一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构制造技术

本发明专利技术公开一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。本发明专利技术还公开一种晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。本发明专利技术提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。

A wafer box truck and wafer box automatic positioning mechanism

The invention discloses a wafer box automatic positioning mechanism, including wafer tray rectangular, the material side of the tray is fixedly provided with a reference block, the other three sides of the wafer box tray are respectively provided with a linear guide, the linear guide rail is installed on the adjusting block, the adjusting block is arranged on the top of the adjusting block connection a, the adjusting block connected with a driving motor, the driving motor is connected with a drive. The invention also discloses a wafer cassette transport vehicle, including automatic guided vehicle, the automatic guided vehicle comprises a vehicle body and is positioned in the frame body, wherein the frame is installed on the wafer box lifting table, the material tray is fixed on the top of the lifting table wafer box. The wafer box truck and wafer box automatic positioning mechanism provided by the invention, the replacement of the wafer box can realize automatic positioning according to different die size.

【技术实现步骤摘要】
一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构
本专利技术涉及晶圆盒更换定位
，特别是涉及一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构。
技术介绍
晶圆是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，是芯片绑定生产的原材料之一，晶圆盒是用于承装晶圆的载体。芯片绑定机在生产过程中由于产品不同，经常需要切换机种，切换机种有时就需要更换晶圆尺寸，现有常用的晶圆尺寸有6英寸，8英寸，12英寸，每次切换晶圆尺寸的时候都需要手动调整晶圆台，操作步骤繁琐、费时费力且定位精度调整困难。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，以解决上述现有技术存在的问题，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：本专利技术提供一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述基准块上设置有标准尺，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。可选的，所述晶圆盒托盘包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧；所述晶圆盒托盘的第一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间安装有第一直线导轨；所述晶圆盒托盘的第四侧安装有第二直线导轨；所述第一直线导轨两端和所述第二直线导轨远离所述晶圆盒中心的一端分别安装有调整块。可选的，所述驱动电机为单出轴直线电机或双出轴直线电机。可选的，所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间设置有与所述第一直线导轨平行的双出轴直线电机，所述双出轴直线电机通过活动轴与所述第一直线导轨两端的调整块连接件连接；所述晶圆盒托盘的第四侧设置有与所述第二直线导轨平行的单出轴直线电机，所述单出轴直线电机通过活动轴与所述第二直线导轨一端的调整块连接件连接。可选的，所述调整块连接件固定于所述调整块上，且与所述晶圆盒托盘平行设置；所述调整块连接件两端设置有与所述晶圆盒托盘垂直的侧板，所述侧板端部与所述晶圆盒托盘滑动接触。可选的，所述晶圆盒托盘上开设有滑槽，所述滑槽位于所述晶圆盒托盘与所述侧板接触处。可选的，所述调整块连接件为矩形块状结构，所述调整块连接件侧壁设置有凸缘，所述凸缘上开设有螺纹孔，所述驱动电机通过所述凸缘的螺纹孔与所述调整块连接件固定连接。可选的，所述晶圆盒托盘上设置有感应器，所述感应器与所述驱动器连接。