成膜装置及成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供成膜装置及成膜方法。对工件的一部分进行成膜的成膜装置，具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具配置于工件的上方，具备从工件的成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部，所述第二模具与第一模具对向而配置于工件的下方，在与第一平面部对应的部分具备第二平面部；第一密封部件，配置于第一平面部与工件之间，在使工件从第一平面部分离的状态下与第一平面部及工件接触；及第二密封部件，配置于第二平面部与工件之间，在使工件从第二平面部分离的状态下与第二平面部及工件接触。第二密封部件设置于工件的下表面。

Film forming device and film forming method

The invention provides a film forming device and a film forming method. A part of the workpiece through the film forming device, the film has a film container, having first and second molds, above the first mold is arranged on the workpiece, available from the first plane around the membrane part of the first concave part and the object of observation to the configuration above the depression in the first concave part into the workpiece below the second, and the first to die mold arranged on the workpiece, with second on the plane part corresponding to the first plane part; the first sealing member is disposed between the first planar portion and the workpiece, the workpiece from the first plane of separation with the first planar portion and workpiece contact; and two sealing member is arranged between the second plane and the workpiece, the workpiece in the plane from the second part from the State Department and the second plane and workpiece contact. The second sealing component is arranged on the lower surface of the workpiece.

【技术实现步骤摘要】
成膜装置及成膜方法本申请要求基于2016年4月25日提出的No.2016-086810的日本专利申请的优先权，通过参照而将其公开的全部内容引入本申请。
本专利技术涉及成膜装置及成膜方法。
技术介绍
作为对工件进行成膜的装置，在日本特开2009-62579号公报中记载了通过上下一分为二的成膜容器夹住工件，使气体填充于成膜容器来进行成膜的装置。在通过成膜容器夹住工件的情况下，可考虑在成膜容器与工件之间设置密封部件来保持成膜容器内的气密。但是，例如在成膜容器的上模及下模设置密封部件的情况下，出现了由于成膜容器的开闭动作、向成膜容器内运出工件的动作、向成膜容器外运出工件的动作而导致通过成膜产生的成膜容器内的异物落下并附着于在下模安装的密封部件的情况。在这样的情况下，在成膜容器关闭的状态下无法保持成膜容器内的气密，可能会发生成膜不良。因此，希望有一种在成膜容器与工件之间设置密封部件而进行成膜的情况下能够抑制成膜不良的技术。
技术实现思路
用于解决课题的手段本专利技术是为了解决上述的课题而完成的，能够作为以下的方案来实现。(1)根据本专利技术的一方案，提供一种对工件的一部分进行成膜的成膜装置。该成膜装置具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具配置于所述工件的上方，具备从所述工件的成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于所述第一凹陷部的周围的第一平面部，所述第二模具与所述第一模具对向而配置于所述工件的下方，在与所述第一平面部对应的部分具备第二平面部；第一密封部件，配置于所述第一平面部与所述工件之间，在使所述工件从所述第一平面部分离的状态下与所述第一平面部及所述工件接触；及第二密封部件，配置于所述第二平面部与所述工件之间，在使所述工件从所述第二平面部分离的状态下与所述第二平面部及所述工件接触，所述第二密封部件设置于所述工件的下表面。根据这样的成膜装置，由于第二密封部件设置于工件的下表面，所以即使在异物向下方落下了的情况下，也能够抑制其附着于第二密封部件。因此，在成膜容器关闭了的状态下能够保持成膜容器内的气密，所以能够抑制成膜不良。(2)在上述方案的成膜装置中，可以是，所述第一密封部件设置于所述第一平面部。根据这样的成膜装置，由于第一密封部件设置于在工件的上方配置的第一模具的第一平面部，所以即使在异物向下方落下了的情况下，也能够抑制其附着于第一密封部件。因此，在成膜容器关闭的状态下能够保持成膜容器内的气密，所以能够抑制成膜不良。另外，由于第一密封部件设置于第一平面部，所以在通过成膜装置对多个工件进行成膜的情况下，可以不对多个工件分别设置第一密封部件，所以能够减少第一密封部件的数量。(3)在上述方案的成膜装置中，可以是，所述第二密封部件的线径比所述第一密封部件的线径大。根据这样的成膜装置，由于第二密封部件的线径比第一密封部件的线径大，所以在成膜容器关闭的状态下，能够使第二密封部件与第二平面部之间的接触面积比第一密封部件与第一平面部之间或第一密封部件与工件之间的接触面积大。因此，即使在成膜容器内的异物向第二模具落下并附着于第二密封部件的情况下，也能够通过第二密封部件中没有附着异物的部位来使第二模具的第二平面部与第二密封部件接触。