一种基于表面等离激元的光谱成像微滤光片制造技术

一种基于表面等离激元的光谱成像微滤光片。所述微滤光片是在石英、硅片、柔性介质衬底上制备周期性微纳结构。利用光与周期性微纳结构相互作用产生的表面等离激元共振效应，实现光与表面等离激元之间能量转换，完成对光的操控与调制，达到窄带滤波的目的。表面等离激元滤波单元与CCD探测器成像单元一一匹配，可以实现多通道直接光谱成像。该微滤光片具有集成度高、质量轻、可靠性高等优点，在可穿戴设备、纳米集成光路、无人机大范围扫描的光谱应用等领域，具有很高的实用价值。

A spectral imaging micro filter based on surface plasmon polaritons

A spectral imaging micro filter based on surface plasmon polaritons. The micro optical film is used to prepare periodic micro nano structure on quartz, silicon wafer and flexible dielectric substrate. The use of micro nano structure produced by the interaction of light with the periodicity of the surface plasmon resonance effect, optical and surface plasmon polaritons of energy conversion between control and modulation of light, to achieve the purpose of narrowband filter. Multi channel direct spectrum imaging can be realized by matching the surface plasmon filter unit with the CCD detector imaging unit. It has high integration, light weight and high reliability. It has high practical value in the fields of wearable devices, nano integrated optical path and spectrum application of large range scanning of unmanned aerial vehicle.

【技术实现步骤摘要】
一种基于表面等离激元的光谱成像微滤光片
本技术涉及表面等离激元技术、光学微器件制备、纳米光子学及遥感探测领域，特别涉及一种基于表面等离激元的多通道光谱成像技术，具体地讲，涉及一种利用不同工作波长的表面等离激元进行多通道窄带滤波的光谱成像。
技术介绍
不同于传统黑白或者RGB三色成像，光谱成像可以从光谱维度上获得若干个任意通道。光谱成像滤光片和CCD探测器结合，不仅有图像的信息，并且可以获得图像上每个像素点的光谱数据，丰富了检测结果。目前，常见的光谱成像技术包括，光栅分光、声光可调谐滤波分光、棱镜分光和芯片镀膜等。但是，光栅分光、声光可调谐滤波分光和棱镜分光的方案，制造相当复杂，并且结构尺寸较大，不便于光电子器件大规模集成。芯片镀膜光谱成像技术具有微小尺寸，集成度高，需要利用半导体工艺进行制备。欧洲微电子研究中心（IMEC）利用高灵敏CCD芯片及SCMOS芯片，开发了一种高光谱成像技术。具体地讲，他们在CCD探测器的像元上分别镀上不同工作波长的滤波膜，于是不同的像元会接收到不同波长的光谱信息，实现光谱成像。这种光谱成像方式不需要额外的附件，降低了光谱成像设备的体积和成本。目前，IMEC本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于表面等离激元的光谱成像微滤光片，其特征在于：包括表面等离激元和衬底，表面等离激元制备在衬底上。

【技术特征摘要】
1.一种基于表面等离激元的光谱成像微滤光片，其特征在于：包括表面等离激元和衬底，表面等离激元制备在衬底上。2.根据权利要求1所述的光谱成像微滤光片，其特征在于：所述表面等离激元与CCD探测器成像单元相匹配，或者表面等离激元直接加工在CCD成像单元像素上。3.根据权利要求1所述的光谱成像微滤光片，其特征在于：所述表面等离激元包括多个表面等离激元功能单元，表面等离激元功能单元与表面等离激元功能单元之间由金...

【专利技术属性】
技术研发人员：田颖，
申请(专利权)人：湖南宏动光电有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南,43