ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法技术

本发明专利技术属于机械加工切削刀具领域，特别是涉及一种ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法，该涂层采用非平衡磁控溅射和电弧镀的复合镀膜方法制备的ZrMoCN梯度涂层刀具，涂层刀具由内至外依次为刀具基体、Ti过渡层、ZrMoC过渡层以及氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层。该ZrMoCN超硬碳氮化合物涂层由于在涂层中同时增加了Zr、Mo等两种元素，且涂层结构成分氮含量梯度渐变，可提高刀具的综合使用性能。该涂层刀具具有很高的硬度和韧性，良好的抗氧化性能和摩擦磨损特性，并能阻止涂层裂纹的扩展。切削过程中该刀具可减小干切削过程中刀具与工件之间的摩擦和粘结，降低切削力和切削温度30％以上，提高涂层刀具抗氧化性能45％以上，延长刀具使用寿命和耐用度40％以上。

ZrMoCN gradient composite coating tool and its preparation method

The invention belongs to the field of machining tool, in particular to a ZrMoCN gradient composite coating tool and its preparation method, the coating using the nonequilibrium ZrMoCN gradient coating method of composite coating by magnetron sputtering and arc plating preparation, coating tools from the inside to the outside in the tool matrix, Ti layer, ZrMoC layer and the nitrogen content gradient of ZrMoCN gradient composite coating. The ZrMoCN superhard carbonitride coating can improve the comprehensive performance of the tool due to the addition of two elements such as Zr and Mo in the coating and the gradient of nitrogen content in the coating structure. The coated tool has high hardness and toughness, good oxidation resistance and friction and wear properties, and can prevent the crack propagation of the coating. In the cutting process, the tool can reduce the friction and bonding between the tool and the workpiece in the dry cutting process, reduce the cutting force and the cutting temperature more than 30%, improve the oxidation resistance of the coated tool more than 45%, prolong the service life and durability of the tool more than 40%.

