The utility model discloses a fetching car comprises a frame and a supporting frame for storing the rods, wherein the frame is provided with a driving component drives the lifting support frame, wherein the drive guide assembly includes a seat body and arranged on the seat body, the supporting frame seat toward the side end surface is provided with with the guide groove, the guide rail extending along the length direction of the support frame, wherein the seat body is also provided with a gear and a driving motor driving gear to rotate, and the supporting frame toward the seat body side are arranged on the end surface of the gear and rack, the rack is fixed to the rack and support frame along the length direction of the support frame, the utility model is to provide a fetching car, keep the original function under the premise of reducing cost, easy popularization.
【技术实现步骤摘要】
取晶车
本技术涉及单晶制造辅助设备,特别涉及一种取晶车。
技术介绍
单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶,所谓拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化,再用子晶向上拉引,慢慢形成一个长筒状的单晶棒,在单晶棒从单拉晶炉中出来的时候需要采用取晶车进行接送。取晶车通常包括车架,在车架上会设置有接收晶棒的支撑架,所述支撑架呈长条状设置,在支撑架的底部设置有用于定位晶棒的支撑座,所述支撑架整体可以沿车架从平行于车架的方向旋转至垂直于车架方向,在支撑架垂直于车架的时候,所述车架上还设置有用于推动支撑架在垂直方向上升降的升降机构,在支撑架上升至与拉晶炉高度相仿处将晶棒承接住后,支撑架再退回至原位,在旋转至与车架平行的状态,通过外部的液压机械手将晶棒从支撑架内取出。如申请号为201520065572.8公开的一种晶棒装卸车,该专利中记载了晶棒框通过滚珠丝杠的方式进行动力传动,滚珠丝杠是一种高精度精密传送件,而且滚珠丝杠在造价上高昂并不是适用于大量市场推广。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种取晶车,保证原有的功能前提下,降低造价成本,便于推广。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种取晶车,包括车架以及用于存放晶棒的支撑架,其特征是,所述车架上设置有带动支撑架升降的驱动组件,所述驱动组件包括有座体以及设置于座体上的导槽,所述支撑架朝向座体一侧端面设置有与导槽配合的导轨,所述导轨沿支撑架的长度方向延伸,所述座体上还设置有齿轮以及驱动齿轮转动的驱动电机,所述支撑架朝向座体一侧端面上设置有与齿轮配合的齿条,所述齿条固定于支撑架上且所述齿条沿支撑架的长度方向设置。进一步的,所述座体上设 ...
【技术保护点】
一种取晶车,包括车架以及用于存放晶棒的支撑架(1),其特征是,所述车架上设置有带动支撑架(1)升降的驱动组件(4),所述驱动组件(4)包括有座体(41)以及设置于座体(41)上的导槽(42),所述支撑架(1)朝向座体(41)一侧端面设置有与导槽(42)配合的导轨(5),所述导轨(5)沿支撑架(1)的长度方向延伸,所述座体(41)上还设置有齿轮(45)以及驱动齿轮(45)转动的驱动电机(7),所述支撑架(1)朝向座体(41)一侧端面上设置有与齿轮(45)配合的齿条(46),所述齿条(46)固定于支撑架(1)上且所述齿条(46)沿支撑架(1)的长度方向设置。
【技术特征摘要】
1.一种取晶车,包括车架以及用于存放晶棒的支撑架(1),其特征是,所述车架上设置有带动支撑架(1)升降的驱动组件(4),所述驱动组件(4)包括有座体(41)以及设置于座体(41)上的导槽(42),所述支撑架(1)朝向座体(41)一侧端面设置有与导槽(42)配合的导轨(5),所述导轨(5)沿支撑架(1)的长度方向延伸,所述座体(41)上还设置有齿轮(45)以及驱动齿轮(45)转动的驱动电机(7),所述支撑架(1)朝向座体(41)一侧端面上设置有与齿轮(45)配合的齿条(46),所述齿条(46)固定于支撑架(1)上且所述齿条(46)沿支撑架(1)的长度方向设置。2.根据权利要求1所述的取晶车,其特征是,所述座体(41)上...
【专利技术属性】
技术研发人员:孟宗兴,孟橙宏,吕宇轩,赵宇琦,孟赞,
申请(专利权)人:北京宏兴恒业精密机械有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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