本专利技术还提供一种包含上述晶圆盒自动定位机构的晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部，即本专利技术提供的晶圆盒自动定位机构固定于所述晶圆升降台顶部。本专利技术提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构与现有技术相比，具有以下技术效果：本专利技术提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构将调整块安装在单出轴直线电机或双出轴直线电机驱动的移动装置上，通过直线导轨或者直线轴承进行导向，使用丝杆或者同步带进行传送，通过驱动器输出指定的值，即可完成调整块位置的调整，节省了切换机种的时间，杜绝了切换机种遗漏的可能性，更有利于实现工厂的无人化管理。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；图1为本专利技术晶元盒自动定位机构的晶元盒托盘结构示意图；图2为本专利技术晶元盒运输车结构示意图；图3为本专利技术传统晶元升降台结构示意图；附图标记说明：1为晶圆盒托盘、2为第一侧、3为第二侧、4为第三侧、5为第四侧、6为基准块、7为第一直线导轨、8为第二直线导轨、9为调整块、10为调整块连接件、11为双出轴直线电机、12为活动轴、13为单出轴直线电机、14为侧板、15为凸缘、16为自动引导运输车、17为车架、18为晶圆盒升降台、19为升降杆、20为线性模组、21为伺服电机。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的目的是提供一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，以解决上述现有技术存在的问题，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。本专利技术提供一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。本专利技术还提供一种包含上述晶圆盒自动定位机构的晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。本专利技术提供一种晶圆盒自动定位机构，如图1所示，晶圆盒自动定位机构包括晶圆盒托盘1，所述晶圆盒托盘1包括第一侧2、第二侧3、第三侧4和第四侧5；所述晶圆盒托盘1的第一侧2固定安装有基准块6，所述晶圆盒托盘1的第二侧3和所述晶圆盒托盘1的第三侧4之间安装有第一直线导轨7；所述晶圆盒托盘1的第四侧4安装有第二直线导轨8；所述第一直线导轨7两端和所述第二直线导轨8远离所述晶圆盒托盘1中心的一端分别安装有调整块9，所述调整块9顶端设置有调整块连接件10，所述晶圆盒托盘1的第二侧3和所述晶圆盒托盘1的第三侧4之间设置有与所述第一直线导轨7平行的双出轴直线电机11，所述双出轴直线电机11通过活动轴12与所述第一直线导轨7两端的调整块连接件10连接；所述晶圆盒托盘1的第四侧5设置有与所述第二直线导轨8平行的单出轴直线电机13，所述单出轴直线电机13通过活动轴12与所述第二直线导轨8一端的调整块连接件10连接。上述单出轴直线电机13的活动轴12在驱动器14的控制下，带动第二直线导轨8一端的调整块9沿着第二直线导轨8滑动，双出轴直线电机11的活动轴12位于双出轴直线电机11两端，在驱动器的控制下，分别同步带动第一直线导轨7两端的调整块9沿着第一直线导轨7滑动，进而实现对不同尺寸晶圆盒的自动定位。需要特别说明的是，本专利技术中的调整块9的驱动方式并不仅仅限于上述单出轴直线电机13和双出轴直线电机11，还可以使用丝杆或者同步带进行传送，通过驱动器14输出指定的值，即可完成调整块9位置的调整。进一步优选的，本专利技术所述调整块连接件10与所述晶圆盒托盘1平行设置；所述调整块连接件10两端设置有与所述晶圆盒托盘1垂直的侧板14，所述侧板14端部与所述晶圆盒托盘1滑动接触。所述晶圆盒托盘上开设有滑槽，所述滑槽位于所述晶圆盒托盘1与所述侧板14接触处。所述调整块连接件10为矩形块状结构，所述调整块连接件10侧壁设置有凸缘15，所述凸缘15上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆盒自动定位机构，其特征在于：包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒自动定位机构，其特征在于：包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。2.根据权利要求1所述的晶圆盒自动定位机构，其特征在于：所述晶圆盒托盘包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧；所述晶圆盒托盘的第一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间安装有第一直线导轨；所述晶圆盒托盘的第四侧安装有第二直线导轨；所述第一直线导轨两端和所述第二直线导轨远离所述晶圆盒中心的一端分别安装有调整块。3.根据权利要求2所述的晶圆盒自动定位机构，其特征在于：所述驱动电机为单出轴直线电机或双出轴直线电机。4.根据权利要求3所述的晶圆盒自动定位机构，其特征在于：所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间设置有与所述第一直线导轨平行的双出轴直线电机，所述双出轴直线电机通过活动轴与所述第一直线导轨两端的调整块连接件连接；所述晶圆盒托盘的第四侧设置有与所述第二直线导轨平行...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘治松，孙萌，王东明，于国庆，
申请(专利权)人：大连佳峰自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21