【技术实现步骤摘要】
ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法
本专利技术属于机械制造金属切削刀具领域，特别是涉及一种ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法。
技术介绍
高速切削和干切削技术的发展，对刀具材料和刀具切削性能提出更高的要求，而对切削刀具进行涂层是提高其性能的重要途径。涂层刀具是在韧性较好的刀体上涂覆一层或多层耐磨性好的难熔化合物，它结合了基体高强度高韧性和涂层高硬度高耐磨性的优点，既可实现刀具的高速切割和耐磨性的改善，又可提高工件的加工精度和加工质量，是切削刀具研制的重要方向。目前工业发达国家的涂层刀具使用量已占刀具总数的80％以上，数控机床上所用的刀具90％以上是涂层刀具。TiCN是目前最广泛使用的三元碳氮化合物涂层，TiCN涂层由于兼具TiC的高硬度和TiN的良好韧性，显著提高了其摩擦磨损性能(JinlongLi,ShihongZhang,MingxiLi.InfluenceoftheC2H2flowrateongradientTiCNfilmsdepositedbymulti-arcionplating[J].AppliedSurfaceScience,2013(283):134-144.)，已广泛应用于铣削、攻牙、冲压、成型及滚齿的加工，在高速切削时比普通硬质合金刀具的耐磨性高5-8倍。中国专利“汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺”(专利号201510564738.5)利用Ti、氮气(N2)与乙炔气体(C2H2)在450℃沉积温度下合成了TiCN涂层铣刀，解决了26NiCrMov145材料转子加工难题。TiCN涂层虽然具有高硬度、低摩擦系数的优点，但同时因其热稳定性和红硬性较差，仅适合应用于低速切削或具有良好冷却条件的场合，需要对传统TiCN涂层结构和制备方法进行改进。目前，多元化是材料改善力学性能、耐蚀性和耐磨性的有效途径，通过制备多元复合涂层，既可提高涂层与基体的结合强度，又兼顾多种单涂层的综合性能，显著提高涂层刀具的性能。目前TiCN等碳氮化合物主要通过化学气相沉积技术(CVD)等技术制备，即通过TiCl4(或Ti靶)、CH4(或C2H2)以及N2等气体反应生成，沉积温度通常超过400-500℃，对基体产生不利影响，同时气体碳源容易对涂层设备造成污染，制约了其广泛应用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服目前现有碳氮化合物涂层刀具性能及制备方法的不足，结合多元复合涂层结构的优点提供一种ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法。该刀具采用非平衡磁控溅射+电弧镀的复合镀膜方法，直接采用ZrMoC复合靶提供碳源，且沉积温度控制在300℃以下，可在更为广泛的刀具或工具基体上制备。该涂层结构由基体到涂层表面依次为：Ti过渡层、ZrMoC过渡层以及氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层。涂层刀具表面为氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层，刀具基体与涂层间依次为Ti过渡层和ZrMoC过渡层。该梯度复合涂层刀具中的Zr元素对涂层起到固溶强化作用，提高了涂层的强度和抗磨损特性，Mo元素提高了涂层的硬度和强度，提高了涂层的红硬性，降低了涂层的摩擦系数，可显著提高刀具的切削寿命和加工效率。同时该多层梯度结构能够减缓涂层与基体之间的热膨胀系数和弹性模量差异，改善结构和性能上的匹配性，增大涂层与基体的结合力和涂层的耐冲击性能。本专利技术是通过以下方式实现的：本专利技术ZrMoCN梯度复合涂层刀具，刀具基体材料为高速钢、工具钢、模具钢、硬质合金、陶瓷或立方氮化硼中的一种，涂层刀具由内至外依次为刀具基体、Ti过渡层、ZrMoC过渡层以及氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层。本专利技术所述的ZrMoCN梯度复合涂层刀具的制备方法，沉积方式采用非平衡磁控溅射和电弧镀的复合镀膜方法，沉积时使用2个非平衡磁控溅射ZrMoC复合靶，2个电弧镀Ti靶，首先采用电弧镀沉积Ti过渡层，然后采用非平衡磁控溅射方法沉积ZrMoC过渡层和氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层，具体步骤如下：(1)前处理：将刀具基体表面抛光，去除表面油污、锈迹等杂质，然后依次放入酒精和丙酮中，超声清洗各30min，去除刀具表面油污和其它附着物，电吹风干燥充分后迅速放入镀膜机，抽真空至8.0×10-3Pa，加热至260℃，保温30～35min；(2)离子清洗：通Ar气，其压力为1.2Pa，开启偏压电源，电压700V，占空比0.3，辉光放电清洗30min；降低偏压至500V，占空比0.2，开启离子源离子清洗30min，开启电弧镀Ti靶电源，Ti靶电流60A，偏压300V，占空比0.2，离子轰击2～3min；(3)沉积Ti过渡层：Ar气压0.7～0.8Pa，偏压降至200V，Ti靶电流70A，沉积温度230℃，电弧镀Ti过渡层5～6min；(4)沉积ZrMoC过渡层：Ar气压0.7～0.8Pa，偏压调至170V，关闭电弧镀Ti靶电源，沉积温度200℃，开启非平衡磁控溅射ZrMoC靶电流25A，沉积ZrMoC过渡层5～6min；(5)沉积ZrMoCN梯度复合层：开启N2，N2气压为0.8Pa，Ar气压0.7～0.8Pa，偏压160V，ZrMoC靶电流30A，沉积温度210℃，沉积ZrMoCN复合层9～10min；其它参数不变，升高N2气压，N2气压每次升高0.1Pa，沉积ZrMoCN复合层9～10min，直至N2气压升至1.4Pa，再沉积ZrMoCN复合层9～10min；(6)后处理：关闭各电源、离子源及气体源，涂层结束。通过上述工艺制备的ZrMoCN梯度复合涂层刀具，刀具表面为氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层，刀具基体与涂层间依次为Ti过渡层和ZrMoC过渡层，以减小残余应力，增加涂层与刀具基体间的结合强度。该梯度复合涂层刀具中的Zr元素对涂层起到固溶强化作用，提高了涂层的强度和抗磨损特性，Mo元素提高了涂层的硬度和强度，提高了涂层的红硬性，降低了涂层的摩擦系数，并能阻止涂层裂纹的扩展，可改善传统碳氮化合物涂层刀具的物理机械性能。同时该多层梯度结构能够减缓涂层与基体之间的热膨胀系数和弹性模量差异，改善结构和性能上的匹配性，增大涂层与基体的结合力和涂层的耐冲击性能。该ZrMoCN梯度复合涂层刀具具有很高的硬度和韧性，良好的抗氧化性能和摩擦磨损特性，并能阻止涂层裂纹的扩展。切削过程中该刀具可减小干切削过程中刀具与工件之间的摩擦和粘结，降低切削力和切削温度30％以上，提高涂层刀具抗氧化性能45％以上，延长刀具使用寿命和耐用度40％以上，该ZrMoCN梯度复合涂层刀具可广泛应用于淬硬钢、铝合金等难加工材料的高速、高精密连续或断续切削加工。附图说明图1为本专利技术的ZrMoCN梯度复合涂层刀具的截面示意图；图中：1为刀具基体、2为Ti过渡层、3为ZrMoC过渡层、4为ZrMoCN梯度复合涂层。具体实施方式：下面给出本专利技术的二个最佳实施例：实施例一：本专利技术ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法，该刀具为普通的机夹车刀片，其基体材料为：硬质合金YW2，沉积方式采用非平衡磁控溅射+电弧镀的复合镀膜方法，沉积时使用2个非平衡磁控溅射ZrMoC复合靶，2个电弧镀Ti靶。首先采用电弧镀沉积Ti过渡层，然后采用非平衡磁控溅射方法沉积ZrMoC过渡层和氮含量梯度渐变本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ZrMoCN梯度复合涂层刀具，刀具基体材料为高速钢、工具钢、模具钢、硬质合金、陶瓷或立方氮化硼中的一种，其特征在于，涂层刀具由内至外依次为刀具基体、Ti过渡层、ZrMoC过渡层以及氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层。

【技术特征摘要】
1.一种ZrMoCN梯度复合涂层刀具，刀具基体材料为高速钢、工具钢、模具钢、硬质合金、陶瓷或立方氮化硼中的一种，其特征在于，涂层刀具由内至外依次为刀具基体、Ti过渡层、ZrMoC过渡层以及氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层。2.一种根据权利要求1所述的ZrMoCN梯度复合涂层刀具的制备方法，其特征在于，沉积方式采用非平衡磁控溅射和电弧镀的复合镀膜方法，沉积时使用2个非平衡磁控溅射ZrMoC复合靶，2个电弧镀Ti靶，首先采用电弧镀沉积Ti过渡层，然后采用非平衡磁控溅射方法沉积ZrMoC过渡层和氮含量梯度渐变的ZrMoCN梯度复合涂层，具体步骤如下：(1)前处理：将刀具基体表面抛光，去除表面油污、锈迹等杂质，然后依次放入酒精和丙酮中，超声清洗各30min，去除刀具表面油污和其它附着物，电吹风干燥充分后迅速放入镀膜机，抽真空至8.0×10-3Pa，加热至260℃，保温30～35min；(2)离子清洗：通Ar气，其压力为1.2Pa，开启偏压电源，电压700V，占空比0.3，辉光放电清...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋文龙，李小冬，王首军，张璇，
申请(专利权)人：济宁学院，
类型：发明
国别省市：山东,37