因此，在成膜容器关闭的状态下能够保持成膜容器内的气密，所以能够有效地抑制成膜不良。(4)根据本专利技术的另一方案，提供一种通过成膜装置对工件的一部分进行成膜的成膜方法。在该成膜方法中，所述成膜装置具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具配置于所述工件的上方，具备从所述工件的被成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于所述第一凹陷部的周围的第一平面部，所述第二模具与所述第一模具对向而配置于所述工件的下方，在与所述第一平面部对应的部分具备第二平面部；第一密封部件，配置于所述第一平面部与所述工件之间，在使所述工件从所述第一平面部分离的状态下与所述工件接触；及第二密封部件，配置于所述第二平面部与所述工件之间，在使所述工件从所述第二平面部分离的状态下与所述工件接触，所述第二密封部件设置于所述工件的下表面，所述成膜方法具备：工序(a)，从所述第一模具及所述工件与所述第一密封部件接触且所述第二模具及所述工件与所述第二密封部件接触的状态起，使所述第一模具相对于所述工件相对地向上方移动；和工序(b)，在所述工序(a)开始之后使所述工件相对于所述第二模具相对地向上方移动。根据这样的成膜方法，由于在使第一模具从工件相对地向上方移动之后，使工件从第二模具相对地向上方移动，所以在直到设置于工件的下表面的第二密封部件与第二平面部分离为止的期间，能够抑制由第二模具和工件形成的空间外的异物侵入第二模具与工件之间。因此，在成膜容器关闭的状态下，能够保持成膜容器内的气密，所以能够抑制成膜不良。另外，由于第二密封部件设置于工件的下表面，所以通过使工件相对于第二模具相对地向上方移动，即使在异物向下方落下了的情况下，也能够抑制异物附着于第二密封部件，能够抑制成膜不良。(5)在上述方案的成膜方法中，可以是，所述工序(b)在所述工序(a)中停止了所述第一模具的移动之后进行。根据这样的成膜方法，即使在由于使第一模具从工件相对地向上方移动时的振动而导致异物落下了的情况下，也能在直到设置于工件的下表面的第二密封部件与第二平面部分离为止，抑制异物侵入第二模具与工件之间。因此，能够进一步抑制异物附着于第二密封部件，所以在成膜容器关闭的状态下能够进一步保持成膜容器内的气密，能够进一步抑制成膜不良。(6)在上述方案的成膜方法中，可以还具备：工序(c)，在所述工序(b)之后，将所述工件向所述成膜容器外运送；和工序(d)，在所述工序(c)之后，将在运送到所述成膜容器外的所述工件的下表面设置的所述第二密封部件净化。根据这样的成膜方法，即使在设置于工件的第二密封部件附着有异物的情况下，由于向成膜容器的外部运送工件而净化第二密封部件，所以也能够在成膜容器的外部从第二密封部件除去异物。因此，即使在将第二密封部件再利用而进行成膜的情况下，也能够在成膜容器关闭了的状态下保持成膜容器内的气密，所以能够抑制成膜不良。本专利技术也可以以上述的成膜装置及成膜方法以外的各种方案来实现。例如，可以以成膜装置的控制方法及控制装置、成膜装置中的工件的运送方法、用于实现这些装置或者方法的功能的计算机程序、记录有该计算机程序的记录介质等方案来实现。附图说明图1是示出本专利技术的第一实施方式中的成膜装置的结构的概略剖视图。图2是成膜装置的分解立体图。图3是成膜装置的局部放大图。图4是示出成膜装置的成膜方法的工序图。图5是示出使第一模具相对于工件相对地向上方移动的样态的图。图6是示出使工件相对于第二模具相对地向上方移动的样态的图。图7是示出第一实施方式的变形例1中的成膜装置的图。图8是示出第一实施方式的变形例2中的成膜装置的图。图9是示出第二实施方式中的成膜装置的结构的概略剖视图。图10是示出第三实施方式中的成膜方法的工序图。图11是局部地示出第四实施方式中的成膜装置的结构的局部概略剖视图。具体实施方式A.第一实施方式：A1.成膜装置的结构：图1是示出本专利技术的第一实施方式中的成膜装置200的结构的概略剖视图。图2是成膜装置200的分解立体图。在图1及图2中图示了相互正交的XYZ本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置，对工件的一部分进行成膜，其中，具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具配置于所述工件的上方，具备从所述工件的成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于所述第一凹陷部的周围的第一平面部，所述第二模具与所述第一模具对向而配置于所述工件的下方，在与所述第一平面部对应的部分具备第二平面部；第一密封部件，配置于所述第一平面部与所述工件之间，在使所述工件从所述第一平面部分离的状态下与所述第一平面部及所述工件接触；及第二密封部件，配置于所述第二平面部与所述工件之间，在使所述工件从所述第二平面部分离的状态下与所述第二平面部及所述工件接触，所述第二密封部件设置于所述工件的下表面。

【技术特征摘要】
2016.04.25 JP 2016-0868101.一种成膜装置，对工件的一部分进行成膜，其中，具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具配置于所述工件的上方，具备从所述工件的成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于所述第一凹陷部的周围的第一平面部，所述第二模具与所述第一模具对向而配置于所述工件的下方，在与所述第一平面部对应的部分具备第二平面部；第一密封部件，配置于所述第一平面部与所述工件之间，在使所述工件从所述第一平面部分离的状态下与所述第一平面部及所述工件接触；及第二密封部件，配置于所述第二平面部与所述工件之间，在使所述工件从所述第二平面部分离的状态下与所述第二平面部及所述工件接触，所述第二密封部件设置于所述工件的下表面。2.根据权利要求1所述的成膜装置，所述第一密封部件设置于所述第一平面部。3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，所述第二密封部件的线径比所述第一密封部件的线径大。4.一种成膜方法，通过成膜装置对工件的一部分进行成膜，其中，所述成膜装置具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具配置于所述工件的上方，具备从所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭塚和孝，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP