一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置，包括外壳、Z向驱动、X向驱动，所述Z向驱动通过螺钉与X向驱动连接，形成串联机构；Z向驱动、X向驱动的驱动方式采用压电驱动器，Z向驱动、X向驱动的导向方式采用气浮导轨导向，金刚石刀具安装在Z向驱动上，实现了金刚石刀具在X、Z方向上的高频直线式往返伺服运动。因非接触式驱动，使得整个装置寿命长，同时具有高运动精度。

A two DOF linear servo device based on Aerostatic slideway knife

The invention discloses a two DOF linear servo device based on a floating guide, including shell, Z, X to drive to drive the Z to drive through the screws and X to drive connection, form serial mechanism; Z driving and X driving mode with piezoelectric actuator, Z to drive, X to guide driven air flotation guide rail mounted to drive on the diamond tool in Z, the diamond tool in X, Z direction high frequency linear servo motor trip. Because of non-contact driving, the whole device has long service life and high motion precision.

【技术实现步骤摘要】
一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置
本专利技术属于超精密车削以及光学精密零件车削加工等
，涉及一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置。
技术介绍
光学自由曲面是指没有任何回转对称轴的光学曲面。它突破了传统光学成像的概念，将复杂的自由曲面组合成光学系统，优化了产品的结构与性能，光学自由曲面具有改善光学性能、实现结构轻量化等显著优点。不仅在航天、航空、国防等诸多工业领域有着重要的应用，而且在其它消费和工业领域也具有极其广泛的应用，例如汽车、移动电话、图像处理、数字相机等领域。现有的光学自由曲面创成方法主要包括：复制成型、铣磨/研磨/抛光，基于快速刀具(FTS)或者慢拖板伺服的金刚石车削。其中，基于FTS的金刚石车削被国际认为是一种最有发展的前途的光学自由曲面创成方法。中国专利(申请号：CN201420397286.7)提出了一种两轴解耦的快速刀具伺服装置，采用并联驱动柔性机构的方式。金刚石刀具通过螺钉与柔性铰链基体上的刀座固定连接，X轴压电叠堆的两端分别与柔性铰链基体和X轴驱动端相连接，该X轴压电叠堆通过预紧螺栓一与该柔性铰链基体连接，Z轴压电叠堆一、Z轴压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置，其特征在于：包括外壳(1)、Z向驱动(2)、X向驱动(3)；所述Z向驱动(2)、X向驱动(3)位于外壳(1)内部；所述外壳(1)包括盖板(1.0)、左板(1.1)、前板(1.2)、后板(1.3)、右板(1.4)、窗口(1.40)；所述左板(1.1)、右板(1.4)分别通过螺钉连接在X向驱动(3)的左右两侧；所述前板(1.2)、后板(1.3)分别通过螺钉连接在X向驱动(3)的前后两侧；所述盖板(1.0)位于左板(1.1)、前板(1.2)、后板(1.3)、右板(1.4)之上，通过螺钉与左板(1.1)、前板(1.2)、后板(1.3)、右板(1.4)连接；...

【技术特征摘要】
1.一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置，其特征在于：包括外壳(1)、Z向驱动(2)、X向驱动(3)；所述Z向驱动(2)、X向驱动(3)位于外壳(1)内部；所述外壳(1)包括盖板(1.0)、左板(1.1)、前板(1.2)、后板(1.3)、右板(1.4)、窗口(1.40)；所述左板(1.1)、右板(1.4)分别通过螺钉连接在X向驱动(3)的左右两侧；所述前板(1.2)、后板(1.3)分别通过螺钉连接在X向驱动(3)的前后两侧；所述盖板(1.0)位于左板(1.1)、前板(1.2)、后板(1.3)、右板(1.4)之上，通过螺钉与左板(1.1)、前板(1.2)、后板(1.3)、右板(1.4)连接；所述窗口(1.40)位于右板(1.4)上；所述Z向驱动(2)通过螺钉连接在X向驱动(3)上，形成串联机构；所述Z向驱动(2)包括Z向底板(2.10)、Z向气浮定轨(2.11)、Z向压电驱动器(2.12)、Z向气浮动轨(2.13)、第一连杆(2.14)、Z向连接块缺口(2.15)、Z向电容传感器(2.16)、Z向锁紧环(2.17)、Z向传感器支撑板(2.18)、第二连杆(2.19)、刀架(2.20)、金刚石刀具(2.21)、Z向气孔(2.22)、Z向连接块(2.23)、Z向连接轴(2.24)、Z向连接套筒(2.25)、Z向驱动器支撑板(2.26)；所述Z向气浮定轨(2.11)左右分布在Z向底板(2.10)上，通过螺钉连接；所述Z向气浮动轨(2.13)位于Z向气浮定轨(2.11)上；所述Z向气孔(2.22)分布在Z向气浮动轨(2.13)侧面上；所述第一连杆(2.14)、第二连杆(2.19)通过螺钉将左右分布的Z向气浮动轨(2.13)连接起来；所述刀架(2.20)位于第二连杆(2.19)中间，并通过螺钉连接固定；所述金刚石刀具(2.21)通过螺钉固定在刀架(2.20)上；所述Z向传感器支撑板(2.18)位于两Z向气浮动轨(2.13)中间，通过螺钉与Z向底板(2.10)连接；所述Z向电容传感器(2.16)，通过前后两个Z向锁紧环(2.17)固定在Z向传感器支撑板(2.18)上；所述Z向连接块(2.23)位于第一连杆(2.14)中间，通过螺钉连接固定；所述Z向驱动器支撑板(2.26)通过螺钉连接在...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐爱群，吴礼琼，廖胜凯，于海阔，
申请(专利权)人：浙江科技学院，徐爱群，
类型：发明
国别省市：浙江,33