一种光配向设备制造技术

本发明专利技术公开了一种光配向设备，包括处理腔室、设于处理腔室内的光照组件和载台，至少两种分别对应不同类型配向液的光照组件沿第一方向排列于载台上方，光照组件发出的紫外光自其下方的出光口射出；光照组件可沿第一方向移动至载台的正上方和斜上方，以使对应不同类型配向液的光照组件选择性地照射载台上的基板。本发明专利技术通过在处理腔室内设置有至少两种分别对应不同类型配向液的光照组件，不同类型配向液的光照组件可在处理腔室内移动而选择性地照射载台上的基板，以对不同类型的配向液实现配向动作，减少了进行光配向过程中对光照组件切换时更换光源和滤光片的时间，也避免了因频繁更换光源和滤光片导致机台精度无法满足制程规格要求的问题。

An optical alignment device

The invention discloses an optical alignment device includes a process chamber, a processing chamber light component and the loading station, at least two respectively corresponding to different types of alignment liquid light component is arranged along the first direction in the table above, below the outlet from the ultraviolet light emitted from other components; the illumination component can move to the stage just above and obliquely upward along the first direction, so that the substrate corresponding to different types of alignment liquid light components after selective shot carrier table. The invention is characterized in that a processing chamber is provided with at least two respectively corresponding to different types of alignment liquid light components, different types of alignment liquid light component in a processing chamber and a substrate after selective mobile shooting on the stage, to different types of liquid to achieve alignment with the action, reduce the optical alignment process of light components when switching to replace the light source and filter time, but also avoids the frequent replacement of LED light source and filter machine accuracy can not meet the requirements of process specifications.

【技术实现步骤摘要】
一种光配向设备
本专利技术涉及液晶显示
，尤其涉及一种光配向设备。
技术介绍
液晶的绝大多数应用前提要求是液晶在基质上的排列有一定规律性，如液晶显示(LCD)。由于摩擦配向法的技术成熟，大多数的LCD生产商都使用该生产方法。尽管摩擦配向法的出色成就，但不是没有提升的空间的。由于摩擦配向本身存在的缺陷：如旋转摩擦棒在聚合物表面的摩擦过程中会积累静电和产生微小的尘粒，造成良品率的下降；对于大面积配向、微区配向以及特殊要求的配向，需要昂贵的摩擦设备，导致成本的上升，等等。由于摩擦配向法的限制，寻求一种液晶配向的可替代方法一直是液晶应用领域的热门研究热点，包括光配向法、倾斜蒸镀SiO2法、LB(Langmuir-Blodget的缩写)膜法等。相比于摩擦法，光配向法有多种明显的优势：没有静电、杂质，也不会造成基质表面的机械损伤；可控制液晶分子的预倾角和锚定能，同时，也具有较高的热、紫外稳定性；可实现液晶在光纤通信、光数据处理、全息等领域的应用，而这些对摩擦配向几乎是不可能的；可有效的对曲面等特殊结构表面的配向。因此，应用于量产的不同光配向技术一直是研究热点之一。然而，在印刷过配向膜的玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光配向设备，其特征在于，包括处理腔室(10)、设于所述处理腔室(10)内的光照组件(20)和载台(30)，至少两种分别对应不同类型配向液的所述光照组件(20)沿第一方向(X)排列于所述载台(30)上方，所述光照组件(20)发出的紫外光自其下方的出光口射出；所述光照组件(20)可沿所述第一方向(X)移动至所述载台(30)的正上方和斜上方，以使对应不同类型配向液的所述光照组件(20)选择性地照射所述载台(30)上的基板。

【技术特征摘要】
1.一种光配向设备，其特征在于，包括处理腔室(10)、设于所述处理腔室(10)内的光照组件(20)和载台(30)，至少两种分别对应不同类型配向液的所述光照组件(20)沿第一方向(X)排列于所述载台(30)上方，所述光照组件(20)发出的紫外光自其下方的出光口射出；所述光照组件(20)可沿所述第一方向(X)移动至所述载台(30)的正上方和斜上方，以使对应不同类型配向液的所述光照组件(20)选择性地照射所述载台(30)上的基板。2.根据权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，单个所述光照组件(20)的出光口的面积小于所述载台(30)的面积，每种所述光照组件(20)分别包括复数个沿第二方向(Y)排列的光照组件(20)，且所述第二方向(Y)垂直于所述第一方向(X)。3.根据权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述光照组件(20)包括灯壳(21)、设于所述灯壳(21)内的光源(22)、滤光片(23)和偏光板(24)，所述滤光片(23)设于所述光源(22)和所述偏光板(24)之间。4.根据权利要求3所述的光配向设备，其特征在于，所述光照组件(20)还包括反射件(25)，所述光源(22)位于所述反射件(25)与所述滤光片(23)之间。5.根据权利要求4所述的光配向设备，其特征在于，所述反射件(25)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王震亚，罗凯铭，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42