一种用于光通信的多腔膜系的窄带滤光片制造技术

本发明专利技术涉及一种用于光通信的多腔膜系的窄带滤光片。在光学玻璃表面镀上n个相同的单腔叠加的多腔膜系，每个单腔是由11层由高折射率材料和低折射率材料交替组合的膜层构成，单腔的中间一层是隔离层。本发明专利技术中，叠加的单腔的个数n=5-9.本发明专利技术的通带宽度窄，通带透过率高，产品良率高。

A narrow band filter for multi cavity film system used in optical communication

The present invention relates to a narrow band filter for a multi cavity film system for optical communications. In the optical glass coated N film of the same multi cavity single cavity superposition, each single cavity is composed of 11 layers of the material of high refractive index and low refractive index materials alternately combined layer, the middle layer is a single cavity isolation layer. In the invention, the number of the overlapped single cavities n=5-9. is narrow, the passband transmittance is high, and the product has high yield.

【技术实现步骤摘要】
一种用于光通信的多腔膜系的窄带滤光片
本专利技术属于光通信器件范畴。
技术介绍
以光通讯为基础和重要支撑的信息技术产业是战略性新兴产业，对国民经济和社会发展起着重要作用。其中，下一代信息网络工程，即综合利用各类宽带技术，构筑较为完善的多层次、立体化、全覆盖的信息网络，是建设“智能型社会”的重要内容。为此，实施“光纤到户”工程，大力发展多种模式的光纤宽带接入，加快光网络智能化改造，是大势所趋。光波分复用通信（WDM）是一种新发展起来的光纤通信中的高新技术，由于其具有的特点和优点，因而发展迅速，特别是通过上世纪80年代的努力，器件的制造和在通信上的应用都已达到相当高的水平。多层薄膜干涉滤光片，即滤波器型器件，是无源WDM器件中的一种主要结构。WDM技术在通信中的应用从上世纪80年代初开始就有了不少的实验报导，至今应用水平不断提高，从最初的点-点复用到各种光纤网络的应用，主要包括干线和中继网，用户接入网以及宽带网络交换几个方面。今后，WDM技术在通信中的应用有良好的前景，主要由以下几个方面：（1）干线和中继网的应用。波分多路光纤通信在长途干线传输中可以充分发掘利用光纤潜在的传输容量，复用信道数不一定太多（10个以下），WDM光纤通信将成为新一代光纤通信系统的有一个重要标志。（2）用户接入网络中的应用。WDM最重要的应用领域之一就是光纤用户接入网。（3）宽带网络交换系统中的应用。高速光交换技术将是未来通信网中的一个重要方面，其中之一便是波分光交换，利用它可以发展无阻塞的交换网络和光分组交换系统。由上可见WDM技术在通信中的应用是十分重要而有前途的。在WDM技术中，允许特定波长范围的光通过而将其他波长的光截止的滤光片在光通讯器件中起着不可替代的作用。光通讯技术的发展要求滤光片向更高精度方向发展，要求通过/截止的波长区间越来越窄，通过的波长范围越来越小。目前，WDM技术中，1490nm的窄带滤光片应用正在日益增多。该滤光片要求：（1）1480-1500nm波长的光透过，要求透过率T＞93.32%即插入损耗<-0.3dB；（2）1260-1360nm和1545-1660nm范围内的光截止，要求透过率T<0.01%即隔离度＞-40dB。该滤光片因为通带波长范围窄，通带透过率高、截止区透过率低，难度高，产品良率低。本专利技术旨在解决1490nm窄带滤光片现有技术的因为通带波长范围窄，通带透过率高、截止区透过率低，导致的难度高、产品良率低的问题。
技术实现思路
本专利技术提出一种多腔窄带叠加的膜层结构的滤光片，能够很好地实现本专利技术的宗旨。具体方案是：膜层由组成表示为HLHLH2LHLHLH（其中：H代表高折射率材料。L代表低折射率材料）的11层膜为一个腔，再将n个相同的这样的腔叠加构成所需的膜层。通过n个11层的（HLHLH2LHLHLH）腔叠加来提高透过率，增加截止隔离度。本专利技术中，叠加的单腔的个数n=5-9，最佳的是n=7.本专利技术中的高折射率材料为Ti3O5，其折射率为2.3。也可以使用五氧化二钽，其折射率2.1。本专利技术中的低折射率材料为SiO2，其折射率为1.46。具体膜层组合及厚度见下表表一、膜层组合及厚度采用本专利技术的膜层结构，可以很好地控制带通宽度，提高产品良率。【附图说明】图1是本专利技术的1490nm窄带滤光片的多腔膜系结构示意图，图2是11层膜的单腔膜系的滤光片的光谱曲线，图3是7个单腔叠加的多腔膜系的滤光片的光谱曲线。图中1————滤光片基体玻璃2————滤光片膜层外表面3————11层膜构成的单腔4————与3相同的单腔5————7个完全相同的单腔叠加的多腔【具体实施方式】下面举例说明本专利技术的实施方式。实施例先将玻璃基片裁成适合镀膜的50*50mm的小片，将小片洗净烘干，在镀膜机中，按照表一的膜层组合及厚度要求，分别镀上相应的膜层，即得到本专利技术的1490nm的窄带滤光片。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光通信的窄带滤光片，在光学玻璃表面镀上多层薄膜，其特征是：膜层由组成表示为HLHLH 2L HLHLH（其中：H代表高折射率材料为Ti3O5,L代表低折射率材料为SiO2）的11层膜为一个腔，再将n个相同的这样的腔叠加构成所需的膜层。

【技术特征摘要】
1.一种用于光通信的窄带滤光片，在光学玻璃表面镀上多层薄膜，其特征是：膜层由组成表示为HLHLH2LHLHLH（其中：H代表高折射率材料为Ti3O5,L代表低折射率材料为SiO2）的11层膜为一个腔，再将n个相同的这样的腔叠加构成所需的膜层。2.如权利要求1所述的窄带滤光片，其特征是：所述的n=5-...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯国平，
申请(专利权)人：深圳市楠轩光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44