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溅射太阳能选择性吸收涂层及其制造方法技术

技术编号:1647533 阅读:138 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种溅射太阳能选择性吸收涂层,由底层和面层构成。所说的底层由活化金属层构成;所说的面层由铝/氧/氮复合层构成。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
溅射太阳能选择性吸收涂层及其制造方法本专利技术涉及一种溅射太阳能选择性吸收涂层,特别是该涂层的制造方法。太阳能为人类可无偿利用的不尽能源之一,太阳能选择性吸收涂层则为太阳光—热能转换装置的核心元素。然而,已有的太阳能选择性吸收涂层,要不转换效率不高,抑或机械强度较低,而影响其使用范围;抑或制造工艺偏繁,而不利于推广。本专利技术的目的有于克服上述现有技术中的不足之处,提供一种光—热能转换效率较高,机械强度较大且制造工艺相对较简的太阳能选择性吸收涂层,特别是该涂层的制造方法。这种太阳能选择性吸收涂层,自内向外,依次由活化金属、铝/氧/氮复合层构成。其所以具备较高的转换效率,较大的机械强度及较简的制造工艺,至于创新的设计有活化金属层由偏压溅镀完成,铝/氧/氮复合层由磁控溅镀完成。本专利技术将结合实施例做进一步说明:1.使欲溅射太阳能选择性吸收涂层的金属基材(简称基材),连续通过环境参数为阴极电流密度1mA/cm2,氩气压力10Pa,偏压3000V的溅射空间,其历时可调。2.前述处理后之基材,连续通过环境参数为阴极电流密度100mA/cm2,空气分压0.2Pa,氩气分压0.2Pa,放电电压1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种溅射太阳能选择性吸收涂层。其特征在于:所言之涂层由底怪和面层构成;所言之底层,活化金属层构成;所言之面层,由铝/氧/氮复合层构成。

【技术特征摘要】
1.一种溅射太阳能选择性吸收涂层。其特征在于:所言之涂层由底怪和面层构成;所言之底层,活化金属层构成;所言之面层,由铝/氧/氮复合层构成。2...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴中敏
申请(专利权)人:吴中敏
类型:发明
国别省市:34[中国|安徽]

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