下载一种光配向设备的技术资料

文档序号:16398610

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本发明公开了一种光配向设备,包括处理腔室、设于处理腔室内的光照组件和载台,至少两种分别对应不同类型配向液的光照组件沿第一方向排列于载台上方,光照组件发出的紫外光自其下方的出光口射出;光照组件可沿第一方向移动至载台的正上方和斜上方,以使对应不...
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