一种带气槽的平面气浮轴承制造技术

本发明专利技术提供了一种带气槽的平面气浮轴承，属于带气槽的平面气浮轴承技术领域。所述轴承气浮部分的顶面设为高压气体气膜形成面和阻尼面，所述阻尼面为轴承气浮部分顶面的圆心部分和外环部分，高压气体气膜形成面设置在圆心部分和外环部分之间，高压气体气膜形成面与圆心部分之间设有内环槽，高压气体气膜形成面与外环部分之间设有外环槽，直线槽的里端与内环槽相连通，直线槽的中段与外环槽相连通，直线槽的外端通向轴承气浮部分的边沿，高压气体气膜形成面上设有向上的气孔。本发明专利技术应用于平面气浮轴承的场合，尤其对要求气浮承载力较大的应用领域，例如大型单轴气浮台。本发明专利技术可以在平面气浮轴承中提供阻尼作用，从而抑制了“气锤”现象的发生。

A plane air bearing with air groove

The invention provides a plane air floating bearing with an air groove, which belongs to the plane air bearing technology field with an air groove. The top surface of the bearing part of the flotation for high pressure gas film forming surface and damping, the damping bearing surface as part of the top surface of the central part of air and the outer ring part, high pressure gas film forming surface is arranged between the central part and the outer part, high pressure gas film forming groove is arranged between the surface and the inner ring the center part of the outer ring groove is arranged between the high-pressure gas film forming surface and the outer ring, the inner end of the groove is communicated with the inner ring groove, the middle and outer ring groove groove communicated with the groove, the outer end part of the air bearing to the edge, high pressure gas film forming surface is provided with air vents upward the. The invention is applied to the situation of plane air bearing, especially to the application field requiring larger air bearing capacity, such as large single axis air bearing table. The invention can provide the damping effect in the plane air bearing, thus inhibiting the occurrence of \hammer\ phenomenon.

【技术实现步骤摘要】
一种带气槽的平面气浮轴承
本专利技术涉及一种带气槽的平面气浮轴承，属于平面气浮轴承

技术介绍
目前国内外提出的平面气浮轴承主要结构如图1所示，向上的气孔出气提供重力方向的气浮力，使轴承浮起，侧向气孔出气提供水平方向的气浮力，限制轴承横向移动，其气浮部分的俯视图如图2所示。图2中以四个孔为例进行说明，实际情况几个孔需要根据计算结果获得。图2中四个孔出气方向按箭头所示均匀出气在整个圆形轴承平面形成气膜。这种结构的缺点是：整个气膜为一体，一旦轴承承载的重量偏大，则容易形成气膜气浮力振荡，也就是所说的“气锤”现象，不能正常工作，究其原因是气浮刚度过大不能有效形成阻尼。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决上述现有技术存在的问题，进而提供一种带气槽的平面气浮轴承。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种带气槽的平面气浮轴承，包括：轴承气浮部分，所述轴承气浮部分的顶面设为高压气体气膜形成面和阻尼面，所述阻尼面为轴承气浮部分顶面的圆心部分和外环部分，高压气体气膜形成面设置在圆心部分和外环部分之间，高压气体气膜形成面与圆心部分之间设有内环槽，高压气体气膜形成面与外环部分之间设有外环槽，直线槽的里端与内环槽相连通，直线槽的中段与外环槽相连通，直线槽的外端通向轴承气浮部分的边沿，高压气体气膜形成面上设有向上的气孔。本专利技术的工作原理如下：当气浮轴承负载变重时，整个轴承内部空间会快速变小，阻尼面上的空气被压缩，压缩后的空气通过气槽被排出轴承时起到了阻止轴承内部空间变小的作用；当气浮轴承负载变轻时，整个轴承内部空间会快速变大，阻尼面上的空气被拉伸，拉伸后的空气通过气槽将空气吸入轴承时起到了阻止轴承内部空间变大的作用。本专利技术的有益效果：本专利技术克服了现有技术存在的缺点和不足。本专利技术可以应用于平面气浮轴承的应用场合，尤其对要求气浮承载力较大的应用领域，例如：大型单轴气浮台。本专利技术可以在平面气浮轴承中提供有效的阻尼作用，从而抑制了“气锤”现象的发生。附图说明图1为现有平面气浮轴承的结构示意图。图2为现有平面气浮轴承气浮部分的俯视图。图3为本专利技术气浮轴承气浮部分的俯视图。图4为本专利技术气浮轴承气浮部分的立体图。图中的附图标记，1为轴承气浮部分，2为圆心部分，3为外环部分，4为内环槽，5为外环槽，6为直线槽，7为向上的气孔，A为高压气体气膜形成面，B为阻尼面。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术做进一步的详细说明：本实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式，但本专利技术的保护范围不限于下述实施例。如图3和图4所示，本实施例所涉及的一种带气槽的平面气浮轴承，包括：轴承气浮部分1，所述轴承气浮部分1的顶面设为高压气体气膜形成面A和阻尼面B，所述阻尼面B为轴承气浮部分1顶面的圆心部分2和外环部分3，高压气体气膜形成面A设置在圆心部分2和外环部分3之间，高压气体气膜形成面A与圆心部分2之间设有内环槽4，高压气体气膜形成面A与外环部分3之间设有外环槽5，直线槽6的里端与内环槽4相连通，直线槽6的中段与外环槽5相连通，直线槽6的外端通向轴承气浮部分1的边沿，高压气体气膜形成面A上设有向上的气孔7。所述内环槽4和外环槽5是同心圆。所述直线槽6为四个，四个直线槽6均布在高压气体气膜形成面A和外环部分3上。所述高压气体气膜形成面A上均布有四个向上的气孔7。以上所述，仅为本专利技术较佳的具体实施方式，这些具体实施方式都是基于本专利技术整体构思下的不同实现方式，而且本专利技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本专利技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。因此，本专利技术的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带气槽的平面气浮轴承，包括：轴承气浮部分(1)，其特征在于，所述轴承气浮部分(1)的顶面设为高压气体气膜形成面(A)和阻尼面(B)，所述阻尼面(B)为轴承气浮部分(1)顶面的圆心部分(2)和外环部分(3)，高压气体气膜形成面(A)设置在圆心部分(2)和外环部分(3)之间，高压气体气膜形成面(A)与圆心部分(2)之间设有内环槽(4)，高压气体气膜形成面(A)与外环部分(3)之间设有外环槽(5)，直线槽(6)的里端与内环槽(4)相连通，直线槽(6)的中段与外环槽(5)相连通，直线槽(6)的外端通向轴承气浮部分(1)的边沿，高压气体气膜形成面(A)上设有向上的气孔(7)。

【技术特征摘要】
1.一种带气槽的平面气浮轴承，包括：轴承气浮部分(1)，其特征在于，所述轴承气浮部分(1)的顶面设为高压气体气膜形成面(A)和阻尼面(B)，所述阻尼面(B)为轴承气浮部分(1)顶面的圆心部分(2)和外环部分(3)，高压气体气膜形成面(A)设置在圆心部分(2)和外环部分(3)之间，高压气体气膜形成面(A)与圆心部分(2)之间设有内环槽(4)，高压气体气膜形成面(A)与外环部分(3)之间设有外环槽(5)，直线槽(6)的里端与内环槽(4)相连通，直线槽(6)的中段与外环槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵明翰，王磊，葛升民，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23