一种产生短波长深紫外激光的装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种产生短波长深紫外激光的装置，包括：泵浦源、第一激光变频系统、第二激光变频系统、分束镜、倍频系统以及和频系统，所述泵浦源发射的激光经过所述第一激光变频系统后，得到第一预设频率的第一激光源；所述第一激光源发射的激光经所述分束镜后，分束成频率相等的第一激光和第二激光；所述第一激光经过倍频系统的2倍频后射入所述第二激光变频系统，得到第二预设频率的第二激光源；所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第二激光在所述真空和频系统中和频或所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第一激光在所述倍频系统的2倍频后在真空中和频，得到调频范围较宽的深紫外激光。

A device for generating short wave long deep ultraviolet laser

The present invention provides a device for generating short wavelength deep ultraviolet laser comprises a pumping source, the first laser frequency conversion system, second laser frequency conversion system, beam splitter, and the frequency doubling system and frequency system, the pump source laser emitted by the first laser frequency conversion system, the first laser source first preset frequency the laser; the first laser emission through the beam splitter, beam first laser and a second laser Chengpin rate equal; the first laser after 2 octave frequency doubling system after the second incident laser frequency conversion system, second laser source second preset frequency; the second laser emission source the laser frequency doubling after 4 the system, and the second laser in the vacuum system and the frequency and frequency of the laser or second laser source emission through the frequency doubling system 4 After the frequency doubling, the laser is neutralized in frequency with the first laser in the frequency doubling system, and the wide frequency range laser with wide frequency modulation range is obtained in the vacuum neutralization frequency of the 2 laser.

【技术实现步骤摘要】
一种产生短波长深紫外激光的装置
本专利技术涉及全固态激光变频领域，更具体地，涉及一种产生短波长深紫外激光的装置。
技术介绍
全固态深紫外(DUV-DPL)相干光源，尤其是波长可调谐的脉冲深紫外激光在现代生物技术、材料加工、超快光谱分析和强场物理等领域有广泛的应用前景。目前，近红外波段的脉冲激光主要利用脉冲泵浦块状晶体或光纤增益介质，或者在腔内进行调Q或锁模来获得，而紫外波段的脉冲由于受增益介质激发光谱的限制，还没有办法直接产生。基于非线性晶体材料二阶非线性效应，对可调谐的脉冲可见光和近红外光进行多级非线性频率变换仍然是当前获得紫外、深紫外相干光源的常用方法。现有技术中，获得DUV-DPL有2种技术路线：一是直接倍频技术；二是和频技术。在直接倍频技术方面，氟代硼铍酸钾KBBF晶体及其同族的氟代硼铍酸铷RBBF晶体是目前唯一可直接倍频产生深紫外激光的非线性晶体，已有大量直接倍频获得可调谐波长的研究结果被报道，获得最短的波长输出为165nm；在和频技术方面，目前，已有研究利用钛宝石基频光与其四次谐波和频获得了156-160nm和149.8-158.1nm的5倍频深紫外激光输出。但是，现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种产生短波长深紫外激光的装置，其特征在于，包括：泵浦源、第一激光变频系统、第二激光变频系统、分束镜、倍频系统以及真空和频系统，其中，所述泵浦源发射的激光经过所述第一激光变频系统后，得到第一预设频率的第一激光源；所述第一激光源发射的激光经所述分束镜后，分束成频率相等的第一激光和第二激光；所述第一激光经过倍频系统的2倍倍频后射入所述第二激光变频系统，得到第二预设频率的第二激光源；所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第二激光在所述真空和频系统中和频，或所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第一激光在所述倍频系统的2倍频后在真空中和频，得到需要的深紫外激光。

【技术特征摘要】
1.一种产生短波长深紫外激光的装置，其特征在于，包括：泵浦源、第一激光变频系统、第二激光变频系统、分束镜、倍频系统以及真空和频系统，其中，所述泵浦源发射的激光经过所述第一激光变频系统后，得到第一预设频率的第一激光源；所述第一激光源发射的激光经所述分束镜后，分束成频率相等的第一激光和第二激光；所述第一激光经过倍频系统的2倍倍频后射入所述第二激光变频系统，得到第二预设频率的第二激光源；所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第二激光在所述真空和频系统中和频，或所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第一激光在所述倍频系统的2倍频后在真空中和频，得到需要的深紫外激光。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一激光变频系统包括：两块谐振腔镜和激光晶体，其中，所述激光晶体为Nd3+激光晶体，靠近所述泵浦源的一块谐振腔镜镀有对所述泵浦源发射的激光高透过率的介质膜，以及对所述第一预设频率高反射率的介质膜，远离所述泵浦源的另一块谐振腔镜镀有对所述第一预设频率的激光耦合输出率的介质膜。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一激光变频系统还包括：调Q装置或锁模装置，所述调Q装置或锁模装置用于获得脉宽不同量级的脉冲激光，其中，包括纳秒量级脉冲激光、皮秒量级脉冲激光以及飞秒量级脉冲激光。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，当产生的脉冲激光为皮秒量级脉冲激光或飞秒量级脉冲激光时，所述装置还包括：延时设备，包括4块反射镜，每一块反射镜镀有45°的高反射介质膜，所述高反射介质膜的反射频率与入射激光的频率相等，第一反射镜接收到入射激光后将激光90°反射至第二反射镜；所述第二反射镜接收到所述第一反射镜反射的激光后，将激光90°反射至第三反射镜；所述第三反射镜接收到所述第二反射镜反射的激光后，将激光90°反射至第四反射镜；所述第四反射镜接收到所述第三反射镜反射的激光后，将激光90°反射至所述和频系统；通过调节所述第二反射镜和第一反...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗楠，李玉娇，王志敏，张申金，杨峰，张丰丰，彭钦军，许祖彦，薄勇，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11