例如特定的损伤引起的噪声。结果，可以如将在后面描述的那样以高信号噪声比(S/N)来检测工件的诸如颜色不规则性之类的缺陷，这。对于工件10的检查，控制器18可以实现用于照明和成像的以下三种模式(模式1至模式3)。模式1：光发射器顺序地对物体进行照明，并且物体与照明的定时同步地被成像。模式2：使用发射蓝色光的光发射器L1、L3、L5和L7的全部在暗场照明下执行成像，并使用发射红色光的光发射器L2、L4、L6和L8的全部在暗场照明下执行成像。照明设备包括在特定仰角(在这种情况下，用于暗场照明的低角度)处从多个方位角对物体进行照明的多个光发射器(光源)。发射蓝色光(具有第一波长)的光源和发射红色光(具有第二波长)的光源被交替地布置。模式3：使用发射蓝色光的光发射器L1、L3、L5、L7、M2、M4、M6、M8、H1和H3的全部在照明下执行成像。现在将描述基于通过在这些模式下的照明下成像而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于执行物体的检查的检查装置，该装置包括：照明设备，被配置为对物体进行照明；成像设备，被配置为对由照明设备照明的物体进行成像；以及处理器，被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理，其中处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行所述处理。

【技术特征摘要】
2016.04.28 JP 2016-0915841.一种用于执行物体的检查的检查装置，该装置包括：照明设备，被配置为对物体进行照明；成像设备，被配置为对由照明设备照明的物体进行成像；以及处理器，被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理，其中处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行所述处理。2.如权利要求1所述的装置，其中所述处理器被配置为基于第一图像和第二图像针对物体的颜色对该物体执行用于检查的处理。3.如权利要求2所述的装置，其中所述处理器被配置为基于第一图像的像素值的代表值和第二图像的像素值的代表值执行处理。4.如权利要求3所述的装置，其中所述处理器被配置为基于第一图像的代表值和第二图像的代表值之间的比或差执行处理。5.如权利要求1所述的装置，其中所述照明设备包括被配置为发射具有第一波长的光的光源和被配置为发射具有第二波长的光的第二光源。6.如权利要求1所述的装置，其中所述照明设备具有改变第一波长和第二波长的功能，并且其中所述处理器被配置为基于识别物体的识别信息来确定第一波长和第二波长。7.如权利要求1所述的装置，其中所述照明设备包括被配置为在特定仰角处从多个方位角分别对物体进行照明的多个光源，并且其中被配置为发射具有第一波长的光的光源和被配置为发射具有第二波长的光的光源被交替地布置在多个光源中。8.如权利要求1所述的装置，其中所述第一波长和第二波长中的一个是与物体的颜色和该颜色的互补色中的一个对应的波长。9.如权利要求8所述的装置，其中所述第一波长和第二波长中的另一个是与物体的颜色和该颜色的互补色中的另一个对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田英树，植村卓典，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP